1、准技术在影像测量仪误差分离中的应用实验设备.实验步骤.实验结果本章小结.自校准技术中参数条件限制及不同组合的影响研究.二维自校准技术中角度参数偏差研究二维自校准技术中平移参数偏差研究二维自校准技术中不同位置组合研究本章小结.自校准技术在平面度评定中的应用研究自校准算法在平面度应用中模型的建立.变量定义.方程组的建立基于自校准算法的平面度评定仿真分析.仿真参数设定.无随机噪声时仿真分析有随机噪声时仿真分析.本章小结.总结与展望.研究总结工作展望.参考文献.作者简历.万方数据图清单图.直接测量法图.组合测量法图.维自校准的原理图.自校准模型中的标尺及变量.图.自校准方法中测量标尺的三位置变化图.维工作台系统的残差.图.维自校准技术实验装置.图.实验数据计算结果图.影像测量仪实验测量界面.图.线纹尺原始位置测量值误差.图.线纹尺自校准。
2、误差原始给定值.图.三个位置的测量值图.计算所得的栅格板和工作台误差.图.无随机噪声工作台平面度计算值与给定值的偏差图.引进随机噪声后计算所得的工作台误差图.引进随机噪声后工作台平面度计算值与给定值的偏差.表清单表.无随机噪声时自校准算法相应的仿真结果表.有随机噪声时自校准算法相应的仿真结果表.实验所得误差计算值.表.线纹尺自校准计算结果对比.表.有随机噪声时的误差给定值与计算值表.有随机噪声时的标准差和标准不确定度表.不同噪声参数的仿真结果比较.表.实验设备名称及参数.表.影像仪自校准结果表.角度偏差对自校准算法的影响.表.平移偏差对自校准算法的影响.表.不同测量位置组合情况.表.不同测量位置组合参数对比.表.变量定义表.无随机噪声时给定和计算所得的误差表.有随机噪声时给定和计算所得的误差万方数据中国计量学院硕士学位论文绪论.。
3、利用最小二乘法对数学模型中的方程组进行求解，得到最佳估计值。为了验证模型的正确性，进行了仿真分析。同时，分别对影像测量仪和二等标准线纹尺进行了维自校准实验验证。其次，在维自校准模型的基础上建立了二维自校准技术的数学模型，并进行了有无随机噪声两种情况的仿真分析。利用栅格板对影像测量仪工作台定位精度进行了二维自校准实验。然后，针对二维自校准技术模型中的影响因素，进行了各项参数限制条件的研究，分析了不同测量位置组合方案对自校准技术结果的影响，为自校准技术实施中选取最佳位置数提供了依据。最后，将自校准技术拓展至平面度的评定中，并针对有无随机噪声分别进行了研究。本文的研究对于传统校准方法具有创新性，提高了工作台定位精度，对平面度评定进行了探索，为精密测量领域提供了定的参考。关键词自校准定位精度最小二乘法组合测量误差分离分类号万方数据，.,。
4、算结果.图.线纹尺检定结果图.工作台测量点系统误差变量示意图图.栅格板标记点系统误差变量示意图图.坐标系之间的转换图.误差分离三位置示意图.图.仿真流程图图.无随机噪声时测量点系统误差计算值与给定值的差.图.无随机噪声时标记点系统误差计算值与给定值的差.图.有随机噪声时测量点系统误差计算值与给定值的差.图.有随机噪声时标记点系统误差计算值与给定值的差.图.栅格板与工作台放置位置示意图.图.测量数据坐标转换关系图.图.二维自校准技术实验平台及对象.图.实验流程图图.辅助测量栅格板栅格排列.图.轴方向原始位置测量结果与自校准计算结果对比图.轴方向原始位置测量结果与自校准计算结果对比万方数据图.自校准算法有效性在多种角度偏差时的验证图.自校准算法有效性在多种平移偏差时的验证图.多位置组合对应的工作台系统误差不确定度对比图.工作台和栅格。
5、硕士学位论文面向精密测量的自校准技术研究作者王晓晓导师赵军教授学科精密仪器及机械中国计量学院二〇四年三月万方数据,万方数据中图分类号学校代码密级公开硕士学位论文面向精密测量的自校准技术研究作者王晓晓导师赵军教授申请学位工学硕士培养单位中国计量学院学科专业精密仪器及机械研究方向精密测量技术二〇四年三月万方数据独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得中国计量学院或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名签字日期年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解中国计量学院有关保留使用学位论文的规定。特授权。
6、操作等优点，成为最有发展前景的技术之。自校准技术，也称自标定通过使用标记点位置精度低于万方数据中国计量学院硕士学位论文或等于被校准工作台运动及定位精度的辅助测量装置作为中介，根据该辅助测量装置不同测量位置平移和旋转组合情况下各标记点的测量数据，采用相应的自校准算法进行数学建模和校准参数辨识，消除辅助测量装置本身误差的影响，从而实现该工作台误差的分离,。自校准技术所能达到的精度仅受被校准测量仪器重复精度的限制。为了保证测量结果在计量检定和校准之后的稳定性和可靠性，企业也需要有能够跟踪测量仪器性能参数的方法。相比于检定和校准的周期长成本高，自校准技术无疑有其优越性。由于自校准方法不要求提供高等级的计量标准，没有对目前的加工条件加工成本和加工技术提出过高要求，因此自校准技术已成为改善超精密工作台运动和定位精度的有效手段。.国内外研究现。
