1、振动稳定性真空轴承主轴，低运行速度闭环控制器纳米级分辨率的反馈。在新加坡国立大学的先进制造实验室有个这样的机器是东芝的超精密机床。另个重要因素是采用由单晶金刚石高品质的工具无论是自然的还是制造的。单晶直径的优点包括高的硬度和耐磨性，对加工过程中的除热良好的导热性，并且可以实现的纳米级切削锋利的切削刃半径。要考虑的其它重要因素包括刀具几何形状，刀具磨损，冷却剂供给，切削条件和被加工材料的特性。在个转动安装的工作，是通常被称为金刚石车削加工设置，如在图所示。化学镀镍金刚石车削镀成型模具超精密加工技术个主要应用是化学镀镍的金刚石车削电镀成型模具的塑料光学部件，如液晶或投影电视。然而，构成个很大的挑战就是刀具的直径寿命短，蒙德切割机和抛光工艺金刚石车削后是必需的。
2、，为了在硬脆性材料上完成纳米表面，单点金刚石工具磨削和超精密加工是两种应用最广泛的生产技术。最近这些技术也在应用硅晶片的新代纳米表面硅晶圆，希望能够替代当前的电流技术,化学机械抛光过程。微电流放电加工和微车削技术被广泛用于生产小型部件和功能。通常进行混合加工时有高精度的制造的微成分。通常用微型机床生产此类组件。这种机器最近的发展成就也在本文中讨论。保留所有权利。关键字基于工具的机械加工研磨微型火花机精密车削混合机械加工介绍由于最近超精密机械系统的进步，微加工越来越受欢迎。现在有很多致力于制造功能性微观结构和组件的研究。显微机械加工将微影应用在硅基质上是微结构制做过程的关键。然而,由于它本身类似三维的结构，所以在这个过程中有些限制。深射线利用同步加速器发射。
3、的距离，通过磨削液和电流完成电解。图显示了含有金刚石的金属磨削的机理。修正后，颗粒和粘接材料的砂轮表面是光滑的。为了预先布置好在轮子表面突出的颗粒，对轮子的校准是必须的。当预加工开始时，粘结的材料从磨削砂轮中飞出，在轮子表面绝缘层由被氧化的粘结材料组成。绝缘层阻断了轮子表面的导电性，防止过多的粘结材料从轮子中飞出。开始研磨,金刚石颗粒和绝缘层磨损地很严重。结果轮子表面的导电率提高，电解质从新开始工作，同时粘结材料也从磨削砂轮中飞出。磨削砂轮的金刚石突出颗粒因此保持不变。从磨削过程到实现稳定的磨削这个循环往复运行。磨削在光学玻璃纳米精加工中的特点磨削系统已经应用于玻璃的磨削,常见的光学组件的制造材料。通过应用磨削技术,在表面粗糙度方面有个巨大的进步，表面的。
4、得磨削过程非常繁琐。为了为成分的大批量生产，微凸腔体是必须的，这些可以由注塑工艺完成。以控制微米的范围内为目的的的微注射法中，以三维形式加工那些难以加工的工件。对于复杂三维模型的装配，需要用到硬度很大的冲模材料，精密电子束加工是替代机械加工形式的种，已经被成功运用。微型火花机几乎可以加工所有的导电材料，无论材料的硬度有多大。用非常细小的电极来实现轮廓的控制，可以很成功的制造微型模型。尽管这些方法不能达到产品装配的技术尺寸量级，比如，在许多情况下，量级是不需要的。除此之外，产品方案的设计和蚀刻技术也相对比微加工用机床价格更贵。在这篇文章中介绍了基于工具微加工的些重要领域的成就。新代的纳米表面新代的纳米表面在加工研磨工序中使用电解质磨削原理通过塑性变形而不是。
5、些缺点，比如，很难抛光硬性和脆性材料如硅低效率除由于低利率,非均匀晶片表面由于晶片的背压的变化而变化,以及相对整个晶圆表面切削速度的变化，参与这个过程成本相对较高。另方面,磨削过程相对过程有些重要的优势，是磨削过程取代的抛光方法的潜在优势。超越的下显著优势是由于去除率高效率高，整个晶片的表面均匀，参与这个过程的成本较低。图加工气流条件的影响图通过磨削球形显微镜头直径作者已经进行的实验用该磨削过程的整体性能来比较涉及工艺的过程。该磨削操作上进行了计算机数字控制加工中心图。在最佳工艺条件，通过观察确定被选定与磨削各种参数，然后在适当的条件的影响获得更好的结果。在磨削参数的晶圆加工如下进给速度毫米分钟，砂轮粒度粒度，主轴转速的转速，切削深度为纳米，电源电压，最。
6、线加工。凝聚光线加工制造过程以非常准确的方式产生高比率的三维次微米结构。但是，这些过程的实现需要特殊的设备。最大可实现的厚度是非常小的,。传统材料去除过程,如车削铣削和磨削,也通过引入单点金刚石铣刀或非常细粒度大小的磨轮研究了制造微观结构。这些材料去除过程几乎可以加工制造所有材料，如金属塑料和半导体。加工形状也没有限制,因此,需要移动部件和导向结构的平面,曲率和长轴都可以加工,。刨后的零件和非球面的纳米级表面可以通过柔性模式加工或金刚石铣刀单点回转或使用新的磨削方法与固定磨料颗粒完成,。为了获得完美的纳米表面和准确作用到脆性材料,普通砂轮与细磨料尺寸是必要的。当用细小的研磨剂研磨时，会遇到砂轮上载荷和装配等问题。减少上述问题，周期性修正是至关重要的,这使。
