本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干式泵。毕业设计论文类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物有毒甚至致癌及固体颗粒物。另类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。传统油封真空泵在石化领域所面对的难题人们往往通过选用水蒸汽喷射泵水喷射泵水环泵水环罗茨机组等途径加以解决。但往往系统过于庞大，噪声也很大，同时工作过程中会产生很多的废水和其他的排放物，处理排出废物的投资也很昂贵。干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵爪型泵祸旋泵往复活塞泵螺旋泵等表是几种典型的干式泵性能的比较表几种典型的干泵性能的比较泵型般级数单级压缩比极限压力备注大气端真空端罗茨泵易发热，需冷却爪形加工装配有难度活塞型怕抽带颗粒的气体涡旋型间隙小难装调螺旋型间隙小转速高旋片型怕抽带颗粒的气体螺杆型加工比较困难涡轮型多级串联转速高螺杆式双头干式真空泵特点如下可靠性高。螺杆式双头干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。操作维护方便。动力平衡性好。螺杆式双头干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。④适应性强。螺杆式双头干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响多相混输。由于螺杆式双头干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。尽管螺杆型双头干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内些公毕业设计过的成果。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了致谢。毕业设计论文与资料若有不实之处，本人承担切相关责任。毕业设计论文作者签名指导教师签名毕业设计论文知识产权声明本科毕业设计论文题目双头螺杆型干式无油真空泵的设计系别机电信息系专业机械设计制造及其自动化班级姓名学号指导教师年月双头螺杆型干式无油真空泵的设计摘要干式双螺杆真空泵是种容积式无油真空泵，具有结构紧凑，抽速大，真空度高，可直排大气，使用寿命长，自吸能力强，无易损件，运转可靠，维修维护方便，动平衡性好，振动小，无压力脉动与噪音，可高速平稳的作，适应性强，还可用于多相混输，无喘振现象，易于实现连续排气等诸多优点，因此厂泛的应用于冶金电子化学食品医药环保等工业生产部门。国外已发展出诸多此类真空泵产品，而在我国的发展却相对落后。虽然我国对无油真空泵的需求日益增长，但是许多跨国公司的真空泵产品却在我国的高端真空泵市场中占据了主导位置。因此，自行研究经济可行运转可靠的无油真空泵意义可见斑。为了适应我国开发研究生产螺杆真空泵的需要，本文对双螺杆真空泵的设计型线组成问题等内容进行了的研究与探讨。关键词双头干式真空泵螺杆型线外的研究现状与发展方向螺杆双头干式真空泵转子型线的研究常见转子型线比较多头双边对称圆弧型线转子型线要素转子型线设计原则,多头双边对称圆弧型线方程螺杆双头干式真空泵工作原理吸气过程压缩过程排气过程螺杆双头干式真空泵设计计算螺杆基本尺寸排气量理论排气量实际排气量进排气孔口轴向进气口轴向排气口极限真空度功率及冷却水量轴的强度计算同步齿轮的设计计算齿轮尺寸计算齿轮强度校核结论与展望参考文献致谢绪论绪论概述年德国人沃尔夫岗盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液润滑剂密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说世纪是有油真空泵的世纪，那么世纪将是双头干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子化学冶金医疗核聚变领域以及宇航新材料的开发等技术领域都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类湿式泵，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有双头干式要求的，又不得不采用繁琐的物理化学吸附，冷凝低温手段，从而使成本变得极其昂贵。