1、的反射系数要比铜的小，在波长约左右时反射系数会有较大的差别，这就说明氮化铜薄膜是可以作为光存储媒介的，。当有电子束或者光子照射到薄膜表面时，氮化铜薄膜的温度会升高并分解为铜和氮气，等使用的半导体激光在氮化铜的薄膜上完成了次性的光记录。随后，等人采用电子束刻蚀的办法在年成功的分解了氮化铜薄膜，在它的表面获得了铜。氮化铜具有低温热分解的特性说明它可以实现金属化反应，这使氮化铜这种材料在电子和工业的领域也具有巨大的潜力，。基于氮化铜薄膜巨大的应用前景，目前多种制备方法已被研究者们发现，最常用的是溅射镀膜的方法。万方数据南京邮电大学硕士研究生学位论文第章绪论氮化铜薄膜应用氮化铜的应用探索起步于上世纪末，等，对其应用前景进行了探讨，他们使用激光二极管在氮化铜薄膜的表面产生了光记录的斑点，然后把功率减。
2、光存储器，包括等另类则是可记录型光存储器，它包括等多种类型，。光存储器中最常见的是光盘，根据光盘的结构，主要分为蓝光光盘等多种万方数据南京邮电大学硕士研究生学位论文第二章氮化铜薄膜和光存储的相关知识介绍类型，这些光盘的主要结构和原理是类似的。只读光盘与可记录光盘在结构上面没有本质区别，它们的主要区别在于些制备工序和材料应用的不同，在方面也是样的道理，因此就以光盘为例进行介绍。常见的光盘非常薄，它只有厚，但却包括了很多内容。光盘主要分为五层，其中包括基板记录层反射层保护层印刷层等。基板它是各功能性结构如沟槽等的载体，其使用的材料是聚碳酸酯，冲击韧性极好使用温度范围大尺寸稳定性好耐候性无毒性。记录层这是烧录时刻录信号的地方，其主要的工作原理是在基板上涂抹上专用的有机染料，以供激光记录信息。由于。
3、就为正数或负数，激光头就会依据寻迹信号来对姿态进行适合的调整。假如光驱的寻迹能力很差，在读取信息的时候就可能出现读取错误的情况，最典型的是在读取音轨的时候出现跳音的现象。聚焦指的是激光头能精确的将激光束打到盘片上面并受到最强信号。从盘片上反射回来的激光束会同时打到四个光电二极管上面，它们会把信号叠加起来并且最终形成聚焦的信号。当且仅当聚焦准确时，聚焦信号才为零，不然，它就会放出信号而矫正激光头所处的位置。寻迹与聚焦是激光头在工作的时候最重要的两个性能。激光头主要包括半反光棱镜激光发生器又称为激光二极管透镜物镜和光电二万方数据南京邮电大学硕士研究生学位论文第二章氮化铜薄膜和光存储的相关知识介绍极管这几个部分。在激光头读取信息的时候，从激光发生器产生的激光通过半反射棱镜，聚集在物镜上面，物镜会。
4、”激光头后，该点会迅速冷却下来，并保持了极性，除非对它再次加热和加磁。般的磁铁摩擦，甚至核磁共振扫描仪都对磁盘没有影响。所有制备商都统了标准，并且采取了致的发展“路线”每隔个月把容万方数据南京邮电大学硕士研究生学位论文第二章氮化铜薄膜和光存储的相关知识介绍量提高倍。的容量从直发展到现在的面。并且每种新型的驱动器仍可以读取以前三代媒质，同时至少能写前两代的盘。这种光盘可以在任何驱动器或音频播放机中使用。这种技术在出现后就被迅速标准化，并且十几家制备商开始制备这种系统。飞利浦和索尼还推出了种可读写的光盘，并鼓动所有只读驱动器的制备商在其产品中安装这种“多次读写”芯片。今天，标准的驱动器“刻录机”的零售价格不超过美元，而可读写光盘的价格在美元左右，次写入的光盘价格低于美元。最近出现了另外种标准规。
