1、“.....国家重点实验室，数字制造装备与工艺，华中科技大学，武汉，中国大学天华学院，上海师范大学，上海，中国年月日收稿年月日修订年月日定稿年月日电子出版摘要图像。控制回路是个快速控制回路，能快速跟随主回路设定值。当个新设定值发送到，它需要几分钟时间去调整水箱中水温至设定值。二次回路具有很强抗内部干扰能力。此外，还可以减少对主回路非线性和迟滞影响。图显示了关于上述描述串级控制系统控制原理图。在下面图表和方程式，表示加热器和冷却器传递函数，表示管道传递函数，表示传递函数。表示主控制回路传递函数，表示二次控制回路传递函数。表示测量设备主回路传递函数，表示测量设备二次回路传递函数。表示水箱中冷却水迟滞，表示通过管道冷却水迟滞，表示内部热交换迟滞，表示外部扰动，表示管道外扰动，表示外部扰动，表示内部扰动，表示内部输入温度，表示水箱中冷却水输入温度，控制器加热器冷却器和泵组成......”。

2、“.....和光刻工具放置在不同洁净室，如图所示。理论上，这种方法属于开环结构。除了，其他光刻技术部分，如晶圆阶段标线阶段标线交接晶圆移交等，都在操作时产生热量。中冷却水还用于冷却光刻技术其他部件。循环系统回收冷却水，节省最大能量，是很必要。图展示了包括分离器冷却套和管道循环系统。从储水中抽出冷却水通过管道和分离器进入冷却套，最后通过合成器管道和冷却器流回储水箱。对冷却水循环系统分析表明了影响内部温度三个主要因素干扰多，迟滞多，还有惯性大。干扰多，包括冷却水温度波动，内部热量散失，和外部介质之间热交换。冷却水温度波动是多种因素造成，其中包括内部自励温度震荡造成非线性加热冷却，管道和周围气体之间热传递，以及光刻工具其他地方产生热量。在这个循环系统中，冷却水温度波动达到是最差情形。内部热量散失有两个原因，个是当激光穿过透镜时，内部辐射和导热交换......”。

3、“.....至于激光，它散热量大概是。与外部介质之间热交换来自两个方面，方面来自与其相邻零件之间相互热交换，另方面来自外部箱体和周围空气导热和对流热交换。但是，和外部介质之间交换热量由于其复杂性，故难以计算。迟滞多主要包括加热和冷却秒迟滞，冷却水交换分钟迟滞，还有和冷却套间热交换分钟迟滞。此外，复杂结构导致不平衡热交换，而由于其体积大导致惯性在和小体积物体相比时，温度波动较小。上述分析表明，仅仅通过开环结构使内部温度控制精度高和收敛速度快是非常难以实现。此外，在开环结构中还有很大稳态误差。在以下部分中，我们将介绍个提高内部温度控制控制结构，并解释如何提高温度控制精度和收敛率。多闭环控制结构多闭环温度控制结构由个内部和个外部组成。串连控制结构温度控制内部如图所示。有两个分别带有两个控制器反馈回路。主要回路用来控制内部温度。水箱中冷却水温度控制形成了第二条回路分析这个系统运作质量是很容易......”。

4、“.....嵌入主控制器中控制算法会通过比较温度测量值和期望值之间偏差而计算个新冷却水温度设定值。然后，发送新设定值给温度控制器。随后根据温度测量值和新设定值间偏差，中控制算法计算加热器和冷却器输入值，并对中水箱里冷却水进行加热或者降温，直到温度达到新设定值。内部温度期望设定值通过台机器连续地给出。控制回路是个慢控制回路。控制回路是个快速控制回路，能快速跟随主回路设定值。当个新设定值发送到，它需要几分钟时间去调整水箱中水温至设定值。二次回路具有很强抗内部干扰能力。此外，还可以减少对主回路非线性和迟滞影响。图显示了关于上述描述串级控制系统控制原理图。在下面图表和方程式，表示加热器和冷却器传递函数，表示管道传递函数，表示传递函数。表示主控制回路传递函数，表示二次控制回路传递函数。表示测量设备主回路传递函数，表示测量设备二次回路传递函数。表示水箱中冷却水迟滞......”。

5、“.....表示外部扰动，表示管道外扰动，表示外部扰动，表示内部扰动，表示内部输入温度，表示水箱中冷却水输入温度，制器输入端。控制器输出端是里面冷却水温度值和结合处最佳冷却水温度值。控制器里嵌有智能算法。它包括两级且根据理想动态响应分为五个控制阶段。高级算法决定从我们先前介绍五个阶段中选择。非线性算法在低级算法中使用，它将在后面段落中介绍。考虑到温度控制系统相互扰动特点，算法代替了不同比例积分算法，因为不同项目将引起高频率振动和增加系统稳定性误差。图七显示了非线性算法原理图，在接下来图表和方程中，代表内冷却水温度值，代表结合处最佳冷却水温度值，代表控制法对影响，代表控制法对影响，代表控制法对影响，代表控制法对影响，和代表数据融合系数。控制算法可以被描述如下其中是基本不相关增加控制算法其中，代表比例系数，代表积分系数，代表取样结果，和分别代表在和时刻控制输出......”。

