1、“.....设边界压力是大气压力，则有边界条件，时时，根据这边界条件，求出相对供气孔出口压力的雷诺方程的特解，即成为压力分布，就可以进步计算出气垫的承载能力流量等。问题的难点是如何求得供气孔的出口压力，为了就般条件下解决这个问题，可运用流量连续条件采用数值计算方法解之。流量连续条件就是设通过供气孔流入气垫的注量等于由气垫周围流出的流量。通过节流器的流量通过节流器的质量流量单位为式.式中节流面积，单位。对于小孔节流，对于环面节流，气源压力，单位气体常数，对于空气供气绝对温度，单位比热比，对于空气.气腔压力，单位令，称为节流压力比，为了避免抑流现象，要求.流量系数，般为.但是时，下降很快。令为喷嘴的流出速度系数，取式.则式可写为式......”。

2、“.....可以根据长方形平行间隙中的粘性流动公式来求出。如图所示的长方形平行间隙中，设间隙为，平行于轴及轴的流动之体积流量，式.式.在环境压力为温度为气体密度为的情况下，由气垫边缘流出的气体流量为式.对于具有个供气孔的长方形气垫，根据流量连续的条件由式和式得式.对于图所示的气垫，考虑对称性，其个供气孔可得式.利用上式可以求得导轨间隙。承载能力将气垫间隙中的压力沿整个气垫面进行积分，即可求得气垫的承载能力。式.气垫的刚度对于个支承气垫或总的支承气垫，其刚度式.负号表示随着载荷的增加，间隙减小。缺点齿轮齿条无自锁，需要外加自锁机构。噪音大，磨损较快。方案对比分析与确定综合课程设计要求，精度为.，最大载荷是，相比同步带和齿轮齿条传动......”。

3、“.....因为丝杠传的动的精度可以达到.，而同步带传动时会产生弹性变形，具有定的蠕变性。齿轮齿条传动精度和滚轴丝杠精度相当，但是安装较麻烦，安装精度要求高。步进电动机和直流无刷电机相比，步进电动机控制简单，启动稳定，而直流无刷电机控制要求高，成本高，毕业设计要求精度未达到微米级别，空载转速要求为,因此采用低档的步进电动机就能满足要求。综合以上分析，决定选择第种方案。步进电动机提供动力，滚轴丝杠传递动力。图.定位平台结构此数控工作台主要由步进电机丝杠螺母副滚动导轨副工作台轴承座端盖轴承联轴套键垫圈等组成。具体见装配图.空气静压导轨的方案设计确定方案思想空气静压导轨，根据工作台的移动量，载荷量和精度要求的不同，般采用下图所示的结构形式图.闭式平面导轨图......”。

4、“.....重量封闭式导轨闭式平面型闭式圆柱型重量封闭式导轨方案闭式平面导轨优点这种形式的的导轨因工作台移动时导轨面仅产生很小的挠度，可以获得高精度高刚度承载能力大，适合于超精加工设备和测量起的长导轨。方案二闭式圆导轨优点这种形式导轨的导向零件少，结构简单。缺点零件的精度完全取决于加工设备，运动精度有限。导杆采用两端支撑，随这工作台的移动导杆容易产生挠度。方案三重力封闭式导轨优点这种形式的导轨用工作台的质量和空气静压保持平衡，以维护导轨的固定间隙。其结构较简单，零件的高精度也容易实现。和研究了小孔节流式旋转轴承的气锤现象。研究了静压空气轴承的入口处的低压特性，对经验公式提出了修正方法。和研究了空气轴承表面和节流孔的制造公差分布对承载能力和刚度的影响......”。

