环 件成品的技术基础和能力。 年，我分厂生产加工成品钽靶材及环件套，各项检测指 标均达到客户要求，其中套成品靶材在上海先进材料公司进行上机宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 试验，试验结果同该公司使用其他供应商提供靶材使用结果致。 随着中国半导体制造产业的发展，国内对高性能钽靶材及钽环件 的需求也越来越大，目前国内市场的高性能钽靶材和钽环件全部依靠 进口，其中有部分成品钽靶材和钽环件的原材料坯料由我们提 供，这类产品的基本模式为宁夏生产钽坯料低价格出口到美 国美国完成成品加工出售给中国或其他国家芯片制造厂高价 格。这种模式不但增加了中国半导体行业的生产成本，更重要的是 严重阻碍了中国半导体行业的自主研发能力。所以，我们进行高性能 钽靶材和钽环件的成品加工，不但可以提升我们企业的技术水平，增 加利润，增强抵御市场的风险能力，完善钽材加工产业链，还可以为 中国的半导体产业发展提供坚实的材料基础，意义扫描设备台专用设备靶材焊接质量检验 清洗设备台专用设备。环件及靶材成品清洗包装 专用轧辊对用于靶材及环件轧制 购买设备多为通用设备，也可用于分厂其它产品生产。热等静压 机和三座标检测设备现在公司都有，可共用。产品工艺稳定，并有稳 定的用户后，再进行扩能建设，扩能建设主要补充机加设备和检测设 备三坐标仪。 实施的工艺路线 成品钽靶材工艺路线 目录 项目的意义和必要性„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目意义„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目必要性„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 二项目的技术基础„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 高性能钽靶材和钽环件用坯料制备技术基础„„„„„„„ 高性能钽靶材和钽环件成品加工技术基础„„„„„„„„ 取得的专利情况„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 三建设方案„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目规模及主要内容„„„„„„„„„„„„„„„„„ 实施的工艺路线„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 建设工期和进度安排„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 附件主管部门签字„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 附件靶材厂房规划平面示意图„„„„„„„„„„„„„„ 宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 项目的意义和必要性 项目意义 随着半导体技术的不断进步，计算机芯片集成化程度越来越高， 当芯片线宽由原来的减小到时，会出现镀 膜中的向片的原子扩散现象，为改变此现象，芯片镀膜工艺上 就采用了来作为防止向扩散的阻挡层材料，从而也使得溅 射靶材由原来的系列向系列发展，这也是半导体芯片镀 膜技术发展的必由之路，因此，半导体溅射用高性能钽靶材及环件产 品，就成为了计算机芯片镀膜的关键耗材之。 溅射用高性能钽靶材及环件的制备技术目前世界上只有美国和 日本两国拥有，与其相关的技术也极为保密，世界各地的溅射机台用 高性能钽靶材及环件也都由这两国提供，包含出口给中国。 钽业四分厂车间从年开始，进行高性能钽靶材内部组织 控制技术的研究和钽环件制造技术的研究，经过两年多的艰苦摸索， 已掌握了该技术。自年开„„„„„ 四项目投资„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 总投资规模„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 投资使用方案„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 五经济效益分析„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 成本计算„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 产品预计销售价格„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 盈亏平衡分析„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 项目完成后可实现新增产值„„„„„„„„„„„„„„ 六市场切入情况„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 目前计划切入的市场基本情况„„„„„„„„„„„„„ 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 销售策略„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 合作销售商简介„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 希望推进的使用商简介„„„„„„„„„„„„„„„„ 切入市场价格情况„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 七安全与环境评价„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 八项目风险分析„„„„„„„„ 高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础 通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和 公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工 艺研究，获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件的加工工艺。