1、代工厂，也是我们这次国家科技专项联合体之，非常愿意试验并使用我们产品。上海先进半导体制造股份有限公司全球十大芯片代工厂之，最初成立为上海飞利浦半导体公司，年易名为上海先进半导体制造有限公司，年改制为上海先进半导体制造股份有限公司。台积电公司是全球最领先规模最大专业集成电路制造服务公司，年成立于台湾，在大陆有其独资子公司台积电上海有限公司。台联电讯股份有限公司是全球第二大芯片代工厂之，年成立于台湾，仅次于台积电公司。切入市场价格情况以种规格产品举例钽靶目前市场上采购价格是块，我们最低以块切入钽环目前市场上采购价格是件，我们最低以件切入。七安全与环境评价该项目属钽深加工产品，对提升钽加工技术水平，提高资源利用率，加强钽资源开发和综合利用具有很重要作用，同时能够促进下游电子信息等行业技术进步和产业发展。该项目实施可以拓宽产业链，提高产。

2、品车削镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心。成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花热喷涂设备套电弧喷涂机。靶材成品喷涂喷砂设备套吸入式干喷砂。钽环件成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺。精密卷圆机台最大厚度，宽度。环件卷园超声波扫描设备台专用设备靶材焊接质量检验清洗设备台专用设备。环件及靶材成品清洗包装专用轧辊对用于靶材及环件轧制购买设备多为通用设备，也可用于分厂其它产品生产。热等静压机和三座标检测设备现在公司都有，可共用。产品工艺稳定，并有稳定用户后，再进行扩能建设，扩能建设主要补充机加设备和检测设备三坐标仪。实施工艺路线成品钽靶材工艺路线工艺可行性分析，此工艺是经过多次试验最终确定生产工艺，加工产品既通过实验室分析检测织构检测，金相检测，焊接强度检测，焊接结合率检测，尺寸检测，外观检测，也通过最终用户上机测试，工艺先进，在国内属。

3、新增产值期完成后，按照件钽靶材，套环件计算，预计可实现新增产值约万元，二期完成后，按照件钽靶材，套环件计算，预计可实现新增产值约亿元。六市场切入情况目前计划切入市场基本情况中芯国际集成电路制造有限公司靶材约块年，环件约件年，产值约亿。台积电靶材约块年，环件约件年，产值约亿。销售策略利用宁波江丰电子材料有限公司人脉关系，在国内先以低价位切入市场。合作销售商简介宁波江丰电子材料有限公司成立于年，以生产半导体溅射用铝靶材为主，其总经理姚立军博士曾在日本家铝靶材工厂任工厂长职务，回国后曾在公司驻上海公司任职。该公司直希望和我们在钽靶钽环业务上进行合作，将产品推向，和关系较为密切。希望推进国内使用商简介中芯国际集成电路制造有限公司成立于年，是家纯商业性集成电路制造企业，提供微米到纳米以及更先进技术工艺〞和〞芯片代工服务，现成为全球第三大芯。

4、钽环件市场情况钽环件加工工艺已基本成熟，件样品送美国公司进行检测认证。国内送到中芯国际样品等待上机测试。取得专利情况已申请国家发明专利已申请国家发明专利有项磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具，专利申请号磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具，专利申请号磁控溅射环，专利申请号。正在申请发明专利正在申请发明专利有项钽靶材织构控制钽和铜铝钛异种金属扩散焊接溅射钽环件用钽条制备工艺。三建设方案项目规模及主要内容建设规模为钽靶材套年，钽环件套年。主要内容是厂房改造和部分关键设备购买，改造厂房面积约，购买关键设备如表表购买关键设备明细序号设备名称数量工艺要求用途电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。靶焊接及环件焊接数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。焊接后靶材成品车削数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。钽环用钽凸结体成。

5、工艺研究溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后，由于市场原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺研究。取得技术突破钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀钽环件端头滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺，焊接满足标准清洗喷砂工艺，满足美国应用材料公司标准。钽棒和钽条成品钽环件市场情况钽环件加工工艺已基本成熟，件样品送美国公司进行检测认证。国内送到中芯国际样品等待上机测试。取得专利情况已申请国家发明专利已申请国家发明专利有项磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具，专利申请号磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具本环件材料平均成本每套靶材水电汽成本固定成本其中靶材平均价格万元环件平均价格万元靶材材料平均成本万元环件材料平均成本万元每套靶材水电汽成本万元固定成本万元计算结果套盈亏平衡点项目完成后可实现。

6、品附加值，对改善东方有色产业结构和经济结构具有重要作用。本项目生产集中于得压力加工工艺，几乎没有废气产生项目实施过程中产生废水将排入原有废水处理系统，经过系列处理过程达标排放固体废料将进步回收处理，对环境不会造成危害。八项目风险分析本项目实施将使我公司在钽材料加工技术装备得以提升，实现产品优化和升级，有利于系列产品综合质量提高。本项目符合国家产业政策，是国家当前重点鼓励发展产业化项目，附加值高，没有政策风险。项目产品属公司自主研发高新技术产品，技术含量高，且技术已经成熟，没有技术风险。本项目风险主要来自于市场。由于半导体行业特性，般情况他们不会轻易改变供应商，除非出现成本压力政策导向或较强人脉关系。目前我们公司这方面缺乏优势，但我们可以借助江丰电子和常晶公司在这方面优势将我们产品先推到国内半导体企业江丰电子和常晶公司也有利益可图。