5、“.....为克服空气轴承刚度低承载能力差等弱点，等人制造了多节流孔空气轴承。等人设计了微槽轴承，即平面轴承具有浅圆形槽。和应用神经网络的发展成果设计了矩形静压空气轴承，轴承上具有形勾槽。和研究了双向双排小孔节流式静压矩形空气轴承在受到侧向力时的动态特性。和阐述了具有纳米级定位精度的静压空气轴承的设计，讨论了影响静压空气轴承性能的主要参数和制造公差。设计了种新型静压空气轴承，气膜间隙小于，刚度可达到，是般静压空气轴承的倍。和指出混合节流式矩形空气静压止推轴承容易获得较高的刚度，从理论和实验两方面研究了具有混合节流器的静压矩形双面止推轴承的刚度特性。近年来，以石墨等多孔材料为节流器的静压空气轴承被成功应用。实际轴承设计中......”。

6、“.....但会导致强度降低，特别是当多孔材料的半径较大时，由于材料的变形，空气很难完全通过多孔材料介质。为此，和在多孔材料空气轴承中采用两种供气方法圆环勾槽和小孔供气，以免轴承表面发生变形，通过理论和实验方法得到了这种轴承的静态和动态性能。和利用多孔材料作为节流器制成了几何形状复杂的静压空气轴承，例如球轴承或空气静压丝杠。致力于用新型的气浮平台代替传统接触式轴承平台，在重量体积和成本基本不变的情况下，获得更高的运动速度和定位精度。基于无摩擦驱动的概念，制造了静压空气轴承支撑的伺服电机。等人设计的气浮精密定位平台，加速度达到，定位精度.。采用空气轴承支撑的新型运动平发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术......”。

7、“.....随着技术的进步和相关行业的发展，应用到秒引线键合机上的定位平台经历了系列的变化。最初采用的是旋转电机加滚珠丝杠驱动的串联机构形形式，如日本公司生产的引线键合机，键合速度仅为线∕秒。到上世纪九十年代，直线电机凭借其卓越性能代替了旋转电机开始广泛的应用到芯片封装设备上，如美国公司生产的引线键合机，其定位平台采用广义并联机构，平台由线性导轨支撑，方向之间用滚动轴承解藕，键合速度可达到线∕秒。公司生产的引线键合机，键合速度达到线∕秒。采用旋转电机和直线电机混合驱动，空气轴承和线性导轨支撑平台，经过特殊设计，旋转驱动构建的质心在其旋转轴线上，实现了旋转机构的质心驱动，消除了质心惯性力的影响......”。

8、“.....最大键合速度为线∕秒，实验室可以达到线∕秒，是目前世界最高水平。随着新型电机的不断出现，音圈电机超音速电机和平面电机在微电子装备方面的应用越来越受到人们的重视，天津大学冯晓梅等人研制出由音圈电机驱动的新型高精密定位平台，其最大加速度可以达到。等人研制出的新型平台，采用超音速直线电机，结构简单紧凑。和利用空气轴承设计出的新型引线键合机，工作效率有了突破性的进展，达到了当前流行速度的近两倍。基于,支承,引线,定位,平台,设计,毕业设计,全套,图纸第章绪论.选题背景.选题的目的与意义.本课题主要讨论问题.相关研究情况机械部分相关研究情况气浮部分相关研究情况第二章定位平台总体方案设计......”。

9、“.....空气静压导轨的方案设计确定方案思想方案对比分析与确定第三章定位平台气浮导轨的设计.轴气浮导轨的设计空气静压导轨的工作原理及特点空气静压导轨气垫的设计计算.轴气浮轴承的设计第四章定位平台传动部分的设计.定位平台拟采用的研究方案研究方法或措施.定位平台结构设计定位平台轴滚珠丝杠型号的确定定位平台轴滚珠丝杠校核定位平台轴电机的确定定位平台轴滚珠丝杠型号的确定第五章其他辅助零件的选择设计.定位平台轴承的选择.定位平台联轴器的选择第六章检测元件的选择第七章结论参考文献致谢附录第章绪论.选题背景世界近几年高新科学技术迅速发展，工业是当前全球经济发展的高速增长点，也是我国国民经济中最具活力的行业。目前，随着我国“中国芯”产业化进程的加快......”。