外同类产品，各项性能指标均达到或优于 国外同类产品，市场前景广阔。 本产品与日本住友电工公司各项指标对比如下 北京有研总院国瑞公司日本住友电工 产品类型 技术指标 型掺 晶片直径 产品类型 技术指标 型掺 相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式。自公司成立以来，凭借自身雄厚的实力和良好 的管理体制，在国内外用户中树立了良好的形象。这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障。 第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路线 多晶合成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过。 石英舟的预处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱舟。 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率。 本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术完成投资万元，主要用于设备购置原辅材料费购置研 发费用工资福利费市场调研培训和其他费用，资金来源全部为企业自筹。 本企业计划在项目执行期内新增投资万元，主要用于部分生产设备购 置研发费用原辅材料费购置工资福利费等。 资金筹措方案 新增万元投资中，企业自筹资金万元，申请国家火炬计划资金支持 万元。自筹资金主要来自企业货币资金。 目录 第章概述 项目提出背景 技术开发状况 现有产业规模 项目产品的主要用途性能 投资的必要性 预期经济效益 本企业实施该项目的优势 第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术的先 进性 产品技术性能水平与国内外同类产品的比较 项目承担单位在实施本项目中的优势 第三章项目成熟程度 产品检测鉴定及用户使用情况 产品质量价格性能等情况 核心技术的知识产权情况 第四章市场需求情况和风险分析 国内市场需求分析 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,国际市场状况及本项目产品市场占有情况 风险因素及对策分析 第五章投资估算及资金筹措 项目投资估算 资金筹措方案 投资使用计划 第六章经济和社会效益分析 未来五年生产成本销售收入估算 财务分析 不确定性分析 财务分析结论 社会效益分析 第七章综合实力和产业基础 企业员工构成 企业负责人情况 企业新产品研发能力及内部管理体系 企业从事该产品生产的条件产业基础 第八章项目实施进度计划 第章概述 项目提出背景 砷化镓