7、领先水平。成品钽环件工艺路线成品钽环件工艺路线及所用设备焊接粗加喷砂喷涂检验精加检验清洗封装包装热等静压数控车大三坐标喷砂机车铣热喷涂封装机清洗线洁净室卷圆内外表面滚花划窝焊溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体加工工艺，采用压力成型及精加工工艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差要求。市场情况产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销售。详细销售情况见表，表表年至年月钽条销售表项目时间合计重量销售额万元表年至年月钽环件销售表项目时间合计重量销售额万元高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究，获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件加工工艺。具体取得成果分述如下高性能钽靶材成品。

8、料价格元，废料价格元钽材成本元每件成品靶材铜材重，材料直收率，原料价格元，废料价格元铜材成本元总成本元钽环件每件成品钽环件重，材料直收率，原料价格元，废料价格元钽环件成本元钽环件每件成品钽环件重，材料直收率，原料价格元，废料价格元钽环件成本元表材料成本总表项目规格钽靶材钽靶材钽环件钽环件成本元套设备折旧成本设备投资原值万元，预计净残值率为，预计使用寿命年，第年设备折旧万元厂房折旧成本期厂房投资原值万元，预计净残值率为，预计使用寿命年，第年设备折旧万元人工成本期需要人员人，按每人平均收入元月计算，年成本万元水电汽成本按所有设备到位并正常生产，根据经验每年水电汽成本为万元。每套靶材水电汽成本万元产品预计销售价格目前靶材及环件销售价格和我们预售价格见表表靶材及环件价格表项目规格钽靶材钽靶材钽环件钽环件市场价格万元套预售价格万元套备注预。

9、工工艺研究取得技术突破钽靶材和铜铜背靶扩散焊接技术，焊接结合率大于，结合强度满足要求成品钽靶材机加工艺，产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材清洗工艺。靶材坯料成品靶材市场情况成品钽靶材工艺技术突破后，经多次工艺试验及改进，对靶材进行破坏检测，各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先进材料公司上机测试，测试结果同国外提供钽靶材结果致。现在正在积极推进在其他半导体公司进行上机测试。型钽靶材生产工艺研究取得技术突破型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织型钽靶材拉深工艺型钽靶材机加工艺型钽靶材焊接工艺。靶材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没有应用，我们图纸来源于公司，他们希望我们加工成品提供，由于我们没有关键设备，前期试验都在外协加工，工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品。溅射钽环件生产。

10、靶材及环件原材料均需对外采购，而我们集团具备原料生产能力，从而使得产品致性能够得到充分保接端头滚花喷砂检验清洗封装包装卷圆机数控车大三坐标电子束焊机喷砂机加工中心封装机清洗线钽凸台精加工加工中心数控车小洁净室工艺可行性分析，此工艺是经过多次试验最终确定生产工艺，加工产品通过实验室分析检测焊接检测，金相检测，尺寸检测，外观检测，已送到最终用户等待上机测试。建设工期和进度安排根据国内同类型工程建设实践经验，结合本项目设备制造周期工程设计以及设备施工招投标本地区及企业建设力量和条件，确定涂设备套靶材成品喷涂喷砂设备套钽环件成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺。精密卷圆机台环件卷园超声波扫描设备台靶材焊接质量检验清洗设备台环件及靶材成品清洗包装无尘间及厂房改造靶材及环件清洗封装专用轧辊对用于靶材及环件轧制合计每件成品靶材钽材重，材料直收率，原。

11、售价格是市场价格。盈亏平衡分析正常生产年以生产能力利用率计算盈亏平衡点为，即技术改造项目完成后达到设计能力销售套靶材，套环件即可达到不盈不亏。计算过程如下假设销售套靶材每套靶材包括块靶材和套环件，达到盈亏平衡，列式如下靶材平均价格环件平均价格靶材材料平均溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体加工工艺，采用压力成型及精加工工艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差要求。市场情况产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销售。详细销售情况见表，表表年至年月钽条销售表项目时间合计重量销售额万元表年至年月钽环件销售表项目时间合计重量销售额万元高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研。

12、，然后慢慢培养我们人脉关系。另外，国外公司也是我们个潜在用户。项目主管部门意见签字盖章计划管理部门意见签字盖章主管经理意见签字盖章附件靶材厂房规划平面示意图项目的意义和必要性„„„„„„„„„„„„„„„„„„项目意义„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„项目必要性„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„二项目的技术基础„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„高性能钽靶材和钽环件用坯料制备技术基础„„„„„„„高性能钽靶材和钽环件成品加工技术基础„„„„„„„„取得的专利情议并通过核心电子器件高端通用芯片及基础软件产品和极大规模集成电路制造装备及成套工艺两个国家科技重大专项。中色东方集团已经以项目主承担单位身份，和其他八家企业和大学联合承担完成国家在超高纯大尺寸靶材产业技术开发项目。原材料优势。美国和日本制造企业，其制造。

参考资料：

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[8]（项目申请）钴钼稀有金属产业基地污水处理厂及排污管网项目投资可行性申请报告（存档）（第93页，发表于2022-06-24）

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