1、且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所示。因为膜断裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结硫化钼溅射膜化学计量变化范围很广，从硫过量到硫不足硫钼比例从.,。值得注意是普通辉钼矿中硫和钼比率低至.，这种结构辉钼矿很适合做膜。最近研究表明在溅射过程中，少量水蒸汽存在对膜晶格类型形态和化学计量有很大影响,。二硫化钼溅射膜对湿度非常敏感并且容易被氧化，氧可以以很多种化学形态存在然而像这样氧化产物旦形成对于摩擦性能是非常不利，因为它是劣等润滑剂。研究也指出，氧可以替换硫，或者可以形成种新乡。然而，摩擦性能对于这些化学计量数改变非常敏感。当大多数溅射膜力求最好摩擦特性并用于商业化时这些溅射膜就会应用亚化学计量数，此时硫和钼比为.左右。.环境条件影响目前为止，环境条件是二硫化钼膜摩擦性能最大影响因素，在真空条件下优化后二硫化钼溅射膜显示出超低摩擦系数图。有非常低磨损率持久寿命达到几百万次.目前摩擦系数介于,.还不能得到精确解释然而，研究发现在溅射沉积过程中，渗入膜内少量氧会以水形式存在，这会影。
2、.和超长的磨损周期百万周期，为了实现这些良好的摩擦学特性，沉淀期间的喷溅条件必须依靠足够的膜衣服适当的膜结构形态学和适当的膜成分来实现。.介绍二硫化膜的喷溅成膜显示了非凡的摩擦特性，摩擦系数可以达度冷冻温度基质上时，非静态组织就会形成.非晶态膜非常脆并且没有任何润滑性能，基本上就是磨料。大多数二硫化钼溅射膜会在高温或温度持续升高条件下沉积并且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所示。因为膜断裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结种类型微晶取向基底平面平行或垂直于衬底,如图所示，基地平面当平行于衬底时，表现出最低剪切力和摩擦力。.选择合适建设条件通过改变溅射条件如射频功率和氩气压力不同化学计量法密度形态附着力会生产出固体润滑膜，因此溅射生成膜表现出不同摩擦性能。因此对于每个特定溅射系统决定出能够生产最优溅射膜溅射条件是至关重要。例如用射频磁控溅射系统溅射值从毫托不等，射频功率也从不等，生产出所需膜密度形态和附着力需要氩气压力值是毫托射频功率为。在真空条件下销对盘摩擦机上这些优化薄膜。
3、动或滚动接触时二硫化钼溅射膜表现出超低润滑系数。为了获得有效二硫化钼溅射生成润滑膜，溅射条件不得不最优化，因为膜性能非常依赖于所选溅射条件。这三个主要二硫化钼溅射膜性能粘附性化学组成和晶格类型形态结构是分别影响持久寿命摩擦性能和磨屑产生等摩擦行为决定性因素。目前研究旨在通过界面和整体膜改性来来延长薄膜持久寿命。种类型微晶取向基底平面平行或垂直于衬底,如图所示，基地平面当平行于衬底时，表现出最低剪切力和摩擦力。.选择合适建设条件通过改变溅射条件如射频功率和氩气压力不同化学计量法密度形态附着力会生产出固体润滑膜，因此溅射生成膜表现出不同摩擦性能。因此对于每个特定溅射系统决定出能够生产最优溅射膜溅射条件是至关重要。例如用射频磁控溅射系统溅射值从毫托不等，射频功率也从不等，生产出所需膜密度形态和附着力需要氩气压力值是毫托射频功率为。在真空条件下销对盘摩擦机上这些优化薄膜显示出较低摩擦系数。.二硫化钼溅射膜特性因为非常薄二硫化钼润滑膜经常用于摩擦操纵装置，理解溅射条件和与之相对应薄膜性能摩擦磨损行为之间关系是非常重要，为了获得超低摩擦系数二硫化莫溅射膜，了解二硫化钼微观结构依附性结构以及化学成分是如何影响摩擦磨损行为相当关附录中文字附录二硫化钼润滑膜溅射原理具体操作局限性.本文综述了当前溅射实践它局限性和对于二硫化钼喷溅成膜理解。当用于真空或干燥环境中时喷溅二硫化钼薄膜能展示非凡摩擦学性能如超低摩擦系数.和超长磨损周期百万周期，为了实现这些良好摩擦学特性，沉淀期间喷溅条件必须依靠足够膜衣服适当膜结构形态学和适当膜成分来实现。.介绍二硫化膜喷溅成膜显示了非凡摩擦特性，摩擦系数可以达到.或更小，这对于固体润滑剂。