6、“.....数据混合系数由已有规则得出。详细规则如下其中代表由内温度稳态误差决定偏差值，代表由内温度暂态误差决定扰动值，代表由结合处冷却水温度稳态误差决定偏差值，代表由结合处冷却水温度暂态误差决定扰动值。根据已有规则和控制过程输入信息，可以获得十六种不同算法。根据输入数据控制器可以灵活选择任何种算法。这不仅能提高算法适应性和收缩率，还能增强系统稳定性和反干扰能力。实验验证控制结构与算法如图所示，建立了个实验平台来验证该方法有效性，其中包括个仿制，温度传感器，温度测量系统工程计算机，隔热室，光源等。仿制与实际具有相同温度特性。隔热室模仿光刻表面隔离热作用。用个白炽灯作为暴露光源。三个温度传感器具有高精度负温度系数，校准精度是用来检测内温度，结合处冷却水温度和热隔离室外环境温度。温度测量系统由模型超温度计和个具有分辨率扫描器组成。配置了精确度。工程计算机上具有智能算法......”。

7、“.....使用具有算法，使用具有算法，使用具有非线性算法。在这些试验中理想温度是，非线性算法参数是是，是，是，是。实验结果如图所示。图展示了开环结构温度曲线。正如图所示，里温度在稳定且没有达到设置由于开环系统中存在三个大稳定性误差，使用闭环系统是非常必要。图显示了使用闭环系统在小时后代到了稳定。图显示了温度收敛比图快，但内温度精确度并没有得到很大提高。图显示了具有非线性算法系统温度曲线。它只用了小时达到了稳定。即使外部温度在内摆动，内温度仍可以达到稳定性。很明显新方法大大增加了收敛率，精确性和抗干扰能力。结论通过使用闭环交互系统可以提高光刻温度控制准确性。通过分析和实验揭示了具有算法系统具有预测和滚动最优能力。它在收敛率，控制精确性，抗干扰能力方面比开环结构和闭环更好。它用于光学领域生产工具。经过简单改进，它也可以控制其他需要远程遥控非直接温度控制......”。

8、“.....参考文献简介聂宏飞，生于年，目前是中国华中科技大学机械科学和工程学博士。他研究包括高精度温度控制，先进工艺控制等。李晓平，生于年，目前是中国华中科技大学科学与技术学院教授。他于年获得华中科技大学机械科学和工程学硕士。他主要研究是光学刻录工具电子控制。何艳，生于年，目前是中国上海大学天华学院名老师，她于年获得武汉大学机械工程硕士。它主要研究是先进工艺控制。附件外文原文控制器加热器冷却器和泵组成。它用于调节冷却水温度以达到需求值。和光刻工具放置在不同洁净室，如图所示。理论上，这种方法属于开环结构。除了，其他光刻技术部分，如晶圆阶段标线阶段标线交接晶圆移交等，都在操作时产生热量。中冷却水还用于冷却光刻技术其他部件。循环系统回收冷却水，节省最大能量，是很必要。图展示了包括分离器冷却套和管道循环系统。从储水中抽出冷却水通过管道和分离器进入冷却套......”。

9、“.....对冷却水循环系统分析表明了影响内部温度三个主要因素干扰多，迟滞多，还有惯性大。干扰多，包括冷却水温度波动，内部热量散失，和外部介质之间热交换。冷却水温度波动是多种因素造成，其中包括内部自励温度震荡造成非线性加热冷却，管道和周围气体之间热传递，以及光刻工具其他地方产生热量。在这个循环系统中，冷却水温度波动达到是最差情形。毕业设计论文外文资料翻译学院机械工程学院专业机械设计制造及其自动化姓名学号指导老师附件外文资料翻译译文外文原文。指导教师评语签名年月日附件外文资料翻译译文光刻投影镜头多闭环温度控制系统聂宏飞，李晓平何艳。国家重点实验室，数字制造装备与工艺，华中科技大学，武汉，中国大学天华学院，上海师范大学，上海，中国年月日收稿年月日修订年月日定稿年月日电子出版摘要图像质量是光学光刻工具最重要指标之，尤其易受温度振动和投影镜头污染影响。本地温度控制传统方法更容易引入振动和污染......”。