下，经管道的气流量正比于压差，即真空技术基础陈梓比例常数即流导，大小与管道直径有关。

若进入泵的气流量恒定，则在泵入口会建立具有恒定压强的稳态，定义抽速真空系统内气相的气体质量变化率等于单位时间内进入和离开气相的气体质量之差。

温度不变，气体种类恒定时，质量变化率正比于气流量，进入流出又知流出，则对于定体积系统进入假定进入是常数，上式积分得设初始压强为进入进入由此可知，容器内压强将以时间常数指数地下降，并在∞时达到极限压强进入极限实验步骤与数据第次由大气压开始抽气，自然漏气至系统为以上后立即开始第二次抽气，记录系统压强热偶规读数与抽气时间的关系，作图第次抽气真空技术基础陈梓拟合结果第二次抽气拟合结果真空技术基础陈梓实验分析由式，知第次抽气与第二次抽气的初始压强时的系统压强相近，分别为和，但两次抽气时间相差甚远。

两次连续抽气抽速可看作恒量，铭牌示，时间的系数单位，因此，，第二次实际抽气只有第次的，因此时间远远小于第次。

真空系统漏气研究实验原理真空器壁上如有小孔，大气就会漏入容器内。

大多数固体材料在没有缺陷时是不会漏气的，漏孔往往出现在密封处。

由于压差振动和热循环等原因在接头内产生的应力和应变，都可能造成街头损坏。

关闭抽气泵，系统开始漏气流出，由式得进入由式进入大气，则大气大气由此可知，容器内压强将以时间常数指数地上升，并在∞时达到大气压强。

实验步骤与数据用机械泵抽真空至，关闭机械泵，记录系统压强与时间变化关系，作图。

真空技术基础陈梓拟合结果实验分析由于实验中放气至远远小于大气压，放气时间几百秒远远小于系统内部达到大气压所需时间，因此拟合未得到大气压值。

要用上述放气公式拟合得到大气压，应在系统中添加个能测粗真空的真空规，测量量级上的放气时间。

电阻真空计热偶真空计的关联曲线实验原理如第章所述，电阻真空计与热偶真空计同属热传导型真空计，作用原理相同。

实验步骤与数据同次抽气，记录电阻真空计与热偶真空计的数值，作关联曲线如图。

真空技术基础陈梓拟合结果热偶电阻实验分析两真空计测量的是同个真空系统的压强，但示数却存在线性关系，这是主要是真空系统的设计决定的。

在这真空系统上，两真空计所处的位置不同。

虽然真空系统连通，但由上文知流导与管道直径有关，电阻真空计所处的管道如图大于热偶真空计所处的管道，因此两个位置的流导不同分别设为，。

图热偶计与电阻计位置图通过连通体系各处的气流量相同，设分别为电阻真空计热偶真空计所测压强，为两管道接口处压强为简化计算，不考虑碟阀的影响并将两管道近似地看作是串联的，由式得，由拟合结果得真空技术基础陈梓，管道截面面积越大，流导越大。

真空材料的除气研究实验原理金属的出气大真空系统大多数采用软钢或类似的金属制成全金属结构。

各种金属有不同的出气率。

金属材料在熔炼与加工过程中会溶解和吸收定量的气体。

当金属处于真空中时，这些气体就会不断放出，其放气速率取决于气体与金属结合能烘烤加热温度或粒子轰击能量及金属含气量。

金属的出气主要来自两个方面表面脱附得气体和表面化学反应产生的气体。

如图图金属表面吸附示意图金属表面的气体包括物理吸附和化学吸附的气体。

物理吸附的吸附热般小于千焦克分子，相当于气体分子在表面的凝聚。

化学吸附的作用力是化学键力，比物理吸附力强得多，气体分子与固体表面原子间发生化合作用，或分子离解成离子被化学键吸附在表面上。

烘烤除气般情况下，真空系统中的金属件及真空室壳体可以用真空烘烤方法除气。

真空中的烘烤系指在抽气循环的阶段中，将真空系统升温，随后又使之降到环境温度的过程。

烘烤的注意目的是使吸附的气体从被加热的表面上解吸，而且其解吸速率要远远大于在环境温度下的解吸速率，对解吸出的气体，用真空泵从系统中排除。

真空烘烤除气装置有很多种，例如，可以用电阻丝和玻璃纤维布做成烘烤带，包在被烘烤设备的外部对设备进行加热除气。

这种型式适用于形状复杂真实际上，对于内部压强均匀的两个理想容器，它们之间的流导是气体温度气体种类和容器间孔面积的函数，与孔面积成正比对于管道来说，还应考虑分子与管壁的碰撞等等。