5、介绍掩模板介绍光盘样品的信息记录信息记录结果万方数据本章小结第五章基于氮化铜薄膜光存储器的信息读取及性能研究基于氮化铜薄膜次写入型光盘样品的信息读取激光扫描共聚焦显微镜介绍光盘样品的信息读取信息读取结果基于氮化铜薄膜光存储器的性能研究信息记录前后射线衍射谱分析信息记录前后扫描电子显微镜图分析信息记录前后射线能谱分析本章小结第六章总结与展望总结展望参考文献附录攻读硕士学位期间撰写的论文附录攻读硕士学位期间申请的专利附录攻读硕士学位期间参加的科研项目致谢万方数据南京邮电大学硕士研究生学位论文第章绪论第章绪论氮化铜薄膜概述氮化铜薄膜是种新型的电光学材料，它具有典型的反三氧化铼结构。氮化铜在较低温度下会分解为铜和氮气。氮化铜薄膜简介在型的过渡金属氮化物中，氮跟铜不能通过传统的方法进行结合，只能使用。
6、录前后的反射率不同，经由激光读取不同长度的信号时，通过反射率的变化形成与信号，借以读取信息。目前市场上存在三大类有机染料花菁酞菁及偶氮。反射层这是光盘的第三层，它是反射光驱激光光束的区域，借反射的激光光束读取光盘片中的资料。保护层它是用来保护光盘中的反射层及染料层防止信号被破坏。材料为光固化丙烯酸类物质。印刷层印刷盘片的客户标识容量等相关资讯的地方，还可以起到定的保护光盘的作用。光存储器的研究现状年中期，英寸磁光盘即，英寸的只出现在日本系统取代了英寸写次可读多次光盘的统治地位，并且把这种地位直保持到最近。在驱动器中有个电磁头来极化记录层上的磁点，它只有在温度很高时才会改变。所以磁盘的工作方式是磁盘的面上有个激光二极管把极点加热到临界温度称为“居里点”，而在另面的磁头把该点极化。当该极点“旋。
7、可以读取记录的信息。氮化铜是种无毒和廉价原料，它在代替以为基的有毒性材料作为光记录膜材具有潜在的开发价值。，并且发现薄膜的晶格常数会随着气体流量的增加而变大。除此之外，还有研究者探索了氮化铜薄膜其它的制备方法，比如离子源辅助沉积法反应脉冲激光沉积法和分子束外延法等，。目前为止，磁控溅射法在氮化铜薄膜的制备上已经逐渐代替了其他的制备方法，并成为沉积高质量的氮化铜薄膜的首选方法，。磁控溅射法是指利用磁场产生的洛伦兹力改变电子运动的方向并延长它的运动轨迹，因此提高电子对工作气体电离的几率，并且能够有效利用电子的能量。用磁控溅射法镀膜时，先在强电场的作用下获得高能量的电子，溅射室内的氩原子与高能量的电子产生碰撞，然后使它电离为个新电子二次电子和氩离子，电离出的离子在电场的作用下能够加速轰击靶材，并。
8、靶分子或原子从本来靶材的表面溅射出来，然后沉积到基片上，形成所需要的薄膜。在磁场和电场的共同作用下，电离出的二次电子被限制在特定的范围内运动，这使区域内的有效碰撞几率获得增加，因而能够诱导大量的离子来轰击靶材的表面，这样就提高了使用溅射镀膜法的速度。于此同时，在上述的过程中二次电子的能量会慢慢降低，最后会变成低能电子并被正极所捕获。磁控溅射系统示意图如图所示。在此装置中安装了与电场相正交的磁场，其中阳极被置于磁控靶的周围，基底则位于靶对面处的悬浮电位支架上面，磁控溅射源是永磁型或者电磁型，基底的两侧分别为排气系统和进气系统。图磁控溅射系统示意图万方数据南京邮电大学硕士研究生学位论文第二章氮化铜薄膜和光存储的相关知识介绍反应溅射指的是在阴极溅射的惰性气体如氩气中，通入些活性气体，使其与靶材表。