4、说这代表了个非同寻常低系数摩擦。例如，大多数固体润滑膜像些软金属金银铂和聚四氟乙烯摩擦系数分别是.和.。在自然界中，摩擦系数.就类似于冰熔点度。因此，在理想操作条件下，被优化喷溅而成二硫化钼薄膜在现在已知固体润滑材料中最低摩擦系数。例如在真空环境下比如太空中，喷溅而成二硫化钼薄膜显示出超低摩擦特性，但在潮湿环境中，摩擦特性就会退化。由于这些原因，二硫化钼喷射成膜主要用于航天器和卫星移动组件太阳能阵列驱动器天线指示器和控制系统消自旋机制齿条和齿轮啮合，这些机件主要在高真空高温或低温和空间辐射条件下工作。这些润滑膜也用于地面真空系统，这些系统有房屋表面分析仪器薄膜沉积设备和和需要真空室相关仪器。如今个常见沉积技术就是溅射，以薄均匀溅射膜很适合于机密仪器组件。它也可应用于剪裁结构形态和薄膜化学特性。二硫化钼溅射膜摩擦性能非常依赖于溅射条件，转而影响薄膜微观组织性能，比如结晶度形貌和成分。这个综述目是为了描述二硫化钼溅射膜加工工艺属性性能相互关系。.固体润滑膜溅射原理固体润滑薄膜概念遵循此原理如果个低剪切强度材料被放在相互接触滑动面之间，滑动摩擦力就会减小。滑动摩擦力与润滑面剪切力和接触面面积有关，因此.,根据图，摩擦系数与润滑面剪切力接触面面积和载荷有关如果摩擦系数想要小，和要取较小值，是摩擦面固有属性，取决于接触材料轴承变形程度,也就是硬度或弹性模数基底。它服从公式.，而,是接触压力，因此若果接触面承受弹性变形，这种情况下归于承载技术，负载大小有赫兹压力决定∝,因此摩擦系数可以表示为式子∝.根据上面关系，摩擦系数对于弹性负载接触面数值应减小，而负载数值增加。如果薄膜是薄，就是在二硫化钼溅射成膜情况下，。
5、显示出较低摩擦系数。.二硫化钼溅射膜特性因为非常薄二硫化钼润滑膜经常用于摩擦操纵装置，理解溅射条件和与之相对应薄膜性能摩擦磨损行为之间关系是非常重要，为了获得超低摩擦系数二硫化莫溅射膜，了解二硫化钼微观结构依附性结构以及化学成分是如何影响摩擦磨损行为相当关键。.依附性和接触面改性固体润滑膜粘附力很强是实现耐久生命力关键，因此在镀膜之前衬底表面制备对附着力大小有很大影响。在种程度上，它还会影响膜形核和长大特性，这就决定了柱状膜结构紧实密度，在沉积之前，最常用表面预处理是溅射刻蚀法清洗，这是靠在特定时间内辉光放电挤压基质完成。在或轴承钢表面上进行二硫化钼溅射成膜已经被深入研究，并且这些基质显示出超凡附着力,。增加基质表面密度并增加形核点预处理般可以增加膜对基质附着力。时下正开展更加广泛研究来了解决定依附力大小界面改性。在二硫化钼沉积实验之前图,由薄埃硬耐火材料化合物层例如，和发现了在界面改性过程中个显著特点这种薄硬中间层能够使粗糙界面变得平整并且在粗糙面变形时能够充当阻碍层。因此，导致会失效金属与金属直接接触得以避免。当用于滚动元件接触时，这些双层膜在持久寿命上有显著增长。对于持久寿命增长个可被接受解释就是因为有前面提到更小赫兹接触面。通过表面硬化氮化或渗碳或用氮或碳质材料进行离子注入来增加表面硬度也可达到相同效果。.结晶度晶体取向和晶体形态在溅射过程中仅仅通过改变基质温度就可使二硫化钼溅射膜晶体形态从晶态转变为非晶态。当二硫化钼被溅射到温度从摄氏度下降到摄氏度冷冻温度基质上时，非静态组织就会形成.非晶态膜非常脆并且没有任何润滑性能，基本上就是磨料。大多数二硫化钼溅射膜会在高温或温度持续升高条件下沉积。
6、载由基地承受，对于个给定负载，增加基底模数，降低接触面面积，如图所示,对于个低摩擦系数和可接受摩擦表面，理想薄膜厚度介于之间。.二硫化钼晶体结构二硫化钼天然辉钼矿独特特性就是高度各向异性晶体层结构，它是由“三明治”层组成，每层包括个平面钼原子，钼原子介于两层硫原子之间，且位于六角形阵列中。如图所示层与层之间是靠范德华力连接在起，然而层内钼和硫原子是靠共价键连接在起，因此共价键赋予二硫化钼层很强负载能力，然而层与层之间弱剪切力能够在低剪切力作用下是晶体沿方向滑移，此方向平行于基底层，在基地方向低剪切力有助于较小摩擦系数和较好摩擦性能，此外,二硫化钼层结构可以表现出两种类型微晶取向基底平面平行或垂直于衬底,如图所示，基地平面当平行于衬底时，表现出最低剪切力和摩擦力。.