间站和飞船也会释放出自身的气体，真空并不理想，在空间飞船后米以外的地方才能获得理想的超高真空。要利用微重力条件下宇宙真空环境，为人类服务。铝合金真空装置可能代替不锈钢。实现真空装置铝合金化，硬度问题利用离子镀就可以达到实用化。今后的发展方向，是向微小化领域纳米科技和固体元件的研制，另个是向巨大化的领域如核聚变的研究，其中在巨大化装置和使用多种气体的真空装置方面，希望能研制出能够用于从粘滞流领域到超高真空的宽域型真空泵。希望能研制出不经烘烤的超高真空装置或者烘烤就可以了。总之要以方便用户的操作为出发点，得到全世界用户对欢迎。我们希望世纪中真空科学与技术取得更新的成就。真空行业得到更大的发展。第二章罗茨真空泵的介绍.罗茨真空泵的术语和定义抽气速率当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比，简称抽速，单位。极限压力泵装有标准实验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力，单位为。最大允许压差最大允许压差是指泵入口压力等于或低于时，连续运转，不发生故障所允许的出口压力与入口压力差值的最大值，单位为。零流量最大压缩比零流量压缩比就是关闭进气管路气体流量为零时，前级真空管路中的压力与入口压力之比，该压缩比的最大值用表示。实验气体为非可凝性气体，般指空气。.罗茨真空泵的型式和基本参数普通罗茨真空泵的型式图型号示意图标记示例名义抽气速率为的罗茨真空泵，标记为名义抽气速率为的带溢流阀罗茨真空泵，标记为名义抽气速率为的气冷式罗茨真空泵，标记为基本参数般型及带溢流阀型泵的基本参数应符合表表泵的基本参数气冷式泵的基本参数符合表表气冷式泵的基本参数低噪声气冷罗茨真空泵的简介在各个行业中为了实现无污染的真空获得环境，需要把多台气冷罗茨真空泵与普通罗茨真空泵组合起来进行抽气。但气冷罗茨真空泵及由其组成的机组在运行时噪声较大，影响了些模拟实验的进行以及工作人员的身心健康。低噪声气冷罗茨真空泵通过研究种保证在工作过程中既要使排出口及两侧返冷气口的高压气体在回流是对低压气体的冲击小又能保证有充分的反冷气时间的转子线型以及控制由于转子在工作过程中的热膨胀和轴承游隙引起的转子径向和轴向的列和间隙。如图图所示，低噪声气冷罗茨真空泵采用如下扭叶转子型线，转子的截面型线由圆弧摆线渐开线圆弧圆弧等多段曲线组成，以达到具有高压缩比的效果并通过确定合理的转子扭角以及转子导程，以达到合适的返冷气时间，提高高压差下的工作稳定性同时，采用两扭叶转子，可缩小其轴向错位，以保证转子在工作过程中的安全高效可靠。图转子扭转角的确定图三维参数化造型两叶与多叶转子气冷式罗茨真空泵型线分析罗茨真空泵多级爪式真空泵螺杆式真空泵涡旋式真空泵往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从，抽速从。据统计，目前国产干泵的应用还不足，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。.真空泵技术进展趋势技术发展的原动力在于市场的需求。由于真空技术领域的扩展和迅速成长的高新技术，国内真空泵市场对真空泵的技术水平提出了更高的要求。真空泵的生产企业必须通过技术创新和产品结构的调整两个途径来保住原有市场，进而继续扩大市场占有率。提高真空泵的可靠性，降低振动噪声，注重真空泵的综合水平。过去的若干年，生产厂注重真空泵的主要性能指标，比如，极限压力抽速等，而忽视真空泵的综合性能。而现在，产品的可靠性性能的稳定性以及对环境不造成污染逐渐成为用户购买产品时考虑的主要因素。对于旋片泵罗茨泵滑阀泵等而言要将成熟的可靠性设计理念运用到真空泵的设计中，在可靠性设计可靠性实验等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠性稳定性和寿命，保证真空泵能够在各种工况下长期可靠的运行。同时通过采用新技术新材料新工艺新结构来降低振动噪声，解决泵的喷油漏油问题，还用户个清洁环保的工作环境。