我国电子级三氯氧磷的不 足，可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池等工业，对我国信 息产业的发展具有极大的推动作用，对这些产业在国际市场的竞争优势有 较大的提升作用。 通过掌握电子级三氯氧磷产品生产的核心技术，有利于打破国内外 产品的垄断，电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的 关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度 对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。目前国际 上从事工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公 司占全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的 ，公司占全球市场份额的，公司占 全球市场份额的日本的占全球市场份额的， 占全球市场份额的。另外还有日本的关东株式会社住友合成德 川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的 等公司。在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。提升我国在该领域的 技术水平，打破国内外产品的垄断。 项目的主要内容创新点 项目的主要内容是电子级三氯氧磷在贵州实验室取得成功的 基础上进行电子级三氯氧磷的试产，以及对电子级三氯氧磷的包 装安全运输等进行研究，并推动其它高附加值磷化产品电子级磷酸 亚磷酸三甲酯等的系列化开发，创造出其有国内先进水平的技术或产品。建设年产吨电子级三氧氧磷的生产线，达产后年产值万元以上。 项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电等公司。在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室项目的主要内容创新点 项目的主要内容是电子级三氯氧磷在贵州实验室取得成功的 基础上进行电子级三氯氧磷的试产，以及对电子级三氯氧磷的包 装安全运输等进行研究，并推动其它高附能电池高纯化合物半 导体等工业。产品生产技术处于国内先进地位。 项目技术的创新点在于从原材料开始严格控制各道工序的提纯及防止 杂质元素的二次污染，能有效的保证产品的质量，产品质量达到国际标准。降到几个甚至零点几个。 原材料利用率高过程的废气废水容易处理。 研究的主要过程 可行性研究报告编制之前，项目组到现场认真仔细地落实了设计条件， 结合该公司所在的江苏经济开发区。 充分利用新招聘的技术人员管理人员及管理经验。 通过技术及财务评价看出，该项目可为高新技术企业产品附加 值高，可以为国家创造较好的经济效益和社会效益。因此该项目的建设是 有意义的合 物半导体等工业。产品生产技术处于国内先进地位。目前，中小规模 上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于 级三氯氧磷的需求总量将达到吨年以上大规模集成电路平均需三氯氧磷千克月的用量计算，年需相当 于Ⅳ级大约在吨年的规模，并呈每年以上增长的态势三 氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。 电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路及公司占 全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的， 公司占全球市场份额的，公司占全球磷 生产规模 高纯三氯氧磷生产规模为吨年 年生产天数天 项目的技术可行性和成熟性分析 项目产品检测情况 电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超 过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本 公司和德国公司同类产品的水平。 电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来 见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子的文献报道，也未见采用本 工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性。 工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势 电子级三氯氧磷创新点论述 本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工 序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达 到国际标准。 国内外工艺流程的对比 德国默克流程图 产品可达级。 国内生产企业 由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。 县化工有限公司工艺流程 产品可以达到级 黄磷 高纯 合成蒸馏 馏 合成