等部门。 其中最重要的应用领域是对国民经济腾飞起着发动机作用的产业和 能源产业。纳米聚晶金刚石作为高级硅片最终超精细加工的磨料，具有 无可替代的地位。在今后若干年内，随着集成电路芯片产业的不断发展， 芯片光刻线宽的不断变窄，硅片直径的不断增大，原有的加工工艺和相 应磨料将逐步被淘汰，对纳米聚晶金刚石的需求必将同步上升。纳米聚 晶金刚石微粉在超精细加工方面的优异性能优势 本企业与中科院相关单位建立了战略合作关系，中科院将派出在应 用激波法制备纳米聚晶金刚石领域研究多年的专家亲自承担项目规 划及指导培训本企业员工。本企业技术力量雄厚，现有专业技术人员 人，其中正高级工程师人，副高级工程师人，工程师人，助理 工程师人。 第章技术可行性分析 国内外发展现状 纳米聚晶金刚石是人造金刚石的种，由大量纳米金刚石聚集而成， 按照纳米聚晶金刚石的结构特点，目前国内外有两种途径制备纳米聚晶 金刚石。条是利用静压法或者爆轰法生产纳米金刚石，然后通过高压 和粘合剂作用下聚合生成聚晶金刚石，这是目前国内常用生产方法另 种是利用爆炸法激波法直接生成聚晶金刚石，这是目前国外采用 生产方法，国内只有少部分企业掌握该技术。 爆轰聚合法 用爆轰法合成纳米金刚石微粉，年代始于前苏联科学院有关研究 所。其原理是利用炸药爆炸时的负氧反应，其中未氧化的碳原 子凝聚成碳液滴，在爆轰反应的高温高压下转变成颗粒为纳米尺度的金 刚石微粉。该技术为俄罗斯专利。中国科学院兰州化学物理研究所四 川绵阳西南流体物理研究所以及北京理工大学等单位于年代在该专 利技术基础上开展了进步研究。纳米金刚石微粉可用于复合镀以提高 表面抗磨性能，降低摩擦系数，提高工效，延长工件寿命。也可用作掺 加剂提高橡胶树脂，乃至机场跑道的综合性能以及催化剂载体。非业 内人士常将爆轰法合成纳米单晶金刚石与爆炸法合成纳米聚晶金刚 石二者混淆。由于前者粒度太小仅在纳米范围，所以目前在 半导体材料切割和精加工领域尚无法应用，因此不构成对激波合成纳米 聚晶金刚石的竞争。 年代，在爆轰法合成纳米金刚石微粉的技术中出现些新专利， 其原理是不用，而是在或中混入重量比约的石墨， 其合成的金刚石聚集体的粒度约，大于上述的纳米金刚石。 但由于掺入石墨使爆压降低，因而每公斤药量的金刚石产率低于原来的 方法。由于其爆轰的作用时间仅为毫微秒量级，远低于激波合成纳米聚晶金刚石的作用时间微秒量级，其晶核之间缺乏 必要的相互成键的时间，因此其颗粒强度又低于激波法合成的纳米聚晶 金刚石。这种金刚石聚集体，在磨削过程中易于破碎成为纳米晶粒，加 工的效率低，性能缺乏优势，现未成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等 产业制品的超精细加工中作用尤为重要。建设总体规划目标规模为 万克拉年纳米聚晶金刚石生产技术项目，分前后二期建设上马。该项目 总投资万元，年产值万元，年税后利润万元，项目达 产后投资回收期为年。项目建成并达产后，企业将成为国内最大的 纳米聚晶金刚石生产企业。 目录 第章项目概述 项目名称 项目背景 项目内容 项目产品特点及应用领域 项目产品特点 项目产品应用领域 投资必要性和预期经济效益 投资必要性 预期经济效益 本企业实施该项目的优势 第章技术可行性分析 国内外发展现状 本项目技术的创新性 项目承担单位在实施本项目中的优势 第章项目成熟度 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,技术的可靠性 产品及性能 第章市场需求情况和风险分析 产品的应用前景 硅片加工应用方面 碳化硅晶片加工方面 巨磁阻磁头加工方面 切削加工方面 副产品纳米单晶金刚石的应用 纳米聚晶金刚石主要生产单位情况 国外生产情况 国内生产情况 本项目产品在国内外市场的地位 超精细加工工艺路线发展趋势给本项目产品带来的机遇 与国际产品的竞争 市场预测 第章项目投资估算及资金筹措 项目投资估算 投资规模 主要设备概算 生产占地生产人员 资金筹措方案 第章经济和社会效益分析 经济效益分析 产品成本分析 经济效益 项目盈亏平衡 社会效益 第章项目实施方案 项目开发计划 产能规划和实施的步骤 产品规划 项目实施内容 工艺流程 原辅材料来源及供应渠道 生产