1、医药生物工程电子纺织精密仪器等行业的无污染要求，不加润滑脂的不供油润滑元件已经问世。随着材料技术的进步，新型材料如烧结金属石墨材料的出现，构造特殊用自润滑材料制造的无润滑元件，不仅节省润滑油不污染环境，而且系统简单摩擦性能稳定成本低寿命长。机电气体化由“可编程序控制器传感器气动元件”组成的典型的控制系统仍然是自动化技术的重要方面发展与电子技术相结合的自适应控制气动元件，使气动技术从“开关控制”进入到高精度的“反馈控制”省配线的复合集成系统，不仅减少配线配管和元件，而且拆装简单，大大提高了系统的可靠性。而今，电磁阀的线圈功率越来越小，而的输出功率在增大，由直接控制线圈变得越来越可能。气动机械手气动控制越来越离不开，而阀岛技术的发展，又使在气动机械手气动控制中变得更加得心应手。气动技术经历了个漫长的发展过程，随着气动伺服技术走出实验室，气动技术及气动机械手迎来了崭新的春天。目前在世界上形成了。

2、但是膜片的变形量有限，故其行程短般不超过，且气缸活塞杆上的输出力随着行程的加大而减小。.冲击气缸冲击气缸是种体积小结构简单易于制造耗气功率小但能产生相当大的冲击力的种特殊气缸。与普通气缸相比，冲击气缸的结构特点是增加了个具有定容积的蓄能腔和喷嘴。气马达气马达也是气动执行元件的种。它的作用相当于电动机或液压马达。即输出力矩，拖动机构作旋转运动。气马达按结构形式可分为叶片式气马达活塞式气马达和齿轮式气马达等。最为常见的是活塞式气马达图和叶片式气马达。叶片式气马达制造简单结构紧凑，但低速运动转矩小低速性能不好，适由于中低功率的机械，目前在矿山及风动工具中应用普遍。由空气压缩机产生的压缩空气，必须经过降温净化减压稳压等系列处理后，才能供给控制元件和执行元件使用。而用过的压缩空气排向大气时，会产生噪声，应采取措施，降低噪声，改善劳动条件和环境质量。对压缩空气的要求要求压缩空气具有定的压力和足够的流。

3、成套化。气动机械手的重复精度将越来越高，它的应用领域也将更广阔，如核工业和军事工业等。模块化有的公司把带有系列导向驱动装置的气动机械手称为简单的传输技术，而把模块化拼装的气动机械手称为现代传输技术。模块化拼装的气动机械手比组合导向驱动装置更具灵活的安装体系。它集成电接口和带电缆及气管的导向系统装置，使机械手运动自如。由于模块化气动机械手的驱动部件采用了特殊设计的滚珠轴承，使它具有高刚性高强度及精确的导向精度。优良的定位精度也是新代气动机械手的个重要特点。模块化气动机械手使同机械手可能由于应用不同的模块而具有不同的功能，扩大了机械手的应用范围，是气动机械手的个重要的发展方向。智能阀岛的出现对提高模块化气动机械手和气动机器人的性能起到了十分重要的支持作用。因为智能阀岛本来就是模块化的设备，特别是紧凑型阀岛，它对分散上的集中控制起了十分重要的作用，特别对机械手中的移动模块。无给油化为了适应食品。

4、缸有气液阻尼缸薄膜式气缸和冲击式气缸等。.气液阻尼缸普通气缸工作时，由于气体的压缩性，当外部载荷变化较大时，会产生“爬行”或“自走”现象，使气缸的工作不稳定。为了使气缸运动平稳，普遍采用气液阻尼缸。气液阻尼缸是由气缸和油缸组合而成。利用油液的不可压缩性和控制油液排量来获得活塞的平稳运动和调节活塞的运动速度。它将油缸和气缸串联成个整体，两个活塞固定在根活塞杆上。.薄膜式气缸薄膜式气缸是种利用压缩空气通过膜片推动活塞杆做往复直线运动的气缸。它由缸体膜片膜盘和活塞杆等主要零件组成。其功能类似于活塞式气缸，它分单作用式和双作用式两种。薄膜式气缸的膜片可以做成盘形膜片和平膜片两种形式。膜片形式为夹织物橡胶钢片或磷青铜片。常用的是夹织物橡胶，橡胶的厚度为，有时也可用。金属式膜片只用于行程较小的薄膜式气缸中。薄膜式气缸和活塞式气缸相比较，具有结构简单紧凑制造容易成本低维修方便寿命长泄漏小效率高的优点。。