此处只能定性的确定流导与管道截面积的正比关系。

真空技术基础陈梓空系统及设备的临时性烘烤或局部烘烤。

实验数据分实验组与对照组，实验组在真空度达到时，用烘烤带烘烤真空腔体，烘烤带输入电压用变压器调节，以此控制烘烤温度在左右，烘烤至真空度达时去除烘烤带。

对照组不加烘烤。

极限压强以打开扩散泵个半小时后达到的稳定压强估计项目极限压强对照组实验组由此可见，烘烤后能在规定的抽气时间内达到较低的压力。

抽气速率由此可见，烘烤后，达到同样压力，所用的总抽气时间较短。

依式拟合结果抽气速率恒定项目进入进入对照组实验组由此可见，实验组流入气体量进入小于对照组，实验组实际抽气体积大于对照组，这是由于烘烤后铁质器壁表面的水蒸气等气体解吸，已知，真空技术基础陈梓表面出气量，得由可估算系统单位内表面积的出气率为烘烤部位内表面积，以圆柱体近似，烘烤侧面，计算得表面出气率放气速率由此可见，烘烤后放气速率较低。

实验分析与结论烘烤的好处是能在规定的抽气时间内达到较低的压力或为达到规定的压力，所用的总抽气时间较短。

实验中烘烤的是表面带有氧化层的金属，在室温下所得表面出气率，符合金属表面起始出气率经验值。

经验值是••，数据出自参考文献，真空技术基础陈梓烘烤后放气速率降低，原因是放气过程中大气中的水蒸气等气体进入真空系统，再次吸附在金属真空腔体上。

对照组与实验组中同时间内由大气进入腔体的气体量进入相等，但被吸附的气体分子不会影响腔内压强见第章内压强的微观解释部分，所以实验组腔内压强较小，到达同真空度所需放气时间高于对照组。

真空技术基础陈梓结语本文综述了真空技术的各方面详细描述了机组重组的过程，并分析了遇到的问题与解决方法对于组装成功的系统，讨论了抽放气性质器壁放气性质并进行了相关演算。

维修好的机组，可以达到高真空度，使下步弗兰克赫兹实验管的制作研究成为可能同时，维修的技术经验也会对其他高真空系统的维修起到定的参考作用。

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真空技术基础陈梓致谢感谢乐永康老师对本实验热情且富有挑战精神的指导。

感谢汪仁甫老师在安装维修过程中的关心和帮助。

可拆密封在真空系统需要经常拆卸的地方，应用可拆密封连接，这种连接在密封性能和机械强度上虽然不如永久连接，但是真空系统些地方是需要经常拆卸的，因此这种连接用得较多。

其结构有如下几种。

真空技术基础陈梓用于静连接的弹性体密封垫圈由于弹性体具有弹性好受压时体积不变，可堵塞漏气路径等系列特点，因此把氯丁橡胶丁腈橡胶如图氟橡胶硅橡胶聚四氯乙烯等弹性体制成圆形截面或矩形截面的环，然后将其夹在两个连接件之间并压缩如图，，即可实现真空静连接密封的目的。

图丁腈橡胶型圈图垫圈连接的形式图垫圈链接实物图这种弹性体垫圈的密封性能主要取决于弹性体和被连接件之间接触面的粗糙度及弹性体本身的透气性放气率和蒸气压等因素。

用于静连接的金属密封垫圈为了适应超高真空系统进行高温烘烤的需要，在超高真空管道连接处应采用金属密封垫圈，其材料大都是具有延展性好蒸气压低的些金属及合金如铟铝铜银金蒙耐尔合金等。

如图，图金属密封垫圈实物图图矩形截面金属密封圈截面图金属密封垫圈与弹性体垫圈比较金属密封垫圈与弹性体垫圈相比较虽然具有放气量小渗透率低能耐高温烘烤等优点，但是密封时需要有较大的压紧力和较严格的调整技术，而且重复使用次数也较少。

真空规管的密封连接真空规管靠拧紧螺母或压帽压缩胶圈来实现密封如图，。

真空技术基础陈梓图真空规管密封图图真空规管密封实物图动密封把运动传递到真空容器中所需要的密封连接称为动密封连接。

各种真空设备中的的动密封连接实例很多，如各种真空阀门的开启和关闭真空熔炼炉真空热处理炉的送料拉锭浇注等机构的传动真空镀膜设备工件架的转动等。

真空动密封连接结构与工作在常压下的密封结构有所不同。

这种密封除了要求其结构本身有足够的强度寿命和合理的外形尺寸等外，针对真空特点，它还必须保证密封的可靠性。

即动密封连接在长期工作中必须保证外界环境不向真空容器内漏气或使漏气维持在设计要求的范围之内。

就真空容器所要求的传动性质来看，动密封所传递的运动主要有往复直线运动，旋转运动，摆动运动和包括这三种运动形式的复合运动等四种情况。

为了实现这些运动，并且根据真空特点动密封连接在很大程度上决定于密封部分所采用的方法。

真空动密封常采用金属波纹管密封实现向真空中传递直线运动摆动和旋转运动。

金属波纹管如图是用金属制成的薄壁摺皱软管，富有弹性易于弯曲与伸缩。

应当注意的是波纹管只能作伸缩和弯曲变形，不能承受扭转。

由于金属波纹管能够同高真空装置的其它元件起进行高温去气，所以可