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(毕业设计全套)基于气浮支承引线键合定位平台设计(打包下载) (毕业设计全套)基于气浮支承引线键合定位平台设计(打包下载)

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《(毕业设计全套)基于气浮支承引线键合定位平台设计(打包下载)》修改意见稿

1、“.....预紧力为最大轴向负载的.图.向进给系统计算简图滚珠丝杠副的轴向变行会影响进给系统的定位精度及运动的平稳性,因此应考虑以下引起轴向变形的因素丝杠的拉伸或压缩变形量在总的变形量中占的比重较大,可以用计算方法或查图表的方法决定,在这里我选用的是计算的方法,先用下式计算滚珠丝杠受工作负载的作用引起的导程的变化量再计算滚珠丝杠总长度上的拉伸或压缩变形量,公式如下式中在工作负载作用下引起每导程的变化量,工作负载,即进给牵引力,滚珠丝杠的导程,材料弹性模数,对钢.,滚珠丝杠截面积按内径确定.号用于拉伸,号用于压缩。其中为向和向两向中的最大值滚珠丝杠总长度上拉伸或压缩的变形量式.式中滚珠丝杠在支撑间的受力长度根据设计行程滚珠丝刚副的最大长度防护罩的极限距离及轴承半的长度......”

2、“.....计算得.式.滚珠与螺纹滚道间接触变形当对丝杠加有预紧力,且预紧力为轴向最大负载的时,之值可减少半此变形可根据我所选用的滚珠丝杠在指导书中的图中查到其值为,虽然有预紧但不做减半的处理,用其查出的值。支撑滚珠丝杠的轴承的轴向接触变形不同类型的轴承的接触变形量可用不同的公式计算,我选用的是角接触球轴承则公式如下式.式中轴承所受轴向载荷,轴承的滚动体数目轴承滚动体直径,由于其中的些数据无法获得准确值只能作粗略的估算,式中轴承所受轴向载荷,轴承的滚动体数目,轴承滚动体直径代入算得式.。式.这里因为滚珠丝杠的扭转变形引起导程的变化量占的比重比较小忽略不计,螺母座变形及轴承座变形的变形量计算比较困难,在结构上作了相应的处理所以也不作计算。总的变形量.式.小于要求的定位精度.合乎设计的要求......”

3、“.....另端为深沟球轴承支撑,不会产生失稳现象,不需要进行稳定性校核。定位平台轴电机的确定步进电机的计算与选择选用步进电机时,必须首先根据机械设计结构草图计算机械传动装置及负载折算到电机轴上的等效惯量,分别计算各种共况条件下所需的等效力矩,再根据步进电机最大转矩选择合适的步进电机。转动惯量的计算丝杠的转动惯量计算由于用步进电机则省去了齿轮的传动比,以及齿轮的转动惯量的计算所以只要计算丝杠本身的转动惯量即可,丝杠导程,名义直径,两支撑间距可计算出丝杠的转动惯量,公式如下.式.由于丝杠是通过联轴器与电机直接进行连接的,所以,丝杠折算到电机轴上的转动惯量式.工作台折算到丝杠上的转动惯量根据机电装备设计课程设计指导书表所示工作台折算到丝杠轴上的转动惯量,由丝杠导程......”

4、“.....可查出工作台的转动惯量为.,则工作台的折算转动惯量为式.丝杠传动时传动系折算到电机上的总的转动惯量由于丝杠是通过联轴器与电机直接进行连接的,所以,丝杠传动时传动系统折算到电机轴上的总转动惯量为式.在上式中没有考虑电机转子本身的转动惯量根据实践经验,传动系统惯量和转子惯量之间,有个惯量匹配的问题,的比值不能太小,否则机床动态特性将主要取决于负载特性,此时不同重量和行程的各坐标的特性将有很大差别,并且很容易受切削力摩擦力等干扰的影响。但是的比值太大,也是很不经济的。电机转子的转动惯量可以查出,初选步进电机为杭州中达三相高性能混合式步进电机,电机惯量为.。所以.,基本满足惯量匹配要求。传动系统折算到电机轴上的总转动惯量为.电机的力矩的计算电机的负载力矩在各种工况下是不同的......”