企业面对的永远是变化的市场，而我们的真空泵产品却千篇律的雷同。产品和市场的不衔接，使我们丢掉了许多机会。真空泵的下步发展应该面向个性化和多样化。所谓个性化和多样化就是针对不同用户的不同需求，设计针对用户的特定场合的产品，使产品在这场合应用，其特性的发挥恰倒好处。尽快形成分子泵和干泵的规模生产。根据预测，到年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场，总需求量约亿块，达到亿美元以上的总金额，需要建多条大生产线才能满足需求。条生产线所需干式真空泵大约台，是目前我国真空泵年产量的左右。国内目前真空获得设备仍然以传统的真空泵为主，主要为旋片真空泵滑阀真空泵罗茨真空泵蒸汽流泵水环真空泵等，且全部用于传统产业，我国生产的真空泵用于电子信息产业不足，与日本欧美等国相比差距巨大。我国干式真空泵的生产处于刚刚起步阶段，在全国多家生产真空泵的企业中，能够生产干式真空泵的企业不足家，年产量不足台。没有形成批量生产。目前国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学医药等领域，用于半导体行业的很少。国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展，而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。目前国内建成的半导体集成电路生产线，几乎所有的干式真空泵包括其它真空设备均为进口，主要来自英国日本德国美国等。国内生产的干式真空泵进入该领域十分艰难，使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。日本资料报道于年时其价格为日元瓦，所以应用范围有限。如能在太阳能电池的主体材料上加以研究和改进，降低太阳能电池的成本，改进制作太阳电池生产的工艺，这种技术是会得到进步发展的。如日本曾在对的个人住宅，集体住宅，学校用装置，工厂用装置以及集中的大容量装置等进行了研究。这些装置的大部分电力，最终将联接到电力系统上去，同现有发电厂组合运行，向形成综合电力调配系统方向发展。非晶硅太阳电池的制造，如辉光放电分解法，反应溅射法，真空蒸发法等，多采用真空技术。辉光放电分解法将被稀释的氢和氩等加入到硅烷等低压气体中引起辉光放电，在等离子区分解硅烷，可使非晶硅堆积在低温基板上。另种是反应溅射法把结晶硅作为阴极，在托非活性气体中，加上高压使其放电。因放电产生正离子轰击阴极，阴极材料就被溅射出来。如果在阴极附近安置块低温基板，基板上将堆积起非晶硅膜。太阳电池不仅要求高效廉价和大面积等特点，而且要求暴露在自然条件下具有良好的稳定性。非晶硅的优点很多，能在玻璃不锈钢塑料等基板上作成大面积廉价的薄膜比结晶硅光吸收系数大，能带宽度比结晶硅宽。核聚变是人类未来的可靠能源，它的实现是全世界人们的愿望。目前，世界上最先进的磁场封闭式托卡马克型核聚变装置，很多国家都在开发研制。美国正在研制型，欧洲共同体制作型，俄罗斯研制型，日本研制型的托卡马克型核聚变装置。大型聚变装置的建造和运行，大大推动了高新技术的开发，特别是真空技术低温技术磁体技术大功率脉冲电源技术和射频加热技术以及遥控处理技术等。核聚变装置的真空室用来长时间包容高温等离子体。例如欧洲联合环真空室是个全焊接的双层壁结构的环型容器。总容积为，焊缝总长达。这种真空室漏气率很低，在室温和时要满足余年渗入真空室升气体的极微小的漏率。可控聚变装置用的高真空泵采用涡轮分子泵和低温泵，前者用于检漏，后者则用于抽排聚变反应废气的主泵。工作于.的具有活性炭吸附剂的低温泵，所吸留的废气中，除了氘氚核反应产物氦灰外，还有大量未能参与核反应的氘和氚。把回收后的氘和氚再注入到大环真空室中，把除氚外的杂质气体按环保要求排放出去。这种装置的研究，可通过国际合作攻关，人类有望在世纪中期建成氘氚核聚变示范电站，最终目标是提供市场销售用电的核聚变发电站，为世纪的新能源和经济发展做出应有的贡献。