阵列正方形微凸起单超声加工微凹坑将加工件置于体视测量显微镜下进行观察测量，得到各种材料表面阵列正方形微凸起单超声加工微凹坑正方形边长与加工深度对比如图所示。图阵列正方形微凸起单超声加工微凹坑正方形边长与加工深度对比图由图可知阵列正方形凹坑加工效果与单微细孔加工效果相似。加工中，由于阵列正方形微凸起与工件接触面积略大于阵列圆形微凸起，正方形微凹坑深度稍小于圆形。阵列菱形微凹坑单超声加工试验选用阵列菱形边长微凸起工具电极，加工参数工件与工具间静压力加工时间磨料碳化硼磨料悬浮液浓度试件材料选用硬质合金和不锈钢单晶硅压电陶瓷玻璃钢，取加工后材料表面微凹坑局部放大图。图阵列菱形微凸起单超声加工微凹坑将加工件置于体视测量显微镜下进行观察测量，得到各种材料表面阵列菱形微凸起单超声加工微凹坑菱形边长与加工深度对比如图所示。图阵列菱形微凸起单超声加工微凹坑菱形边长与加工深度对比图由图可知阵列菱形凹坑加工深度最小，是由于阵列菱形微凸起与工件的接触面积远大于阵列圆形与正方形微凸起。此外，如图所示菱形微凹坑超声加工圆角效应明显，这是由于尖角处易于被超声磨粒撞击磨损。试验结果分析比较各组加工图和测量数据可知，工件尺寸比工具尺寸有所扩大，扩大量理论上约为磨粒直径的两倍。磨粒越细，加工成形精度越高。压电陶瓷的加工效率最高，尺寸精度可达到，表面粗糙度，微凹坑结构尺寸致性精度可达。单晶硅片的加工效果也很明显，和压电陶瓷样微形状的边缘也出现了轻微塌边，可能因为材料脆性很高，是工具头在振动时对入口边缘瞬间的应力太大所致。通过试验现象及结果发现硬质合金不锈钢的加工精度和表面质量比加工压电陶瓷单晶硅片等硬脆材料要好，原因是硬质合金不锈钢硬度高的同时还具有定的韧性。从而说明材料的加工精度表面质量及加工效率都和材料的力学性能有很大关系，在同样的加工条件下，材料的强度和断裂韧性越高，在超声波高频振动撞击及空化作用下，表层去除脆裂较小，加工精度和表面质量越高，加工速度和加工效率越低相反被加工材料越脆，则承受冲击载荷的能力越低，也就越容易被去除。但是，硬质合金不锈钢的加工效率很低，在内只在工件表面加工出结构痕迹，深度仅几十。在微孔加工中，由于工具头端部能量集中且形状简单，加工效率稍高，而外形复杂阵列工具头端面如阵列圆形正方形菱形微凸起不利于磨料悬浮工作液的流动，影响加工效率。硬质合金及不锈钢的单超声加工另外，这些加工方式的设备普遍昂贵，次性投入较大，只适合大规模批量生产，对于复杂的三维微机械结构，采用以上技术就难以实现或根本无法束加工激光束加工等。目前，微细加工技术的研究大多集中在半导体制造工艺光刻技术蚀刻技术和技术上，并且取得了相当大的实用进展。但是，这些技术只能用来加工结构简单的二维或准三维微机械，尚不适于接去除或增加材料以达到加工的目的，般没有宏观的切削力作用，且多数属于非接触式加工，因此在微小尺度零件的加工中有着不可替代的优越性。特种加工的具体方法有电火花加工超声加工电解加工电子束加工离子的问题，进行工艺的完善本章小结本章阐述了微凹坑结构的研究及应用背景，进而提出本论文研究工作内容。第二章微细超声复合加工特种加工方法是借用各种电能热能声能光能电化学能及特殊机械能等多种能量，直，利用数字存储示波器及机进行加工过程中各类参数的检测和加工状态的评估，调整优化参数总结各种加工参数下微凹坑单超声与超声复合加工试验中精度效率表面质量的改善程度及原因，针对加工试验中存在作为微细工具电极的典型代表，利用现有的精密慢走丝线切割机床精密电火花成型机进行工艺组合加工各种微凸起工具电极确定试验方案，在多种材料表面选用不同加工参数进行微凹坑单超声与超声复合加工对比实验菱形，成阵列分布时，微凹坑尺寸与间距应成定比例根据微凹坑形状，对微凹坑加工的微细工具微凸起进行外形设计，选择单体截面为圆形正方形三角形的微细轴并将其推广为阵列圆形正方形菱形微凸起验中采用的微细超声加工以及微细超声电解复合加工两种加工方法，设计合适的加工系统，并对微细超声复合加工的加工装置进行构建与完善由流体润滑理论，设计了圆形截面微凹坑，在此基础上将截面形状拓展为正方形。本文研究主要内容对微凹坑结构超声复合加工工艺进行研究，其中包括微细超声复合加工系统的改造和完善，微凹坑的设计，微凸起工具电极的设计和制作，微细超声复合加工微凹坑对比试验，加工工艺规律分析。针对试可避免干摩擦和拉缸现象发生等优点，对发动机节能长寿命和轻型化发展具有重大意义和广泛的应用价值。研究人员还根据国内外的最新研究进展和研究成果，将储油结构分为网状裂纹型网状交叉型独立微坑型等结构。可避免干摩擦和拉缸现象发生等优点，对发动机节能长寿命和轻型化发展具有重大意义和广泛的应用价值。研究人员还根据国内外的最新研究进展和研究成果，将储油结构分为网状裂纹型网状交叉型独立微坑型等结构。本文研究主要内容对微凹坑结构超声复合加工工艺进行研究，其中包括微细超声复合加工系统的改造和完善，微凹坑的设计，微凸起工具电极的设计和制作，微细超声复合加工微凹坑对比试验，加工工艺规律分析。针对试验中采用的微细超声加工以及微细超声电解复合加工两种加工方法，设计合适的加工系统，并对微细超声复合加工的加工装置进行构建与完善由流体润滑理论，设计了圆形截面微凹坑，在此基础上将截面形状拓展为正方形菱形，成阵列分布时，微凹坑尺寸与间距应成定比例根据微凹坑形状，对微凹坑加工的微细工具微凸起进行外形设计，选择单体截面为圆形正方形三角形的微目录摘要第章绪论微凹坑结构的研究及应用背景本文研究主要内容本章小结第二章微细超声复合加工微细超声加工微细超声加工原理加工特点微细电解加工微细电解加工原理加工特点本章小结第三章微凹坑加工工具微凸起电极的设计制作微凹坑设计微凹坑设计原则微凸起工具电极设计微凸起工具电极材料选择微凸起工具电极制作变幅杆设计与制作本章小结第四章微凹坑超声复合加工试验试验参数选择试验件材料工作液工具电极超声振动频率及振幅微细超声加工试验阵列圆形微凹坑单超声加工试验阵列正方形微凹坑单超声加工试验阵列菱形微凹坑单超声加工试验试验结果分析微细超声电解复合加工阵列圆形微凹坑超声电解复合加工试验本章小结第五章总结与展望总结研究展望参考文献致谢第章绪论微凹坑结构的研究及应用背景根据摩擦学润滑理论，摩擦副表面阵列微凹坑中储存的润滑油可以被引到两个相对运动的表面间产生流体润滑膜，使其充分利用挤压和流体动力的联合作用改善润滑状况，在这种结构中规则微凹坑的表面形貌对流体润滑有着非常重要的影响。理论分析表明，在钢材表面加工出按定规律分布的具有定深度光滑过渡的球形