9、构氮化铜薄膜的研究现状氮化铜薄膜的制备原理光存储介绍光存储器的结构光存储器的研究现状光存储器记录和读取的原理本章小结第三章基于氮化铜薄膜光存储器的研究与设计基于氮化铜薄膜次写入型光盘的研究与设计光盘的结构光盘的记录和读取方式光盘的制备方法基于氮化铜薄膜次写入型双面光盘的研究与设计双面光盘的结构双面光盘的记录和读取方式双面光盘的制备方法基于氮化铜薄膜次写入型多层波导光存储器的研究与设计多层波导光存储器的结构多层波导光存储器的记录和读取方式多层波导光存储器的制备方法本章小结第四章基于氮化铜薄膜光存储器的制备及信息记录研究基于氮化铜薄膜次写入型光盘样品的制备磁控溅射仪器介绍利用磁控溅射的方法制备氮化铜薄膜利用氮化铜薄膜制备次写入型光盘样品样品制备结果基于氮化铜薄膜次写入型光盘样品的信息记录激光器。
10、与的复分解反应来制取它。氮化铜是以共价键结合的种材料，它是种共价键金属的氮化物，特点是电阻率高热分解温度低在可见光波段和红外波段的反射率低，成为近年来光存储器件和高速集成电路中备受瞩目的新型的应用材料。氮化铜晶体首次由和在年制得，至今已有近年了，他们采用高温高压法在氨气中生成多晶态的氮化铜晶粒。世纪年代，等人用射线衍射法测得氮化铜晶体为反三氧化铼型简立方体结构，点阵常数为。氮化铜薄膜是种棕褐色的半透明的薄膜，它在温度为且湿度为的条件下，它的光学性能在放置个月后不会有任何改变。氮化铜薄膜在真空中，在温度达到左右就会开始分解，氮化铜薄膜低温热分解的特性说明了它可以进行金属化反应。对分解后的氮化铜薄膜进行性能上的研究，发现直接溅射得到的铜膜与氮化铜热分解以后得到的铜膜的反射光谱非常相近，而且氮化。
11、的可读写光盘。用于高速记录即由倍速以上的新驱动器写入的光盘不能用于倍速以下的老式光盘驱动器。记录采用了相变技术，其原理是激光二极管发出的热量使记录点呈现高反射“水晶”状态或另外种状态“非晶体”，而第二个激光二极管在读取这两种不同状态时把它们分别标识为或。采用相当紧密的压缩算法，每个记录层的最低容量是。现在这个数字已经成了标准。先锋东芝日立等厂家都把他们的最新式录制机制成多功能的先锋增加了种称为格式的可重写能力，集团采用了只写入次的。不同厂家的可重写媒质是不兼容的，而只有光盘是通用的。光存储器记录和读取的原理在光存储器记录和读取数据的过程中，寻迹与聚焦直接影响到光驱的纠错能力和稳定性。寻迹就是指保证激光头始终准确地对准记录信息的轨道。当轨道正好与激光束重合时，寻迹误差的信号就为零，否则寻迹信。
12、溅射出的粒子发生反应，来获得不同于靶材的新物质的薄膜。射频溅射把射频电源加在溅射靶和基片的两个电极上面，工作气体在射频电场的作用下发生电离成为等离子体，进而实现了溅射镀膜，它的基本原理如图所示图射频溅射原理示意图光存储介绍光存储器中最常见的是光盘，它是由碳酸脂做成的，其中心带有直径为的个孔洞。个螺旋状的物理磁道在盘基上被浇铸，它从光盘的内部直螺旋直到最外圈，在磁道内部，排列着许多蚀刻的“凹坑”，存储的数据信息就是由这些“凹坑”和“平地”构成的。因为读取光盘信息的激光会透过塑料层，所以需要在它的上面覆盖层金属的反射层如铝合金，这样使其可以反射读取激光，最后再在铝合金层上面覆盖层保护层如丙烯酸材料。光存储器的结构光存储器的结构与它的制备过程密切相关。光存储器只是个统称，它可以分成两类，类是只读。
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