家战略性能源工程惯性约束核聚变工程中，大功率激光系统是整 个装臵的核心，其光学系统零部件的设计制造是整套装臵成功与否的 关键，而高精度无损耗抗高强度激光的硬膜多层介质膜则是光学 元件制造的核心技术之。但由于目前光学薄膜技术水平较低等原 因，已经影响了核心光学零部件性能，进而制约了系统和整机的性能 和水平。 先进制造 现代科学仪器设备及测控装臵的精密光学系统精密高效激光加 工技术及设备中激光系统的光学零部件半导体制造领域光刻及检测 设备的光学系统都与光学薄膜密切相关。 通讯 网络或电信应用方面，薄膜用作滤光膜反射镜薄膜或减反射透 镜薄膜。应用于光源放大器有线电视分布网互联网络光学调 制器转换开关光纤波分复用器连接器发送和接收模块等光 通讯光开关技术领域。 电子及仪器 在光显示领域，应用于所有面板和显示屏的表面，如计算机， 手机，掌上电脑和其它日常电子仪器。防炫膜减反射或 膜使屏幕更加明亮更易读取，保护膜使屏幕寿命延长不易 被划伤。 在光存储领域，应用于光读取头等。 在航天航空领域的卫星空间探测器，遥感遥测仪器光学成像系统 中的分光棱镜等关键元件成像光谱仪中的光学元件 家用电子方面如数码相机背投电视视频照相机 机显示屏报警器等。背投影电视和液晶投影仪等高档图像处 理设备中的二向色性分光板和合色棱镜等光学薄膜器件 商业用电子方面如投影机复印机传真等信息光学设备。 交通 光学薄膜在交通方面的应用主要在高级汽车光学感应器方面。 如车窗膜反射镜膜仪表板膜反射膜电致变色膜。 车窗和反射镜同时镀有减反射膜和反射膜镀膜平板显示器等仪 表板膜自动调光镜的电致变色膜检生产线条，工模具光学辅料生产线各条， 形成年产各类高精度光学元件万件的生产能力。其中，进口 国产真空镀膜及检测设备仪器余台套，包括溅射式镀膜机在内的 国际流的高真空镀膜机及检测设备占三分之，每年可产膜面 万面，多层膜面占左右。八槽十二槽超声波清洗机台，年 清洗各类零件万件。引自日本的全自动化柔性磨边生产线，可 实现无人化操作。 公司拥有美国日本分光光度计等 检测设备可测量波长分辨精度，倍数码显微镜在线检测精 度为。 根据市场对光学薄膜产品日益增长的需求，借鉴发达国家光学薄 中心名称 光学薄膜国家工程技术研究中心 二依托单位 光电股份有限公司 三主管部门 河南省科技厅 四申报日期 二〇〇九年四月 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传, 五组建背景和意义 本技术领域的确切含义 薄膜科学与技术涉及的范围极广，它包括以物理气相沉积和化学 气相沉积为代表的成膜技术，以离子束刻蚀为代表的微细加工技术， 成膜刻蚀过程的监控技术薄膜分析评价与检测技术，薄膜材料 的应用开发及科学研究等。薄膜技术既是综合性的应用科学，又涉 及到许多跨学科的理论基础，近年来正日益发展成门类齐全的薄膜产 业。 光学薄膜技术是以电磁理论为基础，利用光的干涉现 象，用物理化学等方法把材料金属非金属等沉积在基板表面 形成薄膜的成膜技术。它是种基于超精密加工的先进制造技术。对 于其他先进制造技术而言，正如数学对于其他诸多学科，是种对其 他诸多行业起支持作用的基础性的先进制造技术。它涵盖成膜技术 成膜装备技术成膜材料技术检测技术四大技术领域。 光学薄膜 检测设备成膜材料成膜装备成膜技术 膜 系 设 计 设 软 件 计 真 空 技 术 监 控 技 术 沉 积 技 术 膜 料 技 术 检 测 技 术 图光学薄膜产业体系 能化技术研究和系统集 成技术上形成优势，迅速形成光学薄膜产品的大规模生产，不仅可以 提高光学薄膜产品的整体质量，而且可以全面降低成本，用规模经济 效益形成的成本优势参与国际市场竞争。 中心将会使与人民生活密切相关的国产光电产品，如大 功率激光器液晶投影机投影电视数码相机激光打印机扫描 仪太阳能薄膜电池等提高其核心零部件的自制能力，零部件国产化 水平的提高必然使整机产品成本下降，从而降低进入日常生活的门 槛在先进制造领域，可以发展激光加工设备，提高激光加工设备的 性能在光纤通讯领域，可以改善通讯效果在科学研究领域，可以 改善检测仪器的性能在航空航天领域，可以增强探测仪器的探测能 力在能源建设领域，可以为激光核聚变研究以及核聚变电站的建设 提供基础性支持。 中心建成后，可以在军事领域中发挥积极作用，为国防 安全提供有利的保障。高科技是今日国防所急需，而光学薄膜是此中 不可或缺的环。