（终稿）120ta高纯三氯氧磷工程新增项目可行性投资论证建议书.doc（最终版）

提升我国在该领域的技术水平，打破国内外产品的垄断。

项目的主要内容创新点项目的主要内容是电子级三氯氧磷在贵州实验室取得成功的基础上进行电子级三氯氧磷的试产，以及对电子级三氯氧磷的包装安全运输等进行研究，并推动其它高附加值磷化产品电子级磷酸亚磷酸三甲酯等的系列化开发，创造出其有国内先进水平的技术或产品。

建设年产吨电子级三氧氧磷的生产线，达产后年产值万元以上。

项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

项目技术的创新点在于从原材料开始严格控制各道工序的提纯及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品的质量，产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好，达到国际标准，其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

将塔板精馏器运用到三氯化磷的精馏中，可以将杂质元素从几十个降到几个甚至零点几个。

原材料利用率高过程的废气废水容易处理。

研究的主要过程可行性研究报告编制之前，项目组到现场认真仔细地落实了设计条件，结合该公司所在的江苏经济开发区工业园区的实际情况，根据该公司提供的设计基础资料，依据原化工部化工建设项目可行性研究报告内容和深度的规定及国家有关规定编制了本报告。

浸泡超纯水洗超纯水洗超净包装超纯水设备选型表设备名称规格单位数量备注高纯风柜台尾气处理系统套石英塔套美国制造高纯适应配件耐高温套高纯氯气处理系统套高纯货架个烘箱个玻璃制品套高纯四氟制品套源瓶阀门套源瓶产品包装套软板运输车箱式台叉车台纯水机组套检验设备气象色谱仪等套黄磷提纯系统套变压器台产品原辅材料方案及拟建规模表序号产品名称生产规模备注三氯氧磷盐酸或者氯化钠等副产品中和原辅材料名称最大用量液氯汽车运输黄磷汽车运输氢氧化钠汽车运输石灰汽车运输第章总论项目名称及建设单位项目名称高纯三氯氧磷工程项目建设单位县化工有限公司法人代表项目主管部门江苏经济开发区工业园区经济发展局可行性研究编制的依据和原则编制依据县化工有限公司提供的设计基础资料。

化工建设项目可行性研究报告内容和深度的规定修订本。

编制原则项目技术和设备立足国内。

节约用地，节省基建投资，加快建设进度。

主体工程与环境保护安全和工业卫生消防同时考虑，以消除工厂生产对周围环境及职工健康的影响。

优化设计方案，提高企业经济效益和社会效益。

贯彻工厂布置体化，生产装置露天化，建构筑物轻型化，设备技术国产化的原则。

设计中遵守国家法律法规及有关标准规范。

项目提出的背景投资必要性和经济意义企业概况县化工有限公司是县人民政府招商局招商引资项目。

该公司自立项以来直得到县政府目的实施，将当地磷资源优势转化为经济优势，促进磷化工科技水平的提高。

带动磷化工新产品的开发，形成产业链发展，为开发和生产其他起大规模集成电路辅助材料奠定基础，同时推动地方经济发展，增加就业机会。

因此，把该项目作为高新技术产业化示范工程是十分必要的。

项目建设的经济意义通过本项目的实施，向我国微电子行业提供高端电子级三氯氧磷产品，促进我国信息产业的发展，该项目产品填补我国电子级三氯氧磷的不足，可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池等工业，对我国信息产业的发展具有极大的推动作用，对这些产业在国际市场的竞争优势有较大的提升作用。

通过掌握电子级三氯氧磷产品生产的核心技术，有利于打破国内外产品的垄断，电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公司占全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的日本的占全球市场份额的，占全球市场份额的。

另外还有日本的关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的等公司。

在技术方面，美国德国日本韩苏经济开发区工业园区管委会的大力支持和协助。

该公司各项工作进展顺利。

项目提出的背景随着经济的迅猛发展。

以微电子计算机通讯和网络技术为代表的信息技术，是现代科学进步中发展最快渗透性最强应用最广泛的关键技术现已成为世界各国科技经济军事政治竞争的焦点，成为各国综合国力较量的个重要方面，加快信息产业的发展，早已成为我国的项重要国策。