5、“.....向电机力矩的计算快速空载起动时所需力矩式.式中快速空载起动力矩空载起动时折算到电机上的加速力矩折算到电机轴上的摩擦力矩由于丝杠欲紧时折算到电机轴上的附加摩擦力矩其中式.式中传动系统折算到电机轴上的总的等校转动惯量式.电机的最大转速运动部件动停止起动加速到最快进给速度所需时间代入上式.式.折算到电机轴上的摩擦力矩式中导轨的摩擦力式.垂直方向的切削力运动部件的总重量导轨的摩擦系数齿轮降速比,这里无齿轮既传动链总效率,这里取.代入求解.式.附加摩擦力式中滚珠丝杠预加负荷,般取,为进给牵引力滚珠丝杠导程滚珠丝杠未预紧时的传动效率.代入算得.式.根据上面的计算结果可得.式比初选的电机的最大转矩小符合设计要求。快速进给时所需力矩......”

6、“.....比初选电机的额定转矩小,符合要求。向电机力矩的计算快速空载起动时所需力矩式.式中快速空载起动力矩空载起动时折算到电机上的加速力矩折算到电机轴上的摩擦力矩由于丝杠欲紧时折算到电机轴上的附加摩擦力矩其中式.式中传动系统折算到电机轴上的总的等校转动惯量式.电机的最大转速运动部件动停止起动加速到最快进给速度所需时间代入上式.式.折算到电机轴上的摩擦力矩式.式中导轨的摩擦力式.垂直方向的切削力运动部件的总重量导轨的摩擦系数齿轮降速比,这里无齿轮既传动链总效率,这里取.代入求解.式.附加摩擦力式中滚珠丝杠预加负荷,般取,为进给牵引力滚珠丝杠导程滚珠丝杠未预紧时的传动效率.代入算得.式.根据上面的计算结果可得.式.比初选的电机的最大转矩小符合设计要求。快速进给时所需力矩式比初选电机的额定转矩小......”

7、“.....第五章其他辅助零件的选择设计.定位平台轴承的选择方向滚珠丝杠副在工作中用于精确地传递相对位移,转速较低,传动时只需克服摩擦力矩和较小的附加阻力矩,承受的是轴向和径向双向轻载荷,所以选用了能同时承受径向载荷和轴向载荷的滚动轴承。对于其支撑方式可以选择端固定,端游动,这样可以避免由于热变形伸长而引起的弯曲变形,由选定的丝杠可知,固定端的滚动球轴承需选型号为,游动端选滚动球轴承型号为.方向上对于其支撑方式可以选择端固定,端游动,这样可以避免由于热变形伸长而引起的弯曲变形,由选定的丝杠可知,固定端的滚动球轴承需选型号为,游动端选滚动球轴承型号为定位平台联轴器的选择对于联轴器的选择,根据轴的滚珠丝杠直径为......”

8、“.....选择联轴器型号业为。第六章检测元件的选择关于直线位置检测元件的选择,如采用激光器件则成本较高,而感应同步器磁栅又都是利用电磁感应原理。为防止直线电机电磁场对检测元件的干扰和节约成本,选择光电转换原理工作的光栅尺作为位移和速度的检测装置,由于不需要转换,因此,可提高采样频率和检测精度,构成可靠的伺服控制体系。如果需要进步提高位置检测的分辨率和精度,可以通过倍频处理来提高分辨率还可以采用软件定点补偿来提高精度,方法是在整个直线位置控制装置安装完毕后,借助于更高级的位置测量装置,如激光干涉仪,进行测量比较,设定多点并逐点进行误差标定,运行时通过软件控制,进行定点补偿来提高检测精度。光栅采用英国公司的系列产品。该类光栅尺有较高的精度和响应速度,具有安装调试方便......”

9、“.....光栅线周期为分辨率可达响应最大速度为。第七章结论高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引线间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进步发展的瓶颈。由于空气的粘性低,不易发生爬行,振动也小,热稳定性好使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比,它不污染环境。由于具有这些特点,载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。本文对定位平台轴的传动装置和气浮导轨进行了设计。定位平台计过程可分为总体方案设计,完成原理方案设计和结构方案设计......”

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