，，为迟滞静态部分，式第二项代表迟滞动态部分。引入，代表动态和静态输出差值，由式可得，通过数学推导可得出其数字实现形式，式中为输入电压增长到并衰减到时位移输出值，见图。第页输入变化率函数在平面中变化可由实验结果决定。图实验结果显示随着输入频率增加，位移输出最大值和迟滞环宽度变小。经过多个频率下迟滞环曲线测试实验结果可知，函数可由式表示，以描述不同静态和动态迟滞环。式中和均为常系数。根据动态模型数字实现形式，可以建立动态模型，以对系统输出进行控制。复合控制建立在动态模型基础上前馈控制能有效地克服迟滞非线性影响，改善控制精度，但难以消除蠕变非线性及外部干扰影响，其定位精度不是很高，无法满足新型直动式压电阀要求。为了实现高精度定位，作者提出了种基于动态模型前馈控制和反馈控制复合控制方法。该复合控制方法在结构上分为动态模型前馈控制环节和反馈控制环节两部分。反馈控制环节作用主要是用来消除蠕变非线性及外部干扰产生误差，进步提高系统控制精度。提出基于动态模型前馈控制和反馈控制复合控制方法系统框图如图所示。其中为动态模型前馈环节输出控制量，为反馈控制器输出控制量。前馈控制量和反馈控制量二者电压和作为最终控制电压作用到新型直动式压电电液伺服阀上，则新型直动式压电伺服阀控制量方程可写为式中为控制系统采样时间和代表反馈控制器比例积分和微分增益和分别为当前采样时刻和上次采样时刻系统偏差。第页实验验证为验证所提控制方法控制效果，在新型直动式压电电液伺服阀系统实验平台上进行了实验。实验时工作参数如下阀芯位移范围为，位移传感器反馈信号范围为，供油压力为，流量为。由于电液伺服阀输出流量与滑阀阀芯位移成线性关系。滑阀阀芯位移实际输出值与位移给定输出值之间关系可以表征伺服阀实际输出流量与给定输出流量关系。本实验中测试是滑阀阀芯位移实际输出值与给定输出值之间关系。作者分别采用反馈控制方法，基于模型前馈反馈控制方法和所提出复合控制方法对给定参考曲线进行了跟踪控制研究。图和图分别为采用反馈控制时跟踪曲线及误差曲线，最大跟踪误差为。由于非线性影响，采用传统反馈控制方法时跟踪误差比较大。不能满足新型直动式压电电液伺服阀高精度控制要求。图和图分别为采用基于模型前馈反馈控制方法时跟踪控制曲线及误差曲线，最大跟踪误差为。图和图分别为采用基于动态模型前馈控制和反馈控制复合控制方法时跟踪控制曲线及误差曲线，最大跟踪误差为。第页通过上面种控制方法对比实验可见，基于动态模型前馈控制和反馈控制复合控制方法能够取得更高跟踪精度，满足新型直动式电液伺服阀高精度控制要求。结束语介绍了新型直动式压电电液伺服阀结构并对其特性进行了分析。实验中发现系统存在迟滞和蠕变非线性，严重地影响了系统输出精度。为了消除非线性对系统精度影响，作者提出种基于动态模型前馈控制和反馈控制复合控制方法。为了验证所提复合控制方法控制效果，针对条参考曲线分别采用控制方法对基于模型前馈反馈控制方法和所提基于动态模型前馈控制和反馈控制复合控制方法进行了跟踪控制对比实验研究。实验结果表明基于动态模型前馈控制和反馈控制复合控制方法能够有效地消除迟滞和蠕变非线性对系统精度产生影响，可满足新型直动式压电电液伺服阀高精度控制要求。，，第页中文字附二外文翻译，，，，，，，第页，，中文字附二外文翻译