选料 清洗 测试 断头尾 拆炉 拉晶 配料 装炉 入库 图单晶硅棒生产工艺流程图 图单晶硅片生产工艺流程图 工艺简介 选料将多晶硅头尾料埚底料按类分选。 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求，按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化，按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升，使长成的籽晶的直径缩小到定的大小，产 生零位错的晶体，这样，长完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶体的 直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不 硅棒准备 圆棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样 线锯切片 晶棒粘接 滚磨 准方棒腐蚀或超声清洗 成品测试入库断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定的部分 称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒的 直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶棒被升至上炉 室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。 拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部分， 并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切 片结束后，从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格，包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器 台套，费用万元。详细各期设备清单如下 表期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机日本 切片机日本 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 表二期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机日本 切片机日本 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 表三期进口工艺设备仪器表 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表三期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置 本项目采用次规划，分期实施的原则建设，总规划用地亩， 总建筑面积平方米。其中期工程用地亩，性气体为主要成分，主要污染物有 等。 电气 供电项目用电装设功率，实际消耗功率，实际用电 量估计万度年。 本项目用电从开发区变电站和变电站分别引路高 压线到高压变电站，两路互为备用。在高压变电站内建设总降压 变电站两座，内设高压配电设备主变压器，将供 电电压由降为，为终端变配电所供电，变电所内设 配电装置分配电变压器及低压配电装置。 消防用电和部分生产用电为级负荷，其它为二级负荷。级负荷 需用双回路供电，其中回路故障时，另回路能带大部分或全部负荷， 使生产不致中断。同时，为了保证单晶炉应急冷却水系统的供电，该系 统双电源供电的情况下，另设备用发电机。 接地 设置防雷接地保护接地防静电接地安全接地采用共用接地 系统等。 照明 各建筑内照明配电除般照明外，还设置应急照明及疏散照明。急 照明光源及照明灯具选型与所在区域的般照明的光源及灯具相同，应 急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于分钟。在主要出入口处 疏散走道楼梯