7、陈欣老师，在理论算法方面给予我很大的帮助。读研的经历让我的人生更加丰富多彩，我见识了更强的学术氛围，得到了更高的教育培养，收获了更真挚的师生感情。忘不了老师治学态度的严谨，忘不了同学探讨学术的愉快，忘不了朋友分享成功的骄傲。同时也非常感谢跟我起奋斗的同学们，我的师兄师姐汪晨侯蕊管清岩陈允睿赖欣欢，李相臣，他们在学习和生活中给予我很大的帮助，让我在集体生活中有了家的温暖。感谢我的同窗，邹慧洪博邓兴拓韩欢欢王欢崔颖曹丽霞何洋洋宋玉倩李林峰王福民和赵超杰等。在和你们起学习的时光里，使我感受到了集体的快乐，同时从你们身上学习到了很多，感谢大家的陪伴，使我度过了美好的研究生生活。我还要感谢我的父母，是你们支持我追求自己的梦想，让我有了现在的时光，感谢你们直以来给予我最大的鼓励和支持，感谢你们对我的理解和包容，我将以我最大的力量来回报你们，。
8、越来越多。以集成电路制造过程中光刻工艺所需要的超精密定位工作台为例，传统的校准方法已经无法完全满足要求，因为要加工和制作高等级精度的计量标准要么技术上存在障碍，要么就是成本昂贵。因此，采用误差分离和补偿技术来实现对仪器性能指标和测量结果的评价，已成为近年来的研究热点。误差分离技术，是指从所测信号中分离并除去由测量系统引入的影响测量精度的信号分量，从而得到所要测量的有用信号,。应用特定的测量系统和相应的软件的组合去分离硬基准固有的误差，以此来获得比硬基准所能提供的精度更高的测量精度。误差分离技术在直线度平面度圆度圆柱度误差评定形貌测量方面获得了广泛的应用，在机床三坐标测量机几何误差评价方面也有较多研究。误差分离技术通常可分为反向法多步法多测头法和自校准法。在超精密工作台的性能评价中，自校准技术以其不需要高精度计量标准理论体系完善便。
9、中国计量学院可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印缩印或扫描等复制手段保存汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。保密的学位论文在解密后适用本授权说明学位论文作者签名导师签名签字日期年月日签字日期年月日万方数据致谢本文的研究工作是在赵军郭天太孔明刘维王道档老师的悉心指导下完成的。在此，请允许我对导师组的老师表达我真挚的谢意。他们渊博的学识和严谨的治学态度是我永远学习的榜样。三年的研究生生活像白驹过隙般，有过成功和自豪，有过迷茫和懈怠，但导师组的各位老师给予我莫大的精神支柱以及科研指导，同时在生活上给予我悉心照顾和关心爱护。尤其是我的直接指导老师郭天太，您的谆谆教导，使我在这里步步地成长，从郭老师身上学习到的人生经验将对我今后的工作和生活产生深远的影响。特别感谢上海交通大学。
10、,,.万方数据万方数据目次摘要目次.图清单.表清单绪论研究的背景及意义.国内外研究现状.本文的主要内容.本文的创新点自校准技术的理论基础.误差分离原理概述.最小二乘法的基本原理最小二乘法原理.最小二乘法线性参数方程与矩阵的转换组合测量基本原理组合测量原理.组合测量的最小二乘法处理.本章小结.维自校准技术研究.维自校准技术的原理维自校准技术变量定义维自校准技术三位置的数学模型.维自校准技术仿真结果无随机噪声时维自校准技术的仿真结果.有随机噪声时维自校准技术的仿真结果维自校准技术在影像测量仪中的应用维自校准技术在线纹尺校准中的应用本章小结.二维自校准技术研究万方数据.二维自校准技术的原理二维自校准技术中的变量定义二维自校准技术的数学模型建立二维自校准技术的三位置测量模型.二维自校准技术仿真分析.二维自校准技术中测量数据转换模型二维自。
11、你们能够过上幸福的生活。最后感谢各位专家在百忙之中抽出时间评阅我的论文，你们的意见将为我研究生学习的道路画上圆满的句号。请各位专家不吝赐教，批评指正。王晓晓年月万方数据面向精密测量的自校准技术研究摘要随着各领域对精密测量技术的要求越来越高，精密定位技术的发展也得到了越来越多的关注。精密定位技术的提高对校准用标准器提出了越来越严格的要求，但用于精密甚至超精密工作台的定位校准需要的标准器成本太过昂贵，或者在现有的技术条件下无法制造。针对这种现状，误差分离技术已受到广泛的关注。自校准技术是误差分离技术的种，本文对其进行了系统研究，基本思路为通过数学算法将测量结果中包含的系统误差分离出来，从而改善工作台定位精度和测量效果，主要包括理论模型的建立软件仿真分析实验验证及应用探索。首先，针对测量结果中的误差来源，建立了维自校准技术的数学模型，。
12、究的背景及意义精密工作台在现代社会中具有举足轻重的地位。随着集成电路和微机电系统的快速发展，对超精密加工测量结果的要求也越来越高，精度要求的数量级已从毫米级微米级发展到纳米级，甚至亚纳米级。没有性能优良的测量仪器作为保障，也就无法实现精密定位和超精密加工，作为国民经济的重要基础之的制造业的振兴也就无从谈起。因为制造工艺外部环境影响等原因导致测量仪器存在定误差，任何测量仪器在测量过程中都会产生系统误差和随机误差。为了保证测量结果的致性和可靠性，需要对测量仪器的性能参数进行校准。校准的般做法是通过与比被测对象高个精度等级的计量标准比较来确定仪器的精度指标。在精密测量领域中，随着各个领域对超精密测量的要求逐步提高，对校准也提出了越来越高的要求。而在些精密甚至是超精密的计量领域，通用的工作台所能提供的硬基准的精度不能超过测量要求精度的情。
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解读《长江三角洲区域一体化发展战略》PPT讲稿 编号38