建筑费其它费合计乙类仓库乙类仓库二贮罐区贮罐区泵房热水池及泵房机修车间车库发配电间循环消防水池循环消防水泵房辅助车间事故应急池污水处理系统地磅地磅二综合办公楼研发楼门卫门卫二门卫三外管道路硬化围墙给排水消防管网系统绿化其他场地平整等二工程建设其他费用无形资产勘察设计费土地使用费环境评价费安全评价费序号工程或费用名称设备费安装费建筑费其它费合计递延资产建设单位管理费工程监理费生产准备费联合试运转费三基本预备费四流动动资金其中铺底流动动资金五报批项目工程总投资合计总投资资金筹措项目工程总投资为万元，资金全部由公司各股东自有资金支付。经济效益分析编制依据国家发展改革委建设部编发建设项目经济评价方法与参数第三版。甲方和有关专业提供基础数据。基础数据本项目计算期年，其中建设期年，生产期年。成本测算中，外购原材料及动力均为现行市场价。经济效益测算中，原料产品均选用市场价格，其中原料硅粉单价万元吨氯气单价元吨氢气单价元产品多晶硅单价万元吨三氯氢硅单价万元吨水元电元蒸气元吨。增值税按抵扣后实际税率及附成炉中反应成氯化氢并进入沸腾炉中。硅粉干燥后经加热脱水用氮气送入沸腾炉中与氯化氢反应生产三氯氢硅气体。气体经过滤器除去硅粉尘，在空冷器除去高沸物杂质及金属氯化粉最后经冷凝为液体，再经分镏成成品三氯氢硅。这是当今最成熟工艺技术，国内外三氯氢硅生产企业基本上都采用此种工艺。此外还有用固定床氯化炉，铜粉作催化剂，氯化氢和硅粉直接合成三氯氢硅。粗三氯氢硅含量在以上，经分镏提纯除去高低沸点物后，三氯氢硅含量达。还有通过流化床反应器还原四氯硅烷来制备三氯硅烷方法。该方法在反应器中建立个硅颗粒流化床，将微小组辐射直接导入反应器中，加热硅颗料吏春温度达到，含有四氯硅烷和氢反应气通过流化床，反应气与硅颗粒反应，形成含有三氯硅烷产物气。本项目三氯氢硅装置生产工艺采用三氯氢硅沸腾床合成加压精镏冷凝分离提纯生产高纯度三氯氢硅产品和四氯化硅副产品传统工艺。该工艺流程采用国内先进沸腾床式三氯氢硅合成炉，生产能力大，副产品少分离采用加压精镏技术使三氯氢硅产品质量达到四氯化硅产品质量达到以上，处于国内领先水平。多晶硅目前多晶硅主要生产方法分别为硅烷法和三氯氢硅氢还原法又称西门子法这两种。硅烷法是采用精制后硅烷进行热分解反应，析出硅，从而获得多晶硅棒，再经进步处理后而获得多晶硅产品。三氯氢硅氢还原法是经过精制三氯氢硅经挥发后与精制后氢气在还原炉中高温下发生还原反应而析出硅，获得多晶棒，再往进步处理后而获得多晶硅产品。改良西门子法即改良三氯氢硅氢还原法主要是对还原尾气进行回收利用，提高三氯氢硅转化率，降低其消耗，同时极大地解决尾气排放造成污染问题。本项目选择改良西门子法生产多晶硅。该工艺流程采用三氯氢硅和氢气分别经过精制，进入还原炉，在高温下进行还原，获得多晶硅棒经过后处理而获得高纯度多晶硅。同时对还原尾气进行处理，回收三氯氢硅，四氯化硅和氢气。回收三氯氢硅四氯化硅氢气经精制后再进入还原炉中生产多晶硅。多晶硅产品质量达到要求。工艺流程简述三氯氢硅工艺流程简述氯化氢合成工序开启合成炉合成段冷却水，管道氢气经阻火器氢气缓冲罐冷水冷却器冷却后去干燥器干燥除氧器除氧干燥器干燥与氯气按摩尔比进入合成炉管道氯气经氯气缓冲罐后进入合成炉通过冷却水量氯气和氢气量控制合成炉出口温度在。合成气体经氯化氢缓冲罐纯化去三氯氢硅合成工序。三氯氢硅合成工序硅粉通过真空管道输送至硅粉干燥器，干燥后硅粉用氮气送入三氯氢硅合成炉与来自氯化氢缓冲罐氯化氢气体在合成炉沸腾床发生反应，控制合成炉温度在，生成气相三氯氢硅和四氯化硅三氯氢硅和四氯化硅气体混合物经网袋式过滤器分离硅渣收集器收集回用气相经空冷器初冷后进入冷凝器经冷冻盐水冷凝后经接收槽进入粗品收集槽不凝性气体经管道进入尾气吸收工序。在沸腾炉中，硅粉和氯化氢反应生成三氯氢硅。精镏提纯工序来自粗品收集槽三氯氢硅和四氯化硅混合物料进入塔釜加热器，经蒸汽间接加热进入精镏塔，精镏塔顶气体经前冷器和后冷器冷凝，控制压力和回流比，部分液体回流至精镏塔，部分自流进入三氯氢硅接收罐进入三氯氢硅收集罐塔釜加热器精镏后残液自流进四氯化硅接收罐后经氮气压入四氯化硅储罐。尾气吸收工序来自冷凝器不凝性气体进入尾气洗涤塔，经循环泵送出洗涤水在尾气洗涤塔中五处喷淋洗涤，回收