5、道连接件是不可缺少的。管子可分为硬管和软管两种。如总气管和支气管等些固定不动的不需要经常装拆的地方，使用硬管。连接运动部件临时使用希望装拆方便的管路应使用软管。硬管有铁管铜管黄铜管紫铜管和硬塑料管等软管有塑料管尼龙管橡胶管金属编织塑料管以及挠性金属导管等等。常用的是紫铜管和尼龙管。气动系统中使用的管接头的结构及工作原理与液压管接头基本相似分为卡套式扩口螺纹式卡箍式插入快换式等。重复高精度精度是指机器人机械手到达指定点的精确程度，它与驱动器的分辨率以及反馈装置有关。重复精度是指如果动作重复多次，机械手到达同样位置的精确程度。重复精度比精度更重要，如果个机器人定位不够精确，通常会显示个固定的误差，这个误差是可以预测的，因此可以通过编程予以校正。重复精度限定的是个随机误差的范围，它通过定次数地重复运行机器人来测定。随着微电子技术和现代控制技术的发展，以及气动伺服技术走出实验室和气动伺服定位系统。

6、以日本美国和欧盟气动技术气动机械手三足鼎立的局面。我国对气动技术和气动机械手的研究与应用都比较晚，但随着投入力度和研发力度的加大，我国自主研制的许多气动机械手已经在汽车等行业为国家的发展进步发挥着重要作用。随着微电子技术的迅速发展和机械加工工艺水平的提高及现代控制理论的应用，为研究高性能的气动机械手奠定了坚实的物质技术基础。由于气动机械手有结构简单易实现无级调速易实现过载保护易实现复杂的动作等诸多独特的优点，可以预见，在不久的将来，气动机械手将越来越广泛地进人工业军事航空医疗生活等领域。.本课题应达到的要求本课题的任务是研制半导体芯片自动化生产线中用于搬运芯半导体,芯片,气动,搬运,机械手,设计,毕业设计,全套,图纸摘要本文设计了种用于半导体芯片自动化生产线中的搬运气动机械手。该机械手实现芯片的抓取释放以及搬运等个自由度的动作，结构合理，动作准确迅速，安全可靠性高。采用日本三菱公司的系列。

7、量。要求压缩空气有定的清洁度和干燥度。清洁度是指气源中含油量，含灰尘杂质的质量及颗粒大小都要控制在很低范围内。干燥度是指压缩空气中含水量的多少，气动装置要求压缩空气的含水量越低越好。混在压缩空气中的油蒸气可能聚集在贮气罐管道气动系统的容器中，有引起爆炸的危险或影响设备的寿命。压缩空气中含有的饱和水分，在定的条件下会凝结成水，并聚集在个别管道中。在寒冷的冬季，凝结的水会使管道及附件结冰而损坏，影响气动装置的正常工作。压缩空气中的灰尘等杂质，对气动系统中作往复运动或转动的气动元件的运动副会产生研磨作用，使这些元件因漏气而降低效率，影响它的使用寿命。因此气源装置必须设置些除油除水除尘，并使压缩空气干燥，提高压缩空气质量，进行气源净化处理的辅助设备。气动三联件图般指空气过滤器减压阀油雾器，有些品牌的电磁阀和气缸能够实现无油润滑靠润滑脂实现润滑功能，便不需要使用油雾器！空气过滤器和减压阀组合在起可。

8、。其中气动机械手采用控制气路及气压回路驱动气缸实现要求的运动轨迹，在结构上，与其他类型的机械手相比，气动机械手具有结构简单，控制容易，其气动部件已系列化和组立化，便于设计与实现，且维护方便。由于气动机械手这些特点，气动机械手在生产过程自动化中的应用已日益广泛。气动机械手系统由于其介质来源简便以及不污染环境组件价格低廉维修方便和系统安全可靠等特点，已渗透到工业领域的各个部门，在工业发展中占有重要地位。气动技术经历了个漫长的发展过程，随着气动伺服技术走出实验室，气动技术及气动机械手迎来了崭新的春天。目前在世界上形成了以日本美国和欧盟气动技术气动机械手三足鼎立的局面。我国对气动技术和气动机械手的研究与应用都比较晚，但随着投入力度和研发力度的加大，我国自主研制的许多气动机械手已经在汽车等行业为国家的发展进步发挥着重要作用。随着微电子技术的迅速发展和机械加工工艺水平的提高及现代控制理论的应用，为研。