选择合适建设条件通过改变溅射条件如射频功率和氩气压力不同化学计量法密度形态附着力会生产出固体润滑膜，因此溅射生成膜表现出不同摩擦性能。因此对于每个特定溅射系统决定出能够生产最优溅射膜溅射条件是至关重要。例如用射频磁控溅射系统溅射值从毫托不等，射频功率也从不等，生产出所需膜密度形态和附着力需要氩气压力值是毫托射频功率为。在真空条件下销对盘摩擦机上这些优化薄膜显示出较低摩擦系数。.二硫化钼溅射膜特性因为非常薄二硫化钼润滑膜经常用于摩擦操纵装置，理解溅射条件和与之相对应薄膜性能摩擦磨损行为之间关系是非常重要，为了获得超低摩擦系数二硫化莫溅射膜，了解二硫化钼微观结构依附性结构以及化学成分是如何影响摩擦磨损行为相当关键。.依附性和接触面改性固体润滑膜粘附力很强是实现耐久生命力关键，因此在镀膜之前衬底表面制备对附着力大小有很大影响。在种程度上，它还会。
7、.和超长的磨损周期百万周期，为了实现这些良好的摩擦学特性，沉淀期间的喷溅条件必须依靠足够的膜衣服适当的膜结构形态学和适当的膜成分来实现。.介绍二硫化膜的喷溅成膜显示了非凡的摩擦特性，摩擦系数可以达度冷冻温度基质上时，非静态组织就会形成.非晶态膜非常脆并且没有任何润滑性能，基本上就是磨料。大多数二硫化钼溅射膜会在高温或温度持续升高条件下沉积并且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所示。因为膜断裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结种类型微晶取向基底平面平行或垂直于衬底,如图所示，基地平面当平行于衬底时，表现出最低剪切力和摩擦力。.选择合适建设条件通过改变溅射条件如射频功率和氩气压力不同化学计量法密度形态附着力会生产出固体润滑膜，因此溅射生成膜表现出不同摩擦性能。因此对于每个特定溅射系统决定出能够生产最优溅射膜溅射条件是至关重要。例如用射频磁控溅射系统溅射值从毫托不等，射频功率也从不等，生产出所需膜密度形态和附着力需要氩气压力值是毫托射频功率为。在真空条件下销对盘摩擦机上这些优化薄膜。
8、且根据晶体生长特点表现出典型柱状结构，此种情况下，低剪切力平面排成行并垂直于基质表面。正常情况下，柱状膜密度要低于原始辉钼矿密度.。膜表面旦发生滑动，对于基质面，合计面相平行系列平面就会在滑移方向上移动。在滑移过程中晶粒内部或晶粒与晶粒之间剪切是否会发生，目前还不得而知。前面研究,已经表明在滑移过程中，柱状结构很容易破裂并且大多数膜会被磨掉。只有部分厚度约.纳米残余连接在起薄膜留在表面断裂后这些薄剩余膜决定润滑效果二硫化钼溅射膜在柱状区域内都有断裂可能，如图中扫描电镜所示。因为膜断裂发生在柱状区域内并且会产生不必要磨屑，在不同柱状晶形成之前，溅射过程中膜厚度应保持在定范围内，而且当膜暴露或储存在潮湿空气中柱状结硫化钼溅射膜化学计量变化范围很广，从硫过量到硫不足硫钼比例从.,。值得注意是普通辉钼矿中硫和钼比率低至.，这种结构辉钼矿很适合做膜。最近研究表明在溅射过程中，少量水蒸汽存在对膜晶格类型形态和化学计量有很大影响,。二硫化钼溅射膜对湿度非常敏感并且容易被氧化，氧可以以很多种化学形态存在然而像这样氧化产物旦形成对于摩擦性能是非常不利，因为它是劣等润滑剂。研究也指出，氧可以替换硫，或者可以形成种新乡。然而，摩擦性能对于这些化学计量数改变非常敏感。当大多数溅射膜力求最好摩擦特性并用于商业化时这些溅射膜就会应用亚化学计量数，此时硫和钼比为.左右。.环境条件影响目前为止，环境条件是二硫化钼膜摩擦性能最大影响因素，在真空条件下优化后二硫化钼溅射膜显示出超低摩擦系数图。有非常低磨损率持久寿命达到几百万次.目前摩擦系数介于,.还不能得到精确解释然而，研究发现在溅射沉积过程中，渗入膜内少量氧会以水形式存在，这会影。
参考资料：
（外文翻译）二硫化钼润滑膜的溅射_原理、具体操作、局限性（外文+译文）