抗反射膜滤光膜抗强激光薄膜光网等在军事 上的运用，可以极大增强武器的性能，特别是在探测观察精确制 导揭露伪装物等方面发挥着关键性的作用。 中心所处技术领域在行业发展中的地位和作用 基于超精密加工的光学薄膜技术是对诸多行业如光显示光存 储光输出入光功能高分子材料光触媒技术新能源技术智能 交通系统航天航空等领域起支持作用的基础性的先进制造技术， 其水平高低已成为衡量个国家光电信息先进制造等高新技术产业 科技发展水平的关键技术之。 光学薄膜广泛应用于科学研究工业技术文化教育卫生医疗 航空航天国防军用和人民生活中所有要用到光学系统的领域，而光 学系统质量的优劣在很大程度上取决于光学薄膜。日本科学家曾挑选 项二十世纪最重要的技术领域做了预测报告。其中属于光电子 技术，或者直接取决于光电子技术进步的有个领域半导体器件 光技术平板显示智能计算机下代互联网信息家电存储技 术微机械机器人技术生产系统加工技术虚拟现实技术光功 能高分子材料光触媒技材料信息科学是新技术革命的先导和支柱。作为特殊形 态材料的薄膜，已成为微电子信息传感器光学太阳能利用等 技术的基础，并广泛渗透到当代科技的各个领域，而且特殊功能特 殊用途的光学薄膜材料的开发本身就是高技术的重要组成部分。在新 材料发展最活跃的些领域，如新材料的合成与制备，材料表面与界 面的研究，低维材料的开发等无不和光学薄膜技术有关。由于真空 技术薄膜材料与技术和表面物理相结合，促进了光学薄膜技术的迅 速发展，也推动了光学薄膜产品的开发与应用。 当今世界光学薄膜产业飞速崛起。些发达国家在卷镀光学薄膜 产品建筑玻璃镀膜制品集成电路薄膜太阳能用薄膜液晶显示 膜等都已具有相当大的生产规模。这充分表明国际上光学薄膜产业方 兴未艾，前景光明。 二重要性 中心所在行业对国民经济和社会发展的作用 可以提升国家光学薄膜行业整体水平，突破国外关键技术 的壁垒。光学薄膜工程技术研究中心建成后，通过对光学薄膜核心技 术和关键技术的工程化研究以及成果的推广和服务，可以极大地提高 我国光学薄膜行业的整体水平，打破国外关键技术的壁垒，对带动光 电子等相关行业的发展，增强民族光学工业光学薄膜产业的核心竞 争力意义深远。 把光学薄膜提升到产业的高度，开拓个全新的技术行业 领域，能极大地提高其它行业发展所需的高精度光电仪器的核心技术 开发能力，对实现我国产业升级起到关键性的作用。光学薄膜工程技 术研究中心将会提高全行业的工程化技术研究水平，形成系统规范 的工程化技术研究和产业化验证环境，使光学薄膜成为为其他相关产 业提供基础性支持的产业，突破我国先进制造技术光电产业信息 产业等发展的技术瓶颈，推动我国高新技术产业的升级。 有利于加快光学薄膜领域科研成果的产业化速度，通过产 业化推广，迅速提升产业整体水平和竞争实力，并推动相关产业的发 展。任何种技术产业化的道路是实验室试制工业化研究 大规模生产。光学薄膜产业的发展也需要系统集成的工业化生产。国 家光学薄膜工程技术研究中心建成后，将在工关键技术之。在我国相关部门制 定的国家重点支持的高新技术领域中，涉及光学薄膜的领域占了 相当大部分，主要有电子信息技术领域中广播电视技术新型电 子元器件智能交通技术等生物与新医药技术领域中的医疗仪器技 术设备医学检验技术等航空航天技术领域中的卫星通信应用系统 新材料技术领域中金属及非金属材料先进制备加工技术功能玻璃 制造技术新能源及节能技术领域中太阳能光伏发电技术等高新技 术改造传统产业技术领域中科学分析仪器检测仪器技术精确制造 中的测控仪器技术激光加工技术等，全部需要光学薄膜技术的支撑。 除此之外，光学薄膜正在突破传统的范畴，越来越广泛地渗透到 从空间探测器集成电路生物芯片液晶显示到集成光学等各学科 领域中。 三必要性 为了使我国光学薄膜理论研究和工程化技术研究水平与先进国 家同步，满足国内外高新技术行业日益增长的市场需求，我们必须大 力开展对光学薄膜新技术新装备新材料的系统研究和开发，要有 较大的投入，建立起光学薄膜科技成果的研究转化平台和灵活的运 行机制，使强势企业和优势科研单位有机结合，形成产学研开发 基地。因此，建设个以光学薄膜技术为主要研究对象，以膜系开发 镀膜装备镀膜材料等系统集成工程化技术研究和推广为主要目标 的光学薄膜工程技术研究中心是非常必要的。 可以提升国家光学薄膜行业整体水平，突破国外关键技术的 壁垒。光学薄膜工程技术中心建成后，通过对光学薄膜的工程化研究 以及成果的推广和服务，可以极大地提高我国光学薄膜行业的整体水 平，打破国外关键技术的壁垒，对带动光电子行业的发展，增强民族 光学