9、称为气动二联件。还可以将空气过滤器和减压阀集装在起，便成为过滤减压阀功能与空气过滤器和减压阀结合起来使用样。有些场合不能允许压缩空气中存在油雾，则需要使用油雾分离器将压缩空气中的油雾过滤掉。总之，这几个元件可以根据需要进行选择，并可以将他们组合起来使用。气动辅件消声器在气压传动系统之中，气缸气阀等元件工作时，排气速度较高，气体体积急剧膨胀，会产生刺耳的噪声。噪声的强弱随排气的速度排量和空气通道的形状而变化。排气的速度和功率越大，噪声也越大，般可达，为了降低噪声可以在排气口装消声器图。消声器就是通过阻尼或增加排气面积来降低排气速度和功率，从而降低噪声的。气动元件使用的消声器般由三种类型吸收型消声器膨胀干涉型消声器和膨胀干涉吸收型消声器。管道连接件管道连接件包括管子和各种管接头。有了管子和各种管接头，才能把气动控制元件气动执行元件以及辅助元件等连接成个完整的气动控制系统，因此，实际应用中，管。

10、列表机械手气动系统设计.气压传动的组成及工作原理气源装置及辅件气动控制元件气动执行元件.气压传动的优缺点.气动机械手的气缸的选用滑台气缸的选用旋转气缸的选用悬臂气缸的选用升降气缸的选用模块化真空发生器和真空吸盘的选用机械手电气系统设计.简介内部原理的工作原理机型的选择方法机械手选择及参数.系列基本指令运用机械手典型动作的程序设计.电气气动控制控制要求.输入输出点分配.机械手关键步骤程序结论与展望.结论.不足之处及未来展望致谢参考文献附录绪论.基于的气动机械手设计的意义随着社会生产不断进步和人们生活节奏不断加快，人们对生产效率也不断提出新要求。由于微电子技术和计算软硬件技术的迅猛发展和现代控制理论的不断完善，使机械手技术快速发展。用于再现人手的的功能的技术装置称为机械手。机械手是种模仿人手动作，并按设定程序轨迹和要求代替人手抓吸取搬运工件或工具或进行操作的自动化装置。在工业生产中得到广泛应。

11、究高性能的气动机械手奠定了坚实的物质技术基础。由于气动机械手有结构简单易实现调速易实现过载保护易实现复杂的动作气源使用方便不污染环境动作灵活可靠工作安全可靠，适用于需要模拟人的重复动作场合以及恶劣的工作环境中等诸多独特的优点，因而在冲压加工注塑机床下料仪表电子汽车航空及自动化生产线中有着广阔的应用前景。本文设计了种基于控制的四自由度的气动机械手，用于半导体芯片自动化生产线中用于搬运英寸芯片的气动机械手，该气动机械手由气控真空发生器真空吸盘悬臂气缸旋转气缸底座滑台气缸等部分组成。运用可编程技术进行控制，对气动机械手完成生产物料运输搬运工作，实现自动化控制。该气动机械手能放置在各种不同的电子产业的生产线或物流流水线中，使芯片盘的搬运更快捷便利准确到位。.机械手的国内外的发展概况机械手的发展史，也被称为自动手能模仿人手和臂的些动作功能，用以按固定程序抓取搬运物件或操作工具的自动操作装置。它可代。

12、机械手的上下左右回转以及芯片吸取运动进行自动化控制。利用可编程技术结合相应的硬件装置控制机械手完成搬运动作，来配合和实现生产上的要求。该气动机械手作为特定工位的搬运机械手，能够取代国外进口的的多功能通用机械手，节约设备成本和维护成本以上，在自动化生产国产化进程中具有积极的意义。本人在实习单位的工作中发现在自动化生产线中为了便于实现柔性制造，大部分机械手都是自由度通用机械手，它采用模块化安装，改变工位动作时只需改变相应程序即可。然而用通用机械手去执行特定简单工位的动作，是种生产资源的浪费。在当今社会追求高效，节约的大环境下，本人结合工作实际设计了款能满足特殊工位使用的机械手。关键词机械手气动控.机械手的国内外的发展概况机械手的发展史气动机械手的发展史和发展前景.本课题应达到的要求机械手基本结构与控制任务.机械手的主要部件及运动.机械手的结构及技术参数列表气动机械手的结构气动机械手的技术参数。

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