1、学生姓名赵魁学号专业名称机械设计制造及其自动化答辩时间答辩地点指导教师卢志伟题目基于气浮支承引线键合定位平台设计答辩小组成员姓名职称姓名职称提问及回答情况记录记录人签字年月日答辩成绩答辩小组组长签名年月日毕业论文成绩答辩委员会认定成绩毕业论文等级系院答辩委员会意见负责人签名年月日注毕业论文成绩指导教师成绩评阅教师成绩答辩成绩答辩委员会认定成绩是根据该生毕业设计期间的表现及该专业整体论文情况的。
2、间距日益减小,定位平台的性能已经成为引线键合工艺进步发展的瓶颈。由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也小，热稳定性好使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比，它不污染环境。由于具有这些特点，载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。因此把基于气浮支承引线键合定位平台设计作为本次本科毕业论文的课题，既有较大的学术价值，又有广阔的应用前景。二本课题在国内外的研究状况及发。
3、线键合定位平台原理方案设计和结构方案设计与分析。下步设计工作内容是设计以及相关零件的设计以及相关零件图的绘制。对引线键合定位平台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计指导教师意见该生能够与指导教师经常联系能够完成进度要求完成相关设计清楚自己的设计内容和技术路线综上所述，同意按照设计进度进行后续工作。签字年月日教研室意见签字年月日西安文理学院本科毕业设计论文指导教师评分表学生姓名赵魁学号专。
4、合评定成绩。论文等级分优秀分良好分中等分及格分不及格分。西安文理学院本科毕业设计论文开题报告题目基于气浮支承引线键合定位平台设计学生姓名赵魁学号专业名称机械设计制造及其自动化指导教师卢志伟开题时间班级机械班选题目的和意义随着技术的进步和相关行业的发展，高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件,决定键合的速度和质量,进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大,管脚数量迅速增多,引。
5、杂封装的工艺稳定质量保证和协同控制变得越来越重要。国外对引线键合工艺涉及的大量参数和精密机构的控制问题已有较为深入的研究，并且已经在参数敏感度和重要性的排列方面有了共识。引线键合技术，作为及芯片封装的关键技术之，是用金属丝将及芯片上的电极与底座支架连接在起的种互连技术,通常采用热压键合热超声键合和超声键合三种键合工艺方法。在自动引线键合技术中，键合丝尾长度键合变形不当键合位置不当等现象均可经。
6、要性的排列方面有了共识。引线键合技术，作为及芯片封装的关键技术之，是用金属丝将及芯片上的电极与底座支架连接在起的种互连技术,通常采用热压键合热超声键合和超声键合三种键合工艺方法。在自动引线键合技术中，键合丝尾长度键合变形不当键合位置不当等现象均可经调整温度压力超声功率和时间等参数换劈刀等方法进行纠正。我国及封装研究起步较晚，其中的关键技术掌握不足，缺乏工艺的数据积累，加之国外的技术封锁，有必。
7、制方法等角度进行研究。比如，为了使系统能够在高速度和加速度条件下稳定运行，需要开发出类鲁棒性很强的控制器。而为了减小系统运行的摩擦力以及摩擦力的不均匀，对定位平台气浮技术的有了定初步理解，初步设计了出了定的方案规划但后面还有很多工作和内容要做，需抓紧时间。同意开题。签字年月日教研室审核意见签字年月日西安文理学院本科毕业设计论文中期检查表题目基于气浮支承引线键合定位平台设计学生姓名赵魁学号专业。
8、局部稳定系统，易发生悬浮磁场和线性驱动磁场间的相互影响。气浮轴承除不具有上述缺点外，还具有结构简单质量轻便和设计灵活等优点。因此，近年来，气浮高性能定位平台的目前及芯片在各个领域的应用越来越广泛，对封装工艺的质量及检测技术提出了更高的要求，如何实现复杂封装的工艺稳定质量保证和协同控制变得越来越重要。国外对引线键合工艺涉及的大量参数和精密机构的控制问题已有较为深入的研究，并且已经在参数敏感度和。
9、调整温度压力超声功率和时间等参数换劈刀等方法进行纠正。我国及封装研究起步较晚，其中的关键技术掌握不足，缺乏工艺的数据积累，加之国外的技术封锁，有必要深入研究各种封装工艺，掌握其间的关键技术，自主研发高水平封装设备。研究非常活跃。引线键合技术，又称球楔键合技术，在封装中是应用最广泛的键合方法。要求键合设备具有比以往更高的精度速度可靠性。为了达到上述要求，需要从驱动电机选择，平台结构设计和合适的。
10、业机械设计制造及其自动化班级机械班毕业设计论文题目基于气浮支承引线键合定位平台设计设计论文起止时间年月日至年月日指导教师评语建议成绩指导教师签名年月日西安文理学院本科毕业设计论文评阅教师评分表学生姓名赵魁学号专业机械设计制造及其自动化班级机械班毕业设计论文题目基于气浮支承引线键合定位平台设计设计论文起止时间年月日至年月日评阅教师评语建议成绩评阅教师签名年月日西安文理学院本科毕业设计论文答辩记。
11、称机械设计制造及其自动化指导教师卢志伟检查时间班级级机械班毕业设计论文进展情况通过对基于气浮支承引线键合定位平台设计的相关资料的学习，以及对整个设计的了解，现基本完成以下设计工作参阅相关资料，了解气体润滑技术以及引线键合定位平台的工作原理及其发展，并查阅和收集相关资料。完成气浮支承引线键合定位平台原理方案设计和结构方案设计与分析。对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计完成气浮支承。
12、展趋势由于平台进行高加速度高精度快速往复小行程运动，并在很短的时间内达到高精度定位，要求机械结构简单易于控制刚度大惯性小阻尼低制造精密。涉及到的研究内容包括机构形式支撑方式新型材料设计方法精密加工技术，运动学动力学分析及简单有效的运动控制算法等方面。随着速度加速度和工作频率的进步提高，摩擦力对平台性能的影响越来越显著。其微米级行程仅适用于些细微装配或操作任务。但磁悬浮轴承制造成本高，是个非线。
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开题报告：基于气浮支承引线键合定位平台设计