等离子体科学技术和真空科学技术将会得到协同发展，并将为探索宇宙结构和物质起源等重大基础科学研究中起着重要的作用。.真空泵市场各类泵设备发展现状真空泵是个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。要想达到这目标就要求有非常微细的结构。在这种情况下，最大的障碍就是灰尘。如果系列的操作都能在真空中进行，从底片进入真空室到最终处理完成也在真空中进行是最理想的。如何去掉灰尘，首先是避免人与元件的直接接触。但真空设备不定都是干净的。般认为放气排气或者切换开关时就会扬起灰尘，所以还是存在定的问题。有时也需要给装置搞个清洁的表面，清洁的表面是极其容易受污染对，当必须使表面维持清洁状态的时候，有个受到控制的气体环境往往比处于超高真空状态更为理想。为了充入种气体以保证清洁度，就要在充分处理本底之后，再充入干净的气体。例如在溅射成膜时的真空度并不高。然而充入气体之前的本底压力则对膜的质量有很大的影响，所以溅射装置必须给创造个良好的本底真空度。有时由于充入其它气体，而使得真空度略有下降，但就在这种真空度稍有改变的情况下，也可以进行同样的操作。真空技术不仅仅建立狭义上的真空，而且制作高纯气体，再受控制的环境下维持所需表面，这也是真空技术的应用。如果这样考虑，真空技术的应用也就更广泛了。真空设备似乎可以作为工具使用。人们随着对高级产品的需求，也迫切需要真空技术更加简便，并可应用于高新技术领域。因此，在世纪真空技术将会继续得到发展。.真空技术在能源方面的应用最近，人们对能源危机的关注已逐渐淡薄，但如何根本问题并没有得到解决。能源问题是个长期地不容乐观地重要问题。从长远的观点看，要研究用新能源代替旧能源。如太阳能利用技术，在不久的将来，有可能达到实用化。日本曾提出到年，总能源的需要量的将由新能源代替。将核聚变装置列为世纪达到实用化的目标。现在各国都在进行太阳热利用技术。典型的太阳热利用技术即对太阳热发电系统的研究。日本于年在香川县建成了第座的太阳热实验发电厂。采用塔式聚光和曲面聚光两种方式。这两种方式的额定输出均为。在美国法国俄罗斯德国西班牙及意大利等国都将太阳热发电厂的研究开发列入了国家计划。这些工厂的容量为，并已建成应用。太阳热发电系统是由聚热装置热传输管蓄热装置发电机和计量控制装置所组成。太阳热发电的聚热温度范围很宽，约为。绪论真空泵的分类真空泵利用机械物理化学物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备如真空容器真空阀真空测量仪表连接管路等组成真空系统，广泛应用于电子冶金化工食品机械医药航天等部门。按真空泵工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括液环真空泵往复真空泵旋片真空泵定片真空泵滑阀真空泵余摆线真空泵干式真空泵罗茨真空泵分子真空泵牵引真空泵复合式真空泵水喷射真空泵气体喷射泵蒸汽喷射泵扩散泵等气体捕集泵包括吸附泵和低温泵等。首先介绍几种常见泵及其特点系列双级水环式真空泵主要用来抽除空气和其他有定腐蚀性不溶于水允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品纺织医药化工的行业的真空蒸发浓缩浸渍干燥的工艺过程中。该泵具有真空度高结构简单使用方便工作可靠维护方便的特点。型旋片式真空泵具有结构紧凑体积小重量轻噪音低振动小等优点。它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如质谱仪器冰箱流水线真空冷冻干燥机等。型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作，已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送真空夹具以及真空吸引等。系列水环式真空泵主要用于粗真空抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气