1、磷电子级红磷电子级 三氯氧磷的核心技术。目前，在我国微电子行业使用的电子级红磷和三氯氧 磷，几乎全部是美国日本德国等国家的产品。 项目成受性和可靠性论述 项目的成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告 技术方案 技术特点 电子级三氧氧化磷技术特点 本技术的创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序 的提纯以及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品质量的稳定性，保 证产品质量达到国际标准。 产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为 。 原材料可以是黄磷，也可以是红磷。但其纯度必须为 三氯氧磷的精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程。
2、防同时考虑，以消除 工厂生产对周围环境及职工健康的影响。 优化设计方案，提高企业经济效益和社会效益。 贯彻工厂布置体化，生产装置露天化，建构筑物轻型化，设备 技术国产化的原则。 设计中遵守国家法律法规及有关标准规范。 项目提出的背景投资必要性和经济意义 企业概况 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,县化工有限公司是县人民政府招商局招商引资项目。该公司 自立项以来直得到县政府江苏经济开发区工业园区管委会 的大力支持和协助。该公司各项工作进展顺利。 项目提出的背景 随着经济的迅猛发展。以微电子计算机通讯和网络技术为代表的 信息技术，是现代科学进步中发展最快渗透性最强应。
3、案 产品吨年高纯三氯氧磷 生产规模 高纯三氯氧磷生产规模为吨年 年生产天数天 项目的技术可行性和成熟性分析 项目产品检测情况 电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超 过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本 公司和德国公司同类产品的水平。 电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来 见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子的文献报道，也未见采用本 工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性。 工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势 电子级三氯氧磷创新点论述 本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工 序的提纯及防止。
4、 的干净及使用后便于清洗。 原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢 氧化钠和生石灰中和处理。 产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。 第章总论 项目名称及建设单位 项目名称 高纯三氯氧磷工程 项目建设单位 县化工有限公司 法人代表 项目主管部门 江苏经济开发区工业园区经济发展局 可行性研究编制的依据和原则 编制依据 县化工有限公司提供的设计基础资料。 化工建设项目可行性研究报告内容和深度的规定修订本。 编制原则 项目技术和设备立足国内。 节约用地，节省基建投资，加快建设进度。 主体工程与环境保护安全和工业卫生消。
5、风 险能力的高新技术项目，项目符合国家产业政策，具有广阔的发展空间。 本项目的电子级三氯氧磷是国内研究，产品成功进行生产后，既可以为微 电子行业提供高质量的电子基础材料，同时也通过本项目的建设，减少我 国对国外产品的依赖，打破国内外产品的垄断，提品市场竞争力，投入生 产后可以替代进口填补国内无法生产电子级三氯氧磷产品的空白，推动 我国信息产业的发展。通适本项目的实施，将当地磷资源优势转化为经济 优势，促进磷化工科技水平的提高。带动磷化工新产品的开发，形成产业 链发展，为开发和生产其他起大规模集成电路辅助材料奠定基础，同时推 动地方经济发展，增加就业机会。因此，把该项目作为高新技术。
6、当地磷资源优势转化为经济 优势，促进磷化工科技水平的提高。带动磷化工新产品的开发，形成产业 链发展，为开发和生产其他起大规模集成电路辅助材料奠定基础，同时推 动地方经济发展，增加就业机会。因此，把该项目作为高新技术产业化示范工程是十分必要的。 项目建设的经济意义 通过本项目的实施，向我国微电子行业提供高端电子级三氯氧磷产 品，促进我国信息产业的发展，该项目产品填补我国电子级三氯氧磷的不 足，可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池等工业，对我国信 息产业的发展具有极大的推动作用，对这些产业在国际市场的竞争优势有 较大的提升作用。 通过掌握电子级三氯氧磷产品生产的核心技术，有利于打。
7、品研发及生产的主要有德国的及公 司占全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的 ，公司占全球市场份额的，公司占 全球市场份额的日本的占全球市场份额的， 占全球市场份额的。另外还有日本的关东株式会社住友合成德 川三菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的 等公司。在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填长春中华长新化学，韩国的等公司。在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技。
8、 口，同快速发展的主体制造业极不配套。其中，超高纯材料和超高纯试剂 的发展更为滞后，目前基本依靠进口，主要进口商为日本美国和德国的 企业。 项目建设的必要性 本项目是个技术先进生产工艺成熟经济上可行，具有较高抗风 险能力的高新技术项目，项目符合国家产业政策，具有广阔的发展空间。 本项目的电子级三氯氧磷是国内研究，产品成功进行生产后，既可以为微 电子行业提供高质量的电子基础材料，同时也通过本项目的建设，减少我 国对国外产品的依赖，打破国内外产品的垄断，提品市场竞争力，投入生 产后可以替代进口填补国内无法生产电子级三氯氧磷产品的空白，推动 我国信息产业的发展。通适本项目的实施，将。
9、产业化示范工程是十分必要的。 项目建设的经济意义 通过本项目的实施，向我国微电子行业提供高端电子级三氯氧磷产 品，促进我国信息产业的发展，该项目产品填补我国电子级三氯氧磷的不 足，可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池等工业，对我国信 息产业的发展具有极大的推动作用，对这些产业在国际市场的竞争优势有 较大的提升作用。 通过掌握电子级三氯氧磷产品生产的核心技术，有利于打破国内外 产品的垄断，电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的 关键性基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度 对集成电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。目前国际 上从事工艺化学。
10、杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达 到国际标准。 国内外工艺流程的对比 德国默克流程图 产品可达级。 国内生产企业 由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。 县化工有限公司工艺流程 产品可以达到级 黄磷 高纯 合成蒸馏 馏 合成精馏精馏 精馏精馏在千级超净环境下 在百级超净环境 下 工业级精馏 在通风厨里包装，包 装瓶用焰或乙炔 封口 精馏 工业级精馏净化包装升华回收 对行业技术进步的重要意义和作用 掌握核心技术，打破国外产品对我国的市场垄断 公司经过多年的研究开发已掌握了高纯黄。
11、术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。 项目所需主要原材料为工业黄磷。目前有黄磷生产企业家，黄磷生 产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供 应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。 竞争能力预测 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。提升我国在该领域的 技术水平，打破国内外产品的垄断。 目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势 明显。 第三章产品方案及生产规模 产品方。
12、用最广泛的关键 技术现已成为世界各国科技经济军事政治竞争的焦点，成为各国 综合国力较量的个重要方面，加快信息产业的发展，早已成为我国的 项重要国策。近年来，由于我国国民经济持续健康发展，尤其是电子信 息产品的巨大需求，吸引了世界上些著名企业和太阳能电池生产厂商 对中国大陆的投资。目前我国已初步形成以北京为基点的北方微电子产业 门户基地和以上海为基点的华东微电子产业门户基地。在和太阳能电池 的制造成本中支撑材料和辅助材料大约占五成比例或更多，高纯三氯氧磷 产品是支撑材料或辅助材料的重要组成部份之。由于技术和政策等原因， 我国和太阳能电池行业的支撑材料业发展很缓慢，绝大多数材料依靠进。
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