具体 取得的成果分述如下 高性能钽靶材成品加工工艺研究 取得的技术突破 钽靶材和铜铜背靶的扩散焊接技术，焊接结合率大于，结 合强度满足要求宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 成品钽靶材的机加工艺，产品尺寸及形位公差满足用户要求 成品钽靶材表面铝热喷涂工艺 成品钽靶材的清洗工艺。 靶材坯料成品靶材 市场情况 成品钽靶材工艺技术突破后，经多次工艺试验及改进，对靶材进 行破坏检测，各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先 进材料公司上机测试，测试结果同国外提供的钽靶材结果致。现在 正在积极推进在其他的半导体公司进行上机测试。 型钽靶材生产工艺研究 取得的技术突破 型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织 型钽靶材拉深工艺 型钽靶材机加工艺 型钽靶材焊接工艺。宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 磁控溅射环，专利申请号。 正在申请的发明专利 正在申请的发明专利有项 钽靶材的织构控制 钽和铜铝钛异种金属的扩散焊接 溅射钽环件用钽条制备工艺。 三建设方案 项目规模及主要内容 建设规模为钽靶材套年，钽环件套年。主要内容是厂 房改造和部分关键设备购买，改造厂房面积约，购买关键设备 如表 表购买关键设备明细 序号设备名称数量工艺要求用途 电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积，。靶焊接及环件焊接宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。焊接后靶材成品车削 数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。钽环用钽凸结体成品车削 镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心。成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花 热喷涂设备套电弧喷涂机。靶材成品喷涂 喷砂设备套吸入式干喷砂。钽环件的成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺。 精密卷圆机台最大厚度，宽度。环件卷园 超声波 靶材坯料同规格铜型靶材 市场情况 型钽靶材目前在国内没有应用，我们的图纸来源于公司， 他们希望我们加工成品提供，由于我们没有关键设备，前期试验都在 外协加工，工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品。 溅射钽环件生产工艺研究 溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后，由 于市场的原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺的研究。 取得的技术突破 钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀 钽环件端头滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致 钽环件和钽凸结体焊接工艺，焊接满足标准 清洗喷砂工艺，满足美国应用材料公司标准。 钽棒和钽条成品钽环件宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 市场情况 钽环件的加工工艺已基本成熟，件样品送美国公司进行 检测认证。国内送到中芯国际的样品等待上机测试。 取得的专利情况 已申请国家发明专利 已申请国家发明专利有项 磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具，专利申请号 磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具，专利申请 号靶材坯料，售 价约块，而块成品钽靶材的售价是块出口套钽 环件散件，售价约套，而套成品钽环件的售价是套。 提升企业形象，稳定世界三强地位。 项目形成产业化后，除进步稳定我们世界钽铌三强地位外，也 进步提高了我们在钽深加工领域上的技术实力，逐步形成我们在世 界市场上的主导地位。同时借助产业化的装备与技术实力，为拓展其 它金属靶材的技术开发奠定基础，如 靶等，逐步可实现金属靶产业多元化，增强我们抵御市场风险能力。 国家的推动力。 为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 备工艺及材料技术的自主创新能力，年月日，国务院总 理温家宝主持召开国务院常务会议，审议并通过核心电子器件高 端通用芯片及基础软件产品和极大规模集成电路制造装备及成套 工艺两个国家科技重大专项。中色东方集团已经以项目主承担单位 的身份，和其他八家企业和大学联合承担完成国家在 超高纯大尺寸靶材产业技术开发项目。 原材料优势。 美国和日本制造企业，其制造钽靶材及环件的原材料均需对外采 购，而我们集团具备原料的生产能力，从而使得产品的致性能够得 到充分的保证，这是个很重要的优势所在。 地理位置优势。 中国及亚洲是最大的高性能能钽靶材及钽环的消耗市场，并且将 继续保持以较高速率发展，目前中国及亚洲市场钽靶材主要来自美国 和日本。 二项目的技术基础 高性能钽靶材和钽环件用坯料制备技术基础 应用于半导体行业的高性能钽靶材和钽环件，其中最重要的技术 要求是材料内部组织符合要求并能保持加工的致性。在材料的控制 方面，我们通过自治区科技攻关项目