片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计表二期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机日本 切片机日本 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计表三期进口工艺设备仪器表 序 号设仪 平面厚度仪 合计 表三期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 清洗机 全自动插片机 产工艺 图单晶硅棒生产工艺流程图 选料 清洗 测试 断头尾 拆炉 拉晶 配料 装炉 入库 图单晶硅片生产工艺流程图 工艺简介 选料将多晶硅头尾料埚底料按类分选。 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求，按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化，按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升，使长成的籽晶的直径缩小到定的大小，产 生零位错的晶体，这样，长完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶体的 直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不 断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定的部分 称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒的 直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶棒被升至上炉 室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。 硅棒准备 圆棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样 线锯切片 晶棒粘接 滚磨 准方棒腐蚀或超声清洗 成品测试入库拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部分， 并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切 片结束后，从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格，包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。 其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器 台套，费用万元。详细各期设备清单如下 表期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机日本 切片机日本 全自动硅 型号测试仪 平面厚度仪 合计配套工程设计方案 总平面布置 本项目采用次规划，分期实施的原则建设，总规划用地亩， 总建筑面积平方米。其中期工程用地亩，总建筑面积 等，建筑面积为主生产区层 为单晶炉炉体放置区，二楼为单晶炉上半部分操作区。除生产区外，还 布置有生产管理更衣，以及生产配套的空调机房车间变配电等。另 外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料 的传输暂存。 切片厂房及仓库栋 切片厂房及仓库为单层钢结构厂房，层高米建监控主机监视器数字硬盘录像机监视器等设备，设在消 防保安控制室。 安全监控摄像机设在厂区各主要出入口及周界各处建筑各主要出 入口及室内重要生产区域等处。 该系统对监控场所进行实时有效的视频探测监视显示和记录， 并具有报警和图像复核功能。同时，该系统还具有与入侵报警系统进行 联动荨麻疹等。传统经验及近代药理实验和临 床应用都证明，金银花对于多种致病菌有较强的抗菌作用和 较好的治疗效果。金银花作为种常用的中药，同时又是无 毒植物，深受医药界欢迎，其贸易量和贸易额都必定会大幅 度上升。国外要的是质量符合标准的具有明确化学成分的 是经过提取和具有高科技含量的产品。目前，我国药材市场 以原材料交易为主，香港深加工后出口东南亚和欧美，价格 就翻了多倍。 金银花保健品市场 在保健品市场上，金银花中丰富的氨基酸和可溶性糖有 很好的保健作用。李时珍在本草纲目中指出用它煮汁 酿酒，服之，有轻身长年益寿之效。金银花是种无毒 性的药用植物，随着国际市场的开放和种植的规范化，金银 花及其保健制品的需求量不断增加。市场上用金银花为原料 生产的保健产品有忍冬酒银花茶忍冬可乐金银花汽 水银花糖果和银仙牙膏等。金银花茶具有健脑明目防暑降温作用山东鲁南制药厂以金银花为原料生产的银黄口服 液有清热解毒消炎之功效用金银花制成的金银露，清凉 爽口，是夏季清热解暑的好饮料以金银花为主要原料生产 的银仙牙膏，防治口腔疾病也有较好效果。这些产品除供应 国内，优质品还远销国外。市场需求量很大，曾度出现供 不应求的局面。 金银花化妆品市场 在化妆品市场上，从，香港深加工后出口东南亚和欧美，价格 就翻了多倍。 金银花保健品市场 在保健品市场上，金银花中丰富的氨基酸和可溶性糖有 很好的保健作用。李时珍在本草纲目中指出用它煮汁 酿酒，服之，金银花汽 水银花糖果和银仙牙膏等。金银花茶具有健脑明目防暑降温作用山东鲁南制药厂片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计表二期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机日本 切片机日本 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计表三期进口工艺设备仪器表 序 号设仪 平面厚度仪 合计 表三期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 清洗机 全自动插片机