7、。这是不希望的研磨面的形状误差是次于金刚石翻面。因此，只保留车削加工这种模具和该项目的目标是提高金刚石切削工具是很重要的，生活中通过钻石刀具的设计和加工条件的材料特性优化化学镀镍。新加坡国立大学的先进制造实验室，在进行个项目工作是在日立公司，与日本的合作，深入研究这个问题。该过程已建立化学镀镍压模的金刚石车削，已经达到表面粗糙度小于。已经建立影响金刚石刀具磨损的主要因素的化学镀镍组合物，该金刚石刀具的晶体取向，金刚石采用的该类型人造或天然该金刚石刀具的前角。考虑到这些，已经达到长的切割距离，仍保持镜面光洁度。下面的小节说明进行该项目的主要成果针对不同的化学镀镍组成铣刀的性能的调查。在无电解镀镍的金刚石车削，镍和磷的化学镀镍的组合物关于其机械加工性显著影响。
8、两个原因。首先，如镍和铁的工作作为催化剂元素，它促进了金刚石石墨转变图，因此更大量的镍相比磷会导致金刚石刀具更大的磨损。其次，在无电解镍磷含量的显著影响，其结构和硬度图。化学镀镍具有较低的磷含量趋向于更脆，硬，因此难以加工。实验对削减了的工件和的磷以观察切割性能，从而建立了优选化学镀镍组合物，如等所详述fl,fl,flfl,flflfifi,fi,,,,,,fl,,,fi,,编号毕业设计论文外文翻译译文题目基于工具的纳米精加工和显微机械加工学院机电工程学院专业机械设计制造及其自动化学生姓名唐朋学号指导教师单位桂林电子科技大学姓名彭晓楠职称副教授题目类型理论研究实验研究工程设计工程技术研究软件开发年月日基于工具的纳米精加工和显微机械加工∗,机械工程系，新加坡国立大学，。
9、影响到表面光洁度。在图中,标志表明黑色地带的形成。达到理想的表面光洁度和避免黑带的形成,重要的是要选择适当的进给速率和气流比例。图粒度对表面的影响图加工过程中条件当前负载比对表面的影响图磨削的限制条件当的进给速率和深度保持不变，实验也分析调查当前负载比和表面粗糙度轮磨损的影响。从图中可以很明显看出,表面粗糙度有所改善,但车轮磨损相应地正比比例增加。磨削系统开发和实验开展提供了个实际应用的解决方案的过程。通过选择适当加工和电解条件,在上，表面光洁度很容易实现。图是微距镜头在玻璃棒加工的个例子。使用磨削完成硅片纳米表面的精加工将抛光技术用于半导体材料,化学机械抛光有许多优点和些严重的缺点。和这样的柔性和脆性材料用技术可以得到很高效的磨光。然而,这过程相应出现。
10、大电流在硅晶片的研磨，材料的去除速率是非常高的，通常可以实现的。轮的磨损率是可以忽略的。经过磨削两个晶片到厚度，砂轮的厚度没有变化。表面是完美的韧性和可以实现镜子似的抛光，如图所示。图磨削对硅片的实验装置采用超精密加工单点金刚石刀具生成了纳米表面单刀双掷超精密加工超精密加工除去物料从几微米到亚微米级，在加工难以加工的材料方面实现延性方式，例如无电解镀镍，硅，石英，玻璃和陶瓷，无表面缺陷的技术。这样的加工过程中很容易达到小于镜面表面的加工，小于的形式。如果在特定的范围适当地施加到金刚石转盘材料，该过程是远远优于研磨和抛光，其中形状控制是比较困难的，加工时间变长。实现超精密加工的个重要因素是机床能够在纳米的分辨率内以高精度运动。这样的机床必要的功能包括刚度使。
11、裂，切削硬性材料和脆性材料可以获得镜面抛光表面。当使用超细研磨磨轮磨削是，意识到了柔性模式的机加工。当用粒度及以上的含有金刚石的金属砂轮的时，光滑表面和更少的切削痕迹在玻璃上表现的很明显。日本村田公司介绍了电解加工过程，用粒度小于含有金刚石的金属砂轮磨削陶瓷，他们发现了高效磨削硬性材料和脆性材料的方法。进步提高了磨削工艺，他用分级更细的沙粒粒度大于，并且还有金属的磨削砂轮，以电解磨削实现了更好的表面光洁度。磨削过程的发展是个简单的技术,可以使用在任何传统的研磨机。,基本的系统包括个含有金刚石的金属砂轮电极电源和电解质。新加坡国立大学开发的系统原理图如图所示。通过应用个刷子和轮轴平滑的联接，将含有金属的磨削砂轮做成阳极，电极做成阴极。在阳极和阴极之间大约有。
12、肯特岗坊，新加坡，新加坡摘要越来越多的工业产品不仅需要增加功能的数量,而且要减小尺寸规格。精密加工是这样的小型零部件的生产最基本的技术。自从以小型技术的工业产品为发展趋势以来，在当今的制造业，精密加工扮演越来越来重要的角色。以微投影为基础的显微加工并不像基于工具的显微加工技术有那么多的缺点，比如，车削研磨。在生产中有很多优势，比如，生产力效率灵活性和成本效率。然而,困难是作为加工单位减少,尚未利用基于工具加工的精密加工技术解决。然而，当传统的机械加工部件减少时，难题是只有当基于工具的机械加工的显微机械加工技术出现时，问题才可以解决。在这篇文章中，讲述了基于工具微加工的些重要领域的最新成果。摘要介绍了基于工具微加工的些重要领域最近的成就。介绍了电解敷料过程。
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外文翻译--基于工具的纳米精加工和显微机械加工