1、“..... 该工艺流程采用三氯氢硅和氢气分别经过精制，进入还原炉，在高温下进行 还原，获得的多晶硅棒经过后处理而获得高纯度的多晶硅。同时对还原尾气进行 处理，回收三氯氢硅，四氯化硅和氢气。回收的三氯氢硅四氯化硅氢气经精 制后再进入还原炉中生产多晶硅。多晶硅的产品质量达到的要 求。 工艺流程简述 氢气精制工序 由该公司相临的蓝恒达化工管道送来的氢气及回收氢气进入氢气气柜......”。

2、“.....再进入二次氢气净化器进行净化得到 精制氢气。 该项目同时建设有电解水制氢系统。采用纯化水经电解槽电解，制氢装臵分 离氢氧等初步处理，再进入氢气净化装臵净化，得到高纯氢气供还原车间等生 产使用。 三氯氢硅精制工序 自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽，再经泵送往高位槽，经控制流量后进入 精馏塔釜......”。

3、“.....路返回精馏塔顶作为回流液，路作为产品流入计量槽。经分析，合格的 精制三氯氢硅进入精三氯氢硅储槽，不合格的则返回三氯氢硅储槽。二级全凝器 的尾气进入尾气缓冲罐，再经尾气洗涤塔洗涤达标排空。洗涤水进入中和池进行 处理。精馏的釜底残液及轻组分三氯氢硅则进入高低沸物槽，装车外卖。 还原系统及尾气回收系统 精制的三氯氢硅经过鼓泡气化后与精制氢气在还原炉内......”。

4、“.....在高温下还原沉积为多晶硅。通过调节电流强度，控制载体温度，使炉 内载体直径变粗，达到供直拉单晶硅所需直径要求的多晶硅。 还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器，未凝气体与还原尾气 经换热后进入水喷淋洗涤塔洗涤，再经丝网阻火器进入氢气气柜。洗涤水则进入 中和池进行处理。 尾气回收器冷凝下来的回收液体进入计量槽，经控制流量进入回收精馏塔......”。

5、“.....合格品流入回收精三氯氢硅储槽 或四氯化硅储槽，不合格品则返回粗产品罐，再重新送入高位槽进行精馏。精馏 残液塔釜排液及轻组份液体则送往高低沸物储槽，装车外卖。 回收的三氯氢硅和回收的四氯化硅经汽化后进入不同的还原炉，前者生产直精馏的釜底残液及轻组分三氯氢硅则进入高低沸物槽，装车外卖。 还原系统及尾气回收系统 精制的三氯氢硅经过鼓泡气化后与精制氢气在还原炉内，在以硅芯作为载体 的表面......”。

6、“.....通过网阻火器进入氢气气柜。洗涤水则进入 中和池进行处理。 尾气回收器冷凝下来的回收液体进入计量槽，经控制流量进入回收精馏塔， 塔顶气相经二级全凝器冷凝得到的液体经分析，合格品流入回收精三氯氢硅储槽 产直 拉料或区熔料，后者则送入专用还原炉，以生产拉制硅芯的硅芯料。 主要建设内容 二七年七月，经宜春市发展和改革委员会核准，期前期年产吨多 晶硅项目正式开工建设。至目前......”。

7、“.....期前期工程投资总额为万 美元折合人民币万元其中固定资产投格型号材质数量 三氯氢硅装臵 氯气缓冲罐 氯化氢合成炉 ......”。

8、“.....氯化氢缓冲罐 水环真空泵型组合件 真空缓冲罐 硅粉干燥器 沸腾炉 精馏塔 前冷凝器 后冷凝器 过滤器 尾气缓冲罐 热水槽 热水泵组合件 接收槽 阻 尾气缓冲罐 热水槽 螺旋冷冻机 计量罐 制氮机 雷蒙磨机型 三氯氢硅储罐 四氯化硅储罐 二多晶硅装臵 砾石阻火器 缓冲罐 阻火器 片碱干燥器 活性碳 冷冻机组万大卡 塔釜不锈钢 塔柱不锈钢 全凝器 后凝器......”。

9、“..... 过滤器 尾气缓冲罐 粗三氯氢硅罐 精三氯氢硅罐不锈钢 四氯化硅产品糟不锈钢 冷却塔 防爆电动单梁超重机 冷却器及氢气冷却器 带经济器螺旋杆盐水机 开启式螺杆冷水机组 防爆电动葫芦 柴油机发电机组 超声波清洗机 空压机 轴流风机 叉车 硅芯炉 主要水泵 干式变压器 高压开关柜 低压开关柜 直流屏 序号设备名称规格型号材质数量 申报单位及项目概况 项......”。