如膜式泵，真空度不高，抽速小吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排入大气和高真空机绍相连接的泵类各有其缺憾，因此导致了双头干式泵不适宜大工业的应用。课题背景及研究意义双头干式螺杆真空泵是双头干式泵家族中的员。所谓双头干式真空泵，般认，目录绪论概述课题背景及研究意义螺杆泵的应用及特点螺杆真空泵在国内进气口阳转子轴向进气口式中阳转子齿数阳转子扭角阳转子基元容积的前方齿的齿顶中心线在点与转子轴心夹角将带入式计算得阴转子轴向进气口毕业设计论文式中阴转子的轴向端面进气口传动比因扭角较大引起的进气不足的修正，取由式计算得轴向排气口由轴向及径向两部分组成，压力比较高时可不设径向排气口。本机压力比较高，故仅有轴向排气口。阳转子轴向排气口阴转子齿宽前面顶点在点与两转子轴心连线间的夹角阴转子齿宽背面顶点与齿谷中心线间的夹角由式计算的阴转子轴向排气口极限真空度功率及冷却水量表是韩国公司系列螺杆式双头干式真空泵的参数表。参考表选取电机功率，冷却水量，极限真空度为。表系列螺杆式双头干式真空泵参数型号抽速极限真空水冷量电机功率电机选取系列三相异步电机型。额定功率，级，同步转速，满载转速，质量轴的强度计算毕业设计论文螺杆式双头干式真空泵的阴阳螺杆所受弯矩不大，故可按扭转强度条件计算。考虑到材料的成本及工艺要求，轴材料选取钢，调制处理。由表查得其许用扭转切应力。按扭转强度估算轴的最小直径对于直径小于等于的轴，有个键槽时，轴的直径增大，有两个键槽时，应增大，即最小直径应大于。故取轴的最小直径为完全可以满足轴的强度要求，且留有足够的安全系数。同步齿轮的设计计算同步齿轮副通常采用斜齿圆柱齿轮。原因如下在多数情况下，当传动比和中心距给定时，选取标准齿型的直齿副是困难的，因为传动比和中心距都是由选定的转子齿数和流通部分尺寸决定的。真研究浙江大学，刘春姐螺杆型真空泵转子型线的研究东北大学，郭蓓，薛建国，牛瑞干式螺杆泵的研究现状与展望何云信容积式真空泵结构形式的探讨，广西大学，王鑫螺杆型干式真空泵参数化软件的开发，东北大学，李锦云，杜经民，李宝仁基于真空泵的正负压连续控制系统江浩新型真空技术干式真空泵通用机械，王宝民真空泵运行优化的探究华北电力技术，姜燮昌真空泵的计算通用机械，谌乾坤干式真空泵的优化选择集成电路应用，张世伟等种新型无油螺杆真空泵单头变螺距转子型线的研究，高振榕译螺杆压缩机手册，机械工业出版社，吴保志螺杆式制冷压缩机机械工业出版社，机械工程手册机械工业出版社，朱家诚等机械设计基础，合肥工业大学出版社，致谢致谢本论文是在指导老师彭老师的潜心指导下完成的，彭老师渊博的学识踏实而严谨的学术作风，精湛的学术水平，都给我留下了深刻的印象并使我受益匪浅。毕业设计期间，彭老师直关心着我的进展，有不懂得问题彭老师总是会耐心的给予解答，并帮我指出设计中的和不足。彭老师在我论文写作过程中，给与我很大的帮助，使我得到不少的提高。这对于我以后的工作和学习都有种巨大的帮助，感谢他细心而又耐心的辅导。另外，还有同组的几位同学的互相帮助，齐心协力，这里并表示感谢。毕业设计论文独创性声明毕业设计论文独创性声明秉承学校严谨的学风与优良的科学道德，本人声明所呈交的毕业设计论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，毕业设计论文中不包含其他人已经发表或撰写过的成果，不包含他人已申请学位或其他用途使用通常同步齿轮副在高转速区内工作，为此推荐采用斜齿传动。直齿齿轮副对安装和制造的误差特别敏感，因为齿侧表面在其整个长度上每瞬间都以同齿廓点工作。斜齿轮的重叠系数比直齿轮大得多。故本设计采用斜齿圆柱齿轮。齿轮尺寸计算中心距传动比模数初步选为齿数初定为螺旋角毕业设计论文故模数确定为，齿数确定为，。齿轮强度校核齿轮材料采用渗碳淬火，齿面硬度，查得，取安全系数，则齿轮按六级精度制造，取载荷系数，齿宽系数。小齿轮上的转矩验算齿面接触强度，安全。结论与展望结论与展望本论文是围绕干式双螺杆真空泵的设计这课题的设计而进行的。论文主要做了以下些工作综合分析了干式螺杆泵的发展及其应用前景，指出了其螺杆型线的重要性，确立了本论文所要研究的土要方向根据现有的螺杆设计理论和真空获得设备要求及干式螺杆泵的工作原理和设计过程，确立烈线设计的原则从共扼理论和螺杆真空泵工作原理的角度