建单位 项目投资方外资 可行性研究报告的编制依据 国家计委办公厅投资项目可行性研究指南 般工业项目可行性研究报告编制内容深度规定 国家制定颁布的有关法规和规定 行业对项目可行性研究的要求 项目承办单位提供的资料，编制人员现场勘测的有关资料数据等 建设项目经济评价方法与参数第三版 关于年产吨电子级高纯多晶硅建设项目编制委 托书 项目提出的理由和过程 多晶硅是硅产品产业链中的个极为重要的中间产品，制造硅抛光片 太阳能电池及吸附钯催化脱氧和分子吸附工序。 建设项目浓硫酸吸收塔会有硫酸雾产生，但由于硫酸吸收是在密闭系统内完 成的，酸雾不进入大气，仅会被硅甲烷携带到下步工序，而且为防止雾状硫酸 碱淋洗 包装 释放氢气 目录 第章总论 项目简介 项目概况 第二章技术设备及工程方案 技术方案 设备方案 工程方案 第三章原辅材料及燃料供应 主要原料供应市场预测与可行性分析 第七章投资估算与资金筹措 估算依据 估算 资金来源 资金使用计划 第八章经济效益测算 年销售收入销售税金及附加估算 产品成本估算 利润总额及分配 第九章社会效益分析 项目实施对社会的影响分析 项目与所在地互适性分析 第四章环境保护 设计依据和标准 主要污染源及治理措施 绿化 环境评价结论 第五章节能节水措施 节能和节水的必要性 节能原则 节能措施 节水措施 第六章市场预测与可行性分析 中国多晶硅工业现状 节能，氢硅烷法生产晶硅，原材消耗显著低于氯氢烷法，电力消耗仅 为氯硅烷法的三分之。硅甲烷分解成硅和氢，次能完成百分之九十 五左右而三氯硅烷结晶，次最大量仅能完成百分之二十七，十分耗能。 纯度高，氢硅烷法是很容易结晶出以上的多晶硅，而氯硅烷法达 到已属不易。 成本低，硅甲烷没有腐蚀性，绝大数设备可运行年而氯硅烷 对不锈钢腐蚀性大，设备般仅能使用年。 主要反应机理 本项目选择氢硅烷法生产多晶硅，共分四个步骤 硅和镁反应，生成硅化镁。 反应式 硅化镁和氯化铵在液氨内反应，生成硅化烷。 反应式 硅甲烷纯化去除氨硼磷硫氧水分等 硅甲烷分解成硅和氢 反应式 工艺流程及产污环节 建设项目选择氢硅烷气相沉积法生产多晶硅成 硅粒和镁粒在惰性气体氩气保护下，在真空内加热个小时，反 应生成硅化镁。硅化镁直接密闭干燥保存备用，未反应的硅粒镁粒由 设备自动筛分真空状态下后返回真空炉内继续反应。 硅甲烷合成 将硅化镁和氯化铵混合后，在液氨溶媒条件下，在硅 甲烷发生器中生产硅甲烷氯化镁和氨气。整个反应在密闭条件下进行， 为连续循环反应，硅甲烷和氨气不断生成，经反应釜顶部冷凝器出口 进行收集氯化镁和多余的液氨从反应釜底部间歇排除 氯化镁和多余的液氨从反应釜底部出口进入真空干燥器进行分离。液氨被压 缩进入液氨罐，氯化镁和未反应的硅镁硅化镁采用塑料包装。真空干燥 器尾气主要成分为氨气经浓硫酸吸收塔稀硫酸吸收装置吸收后排放。 硅甲烷混合气体含有氨气，经压缩冻干收回液氨，回收的液氨返回硅甲烷 发生器，冻干处理后的硅甲烷气体经过浓硫酸吸收除去残余氨气进入分子筛 。工业硅与工业镁在真空 炉内转化成硅化镁，硅化镁与氯化氨化学反应生产硅甲烷混合气体，硅甲 烷混合气体经过提纯去除杂质，再经热分解使硅晶体沉积在钼丝电极上形 成硅棒。采用这种方法生产的多晶硅，般纯度很高，其生产工艺流程及 产污环节见图 硅粒镁粒 氩气 硅化镁工业粉尘 氯化铵排放 液氨 尾气 硅甲烷混合气体液氨和氯化镁 液氨液氨氯化镁硅镁硅化镁 工业粉尘 硅甲烷 废分子筛 催化剂再生 废分子筛 硅甲烷 尾气 合成 混合 浓硫酸吸收 分离压缩 硅甲烷合成 成 氨 收 集 罐 塑封包 装 氨罐 镧镍吸 收氢气 冻干 浓硫酸吸收 分子筛吸附 钯催化脱氧 混合 分子筛吸附 裂解硅晶体析出 多晶硅产品 液碱硅酸钠溶液 氢气高空火炬排放 工艺流程说明 硅化镁合数第三版 关于年产吨电子级高纯多晶硅建设项目编制委 托书 项目提出的理由和过程 多晶硅是硅产品产业链中的个极为重要的中间产品，制造硅抛光片 太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，是半导体工业电子信息产业太阳能光伏电池产业的最主要最基础的功能性材料，可作各种晶体管整 流二极管可控硅太阳能电池集成电路电子计算机芯片以及红外探 测器等。多晶硅的需求主要来自半导体和太阳能电池。按纯度要求不同， 分为电子级和太阳能级。其中，用于电子级多晶硅占左右，太阳能级 多晶硅占。 近年来，随着全球信息技术不断进步和光伏产业的迅猛发展，对于多 晶硅的需求量将日益增加。电子信息产业是我国发展支柱的产业，作为半 导体产业最基础的功能材料多晶硅，是当前国家重点鼓励发展的产业产 品。即使在建的多晶硅项目投产，国内多晶硅产量仍不能满足市场需求。 随着我国集成电路高速增长的势态，以及光明工程的实施，光伏发电 技术及其产量的腾飞，对多晶硅的需求量将持续增长。而国内多晶硅的自 主供货存在着严重的缺口，以上的多晶硅材料需要进口，供应长期受制 于人，再加上价格的暴涨，已经危及到多晶硅下游众多企业的发展，成为 制约中国信息产业和光伏产业发展的瓶颈问题。 经过对市场的调研和分析，抓住有利时机，决定建设年产 吨电子级高纯多晶硅项目。该项目不仅于工业化。建设项目生产关键装置如硅烷 发生器硅结晶炉硅化镁感应炉等由公司与国家航天火箭发动机研究 院联合研发。 国际上传统生产多晶硅采用的是