周期第二个压电元件是会在曲面上振动成员点平面内产生椭圆议案从而获得驱动力在轴方向绕轴。在这种情况下，由于固有频率轴方向振动成员有别于主模式平面内弯曲振动固有频率，第二个压电元件驱动辅助模式下轴方向弯曲振动固有频率如图所示，从而匹配纵向振动弯曲振动。因此，可移动成员移动中成员图紧贴部分振动成员，该动产成员可以在推动多元化方向。在这种情况下，可制作绕三轴内三个正交平面椭圆运动相结合三阶段压电元件第二和三压电元件。这样，就可以实现，可以通过使用单个振动成员三个正交平面内驱动振动器。图显示此体现，如图所示振动器振动成员基本安排。在这种情况下，振动成员包括第个弹性成员振动元女性螺纹部分形成内径部分和第二和第三次弹性成员振动元素中，和中每个都有孔形成中央部分。压电元件和位于第个弹性成员振动元和第二个弹性成员振动元素之间和第二次弹性成员振动元与第三弹性成员振动元。种紧固螺栓所插入弹性成员振动元第三方，作为中央骨干成员拧女性螺纹部分第个成员弹性振动元素。该结构压电元件和被叼第弹性成员振动元与第二个弹性成员振动元和弹性二段振元和第三弹性成员振动元，以整体同时，彼此之间。第二实施图是解释本发明第二个体现视图。由于参考图中数字和表示同零件图所示，其说明将被忽略。引用数字表示显微镜放大观察。在这种体现，更多视觉信息被收购使用位于上部和下部职位，从而提高可操作性两个显微镜。两种显微镜可能有同样放大权力。降低低允许具有广阔视野观察显微镜放大倍数不过，将允许低倍宽视野观察和高放大狭窄视野观察引用数字和表示光学传感器，检测振动元素及动产成员相对位置变化。可以使用像透露，在日本专利解除打开号技术。完全相同传感器传感器和。旋转轴和可移动成员转速可索取球面上两个位置移动信息。只要他们是二维位置传感器不局限于此系统传感器和。虽然非接触光学系统示例所示图，例如，球鼠标系统也许使用中所,接触可移动成员球旋转分别检测为旋转组件围绕两个轴在两个方向。与传感器被装在基地固定架。元素安装在固定臂第架振动份量从电极板部分压电陶瓷径向延伸。其他点都相同，在第次体现。图所示多自由度振动器轴倾斜修改。例如，有效情况下，其中两个微手用于图所示结构。多自由度振动器可能位于任何方向，只要即使在各个方向移动成员球壳旋转，互相不干扰了显微镜和阶段。不过，可移动广泛可移动成员可以确保通过显微镜轴上多个自由度振动器如图和所示光学轴匹配。第三体现图为解释体现了第三个视图。在此系统中，旋转轴，每个学位自由，有相交于点，和末端中心位于附近交集。每个轴是驱动，并由般旋转电机控制。但是，可以使用超声波电机静电电动机或类似。可以通过使用通用旋转编码器反馈信息和速度信息位置传感器形成系统。图显示了只微手姿态控制机制。虽然，第五期和显微镜排列中相同方式，如在上述体现，其图图中省略。参考数字表示般旋转电机，其中包括位置传感器，编码器等。旋转电机固定在固定架沿轴是光学显微镜不显示轴。臂安装旋转轴上。类似于旋转电机旋转电机安装远端手臂上。轴旋转电机是垂直于轴旋转电机。也安装旋转电机旋转轴上。类似旋转电机也安装远端手臂上。轴旋转电机是垂直于轴旋转电机。微手安装远端旋转电机旋转轴上。旋转轴旋转电机和通过微手远端部分。这机制以及，微手远端部分位置不会改变不管如何旋转电机和旋转，和因此相同函数作为第次在体现实现。轴和轴，和和轴相交成直角，虽然和轴需要不定相交成直角。虽然机制第次体现了简单得多，并具有较高刚度，它需要相对复杂控制。对照是，体现了第三个机制是比较复杂和具有较低刚度，但需要只有简单控制。如上文所述，机械手根据本发明最佳体现了机制，所有旋转轴相交于点，和操纵成员末端操作手法目标对象远端部分位于附近交叉口。此结构，即使更改操作成员姿势，其远端不会移动。时，因此，操作员操作时观察它显微镜或类似操作目标对象，该对象可始终保持视野中。这消除了再定位显微镜和末端，每次末端或操纵目标对象例如，微小对象位置控制必要性。因此，可以执行非常高效操作。,,,,,,,,,,,