近年来，由于我国国民经济持续健康发展，尤其是电子信息产品的巨大需求，吸引了世界上些著名企业和太阳能电池生产厂商对中国大陆的投资。

目前我国已初步形成以北京为基点的北方微电子产业门户基地和以上海为基点的华东微电子产业门户基地。

在和太阳能电池的制造成本中支撑材料和辅助材料大约占五成比例或更多，高纯三氯氧磷产品是支撑材料或辅助材料的重要组成部份之。

由于技术和政策等原因，我国和太阳能电池行业的支撑材料业发展很缓慢，绝大多数材料依靠进口，同快速发展的主体制造业极不配套。

其中，超高纯材料和超高纯试剂的发展更为滞后，目前基本依靠进口，主要进口商为日本美国和德国的企业。

项目建设的必要性本项目是个技术先进生产工艺成熟经济上可行，具有较高抗风险能力的高新技术项目，项目符合国家产业政策，具有广阔的发展空间。

本项目的电子级三氯氧磷是国内研究，产品成功进行生产后，既可以为微电子行业提供高质量的电子基础材料，同时也通过本项目的建设，减少我国对国外产品的依赖，打破国内外产品的垄断，提品市场竞争力，投入生产后可以替代进口填补国内无法生产电子级三氯氧磷产品的空白，推动我国信息产业的发展。

通适本项势三氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公司占全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的，公司占全球市场份额的日本的占全球市场份额的，占全球市场份额的。

另外还有日本的关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。

提升我国在该领域的技术水平，打破国内外产品的垄断。

目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生产规模产品方案产品吨年案技术特点电子级三氧氧化磷技术特点本技术的创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序的提纯以及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品质量的稳定性，保证产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

但其纯度必须为三氯氧磷的精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程的干净及使用后便于清洗。

④原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢氧化钠和生石灰中和处理。

产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。

第四章工艺技术方案工艺技术路线电子级三氯氧磷工艺技术路线三氯化磷是合成三氯氧磷的过程品。

三氯化磷的生产必须以级的黄磷或红磷为原料与经过处理的高纯氯气反应，主要包括氯气黄磷的生产提纯分离蒸馏等操作单元。

得到的产品是生产三氯氧磷的原料。

用高纯的三氯化磷为原料合成三氯氧磷，同样经过处理的氯气和符合标准的纯净水合成。

此工艺成熟安全产率高且不污染环境，主要包括合成回流蒸馏精馏过滤等操作单元。

得到的产品纯度高，稳定性好，达到国际标准其单项杂质最高含量为。

产品可以达到级。

三氯氧磷生产工艺流程图反应方程式，↑三氯氧磷生产工艺流程图合成合成合成活性碳回流工业黄磷工业氯气过滤气化干燥干吸蒸馏吸附精馏储存超净过滤石英源瓶外包装内包装成品除油王水纯三氯氧磷生产规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目的技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本公司和德国公司同类产品的水平。

电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子的文献报道，也未见采用本工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性。

工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势电子级三氯氧磷创新点论述本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达到国际标准。

国内外工艺流程的对比德国默克流程图产品可达级。

国内生产企业由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。

县化工有限公司工艺流程产品可以达到级黄磷高纯合成蒸馏馏合成精馏精馏精馏精馏在千级超净环境下在百级超净环境下工业级精馏在通风厨里包装，包装瓶用焰或乙炔封口精馏工业级精馏净化包装升华回收对行业技术进步的重要意义和作用掌握核心技术，打破国外产品对我国的市场垄断公司经过多年的研究开发已掌握了高纯黄磷电子级红磷电子级三氯氧磷的核心技术。

目前，在我国微电子行业使用的电子级红磷和三氯氧磷，几乎全部是美国日本德国等国家的产品。

项目成受性和可靠性论述项目的成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告技术产业太阳能电池高纯化合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

目前，中小规模上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太