1、发挥了良好作用，现已成为硅片加工主流工艺。由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺已不能满足需要，这就为在硅片超精细加工中使用纳米聚晶金刚石微粉提供了契机。由纳米聚晶金刚石微粉制成磨具或研磨剂，可用于各种坚硬材料制品精细加工和抛光，与单晶金刚石微粉相比，其加工效率高表面光洁度高，显示了优异性能。用纳米聚晶金刚石加工芯片在计算机领域以及传统支柱产业如汽车航空工业中有着广泛应用前景。爆炸合成聚晶金刚石已有多年历史，但规模并不大。这是由于其本身存在些未能克服缺目上马初期，主要生产纳米聚晶金刚石，同时伴随着等量纳米单晶金刚石，他们都可作为初级工业材料在生产出稳定产品后逐渐扩充产能，同时开发纳米聚晶金刚石下游产品例如纳米聚晶金刚石抛光液切削刀具开发等为了增加产品种类我们还可以生产立方氮化硼，同样有。

2、，以支付测试费方式解决。粒度检测仪需大量经常使用，其测试结果稳定可靠是本产品与国际接轨，能被国内外重要用户接受关键。生产厂房除分级车间需达到无尘标准外，其它车间无特殊要求，为平房建筑，也可利用现有闲臵房屋，加以适当改造即可。建设周期项目总工期为个月，前期准备阶段为个月，主要工作有可行性研究报告编制及审批环境影响评价编制与审批初步设计编制及审批工程建设为个月，主要工作有施工图设计建筑施工设备定购设备工艺安装调试试生产阶段为个月。具体安排见下表。表工程进度计划表项目时间月可研报告及审批环境影响评价及审批初步设计及审批施工图设计建筑工程施工设备定购设备工艺安装生产调试公用工程每生产万克拉约用水约千吨，用电约万度。按个工作日计，平均每天用水约吨，用电约度化学处理按班小时计，输电功率约需千瓦。部分工序水可以重复利用。第章项目安全与环保项目生产安全。

3、章结论与展望第章项目概述项目名称纳米聚晶金刚石安全高效生产技术项目背景金刚石是世界上最坚硬物质，它有两种形态，种是单晶金刚石，它具有无可比拟硬度，但性脆不耐冲击另种是聚晶金刚石，其外表呈灰黑色，被称作，天然是种名贵聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚韧，冲击韧性可达到单晶金刚石倍，工业使用价值极高。但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少发现困难，价值昂贵，不能满足生产需要。由于以半导体工业为基础微电子产业迅速发展，自年代以来美国公司就看到了硅片精加工中所蕴涵巨大商机和挑战，积极开展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面研究。但单晶金刚石沿解理面脆断形成锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料微电子性能对表面轻度损伤又极端敏感。在这种背景下逐渐发展了另种硅片加工工艺，即化学腐蚀抛光法。这工艺对于小尺寸硅。

4、上马初期，主要生产纳米聚晶金刚石，同时伴随着等量纳米单晶金刚石，他们都可作为初级工业材料在生产出稳定产品后逐渐扩充产能，同时开发纳米聚晶金刚石下游产品例如纳米聚晶金刚石抛光液切削刀具开发等为了增加产品种类我们还可以生产立方氮化硼，同样有客观利润。项目实施内容工艺流程包装分级测试取样清洗提纯处理回收合成组装药柱订购试件制备原辅材料来源及供应渠道本项目不涉及需经国家储委会批准资源。主要原料为国产石墨化学品等，来源充分，价格低廉。所需火工品为常规火工产品，通过定手续可获得充足供应。对水电道路通讯条件无特殊要求。生产设备本生产过程所需主要设备为大容量高速恒温离心机，可以在国内专业生产厂家订购，也可以通过美德法等国在国内代销商联系选购。有关大型检测仪器，如光衍射仪光谱分析仪，各种电镜等，因其价格昂贵不可能购买。拟通过外协。

5、在实施本项目中优势第章项目成熟度核准通过，归档资料。未经允许，请勿外传,技术可靠性产品及性能第章市场需求情况和风险分析产品应用前景硅片加工应用方面碳化硅晶片加工方面巨磁阻磁头加工方面切削加工方面副产品纳米单晶金刚石应用纳米聚晶金刚石主要生产单位情况国外生产情况国内生产情况本项目产品在国内外市场地位超精细加工工艺路线发展趋势给本项目产品带来机遇与国际产品竞争市场预测第章项目投资估算及资金筹措项目投资估算投资规模主要设备概算生产占地生产人员资金筹措方案第章经济和社会效益分析经济效益分析产品成本分析经济效益项目盈亏平衡社会效益第章项目实施方案项目开发计划产能规划和实施步骤产品规划项目实施内容工艺流程原辅材料来源及供应渠道生产设备建设周期公用工程第章项目安全与环保项目生产安全生产安全标准火工品使用资格审批火工品使用与保管项目环保噪声废液和废气第。

6、观利润。项目实施内容工艺流程包装分级测试取样清洗提纯处理回收合成组装药柱订购试件制备原辅材料来源及供应渠道本项目不涉及需经国家储委会批准资源。主要原料为国产石墨化学品等，来源充分，价格低廉。所需火工品为常规火工产品，通过定手续可获得充足供应。对水电道路通讯条件无特殊要求。生产设备本生产过程所需主要设备为大容量高速恒温离心机，可以在国内专业生产厂家订购，也可以通过美德法等国在国内代销商联系选购。有关大型检测仪器，如光衍射仪光谱分析仪，各种电镜等，因其价格昂贵不可能购买。拟通过外协，以支付测试费方式解决。粒度检测仪需大量经常使用，其测试结果稳定可靠是本产品与国际接轨，能被国内外重要用户接受关键。生产厂房除分级车间需达到无尘标准外，其它车间无特殊要求，为平房建筑，也可利用现有闲臵房屋，加以适当改造即可。建设周期项目总。

7、产安全标准本技术中涉及特殊安全生产标准是火工品使用安全。本技术涉及到爆炸生产，必须在密闭反应容器中进行。只要设备度高损伤层浅，最适合应用于高档硅片研磨和抛光。在高新技术产业和传统支柱产业中均有重要应用。特别在集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等产业制品超精细加工中作用尤为重要。建设总体规划目标规模为万克拉年纳米聚晶金刚石生产技术项目，分前后二期建设上马。该项目总投资万元，年产值万元，年税后利润万元，项目达产后投资回收期为年。项目建成并达产后，企业将成为国内最大纳米聚晶金刚石生产企业。院将派出在应用激波法制备纳米聚晶金刚石领域研究多年专家亲自承担项目规划及指导培训本企业员工。本企业技术力量雄厚,现有专业技术人员人，其中正高级工程师人，副高级工程师人，工程师人，助理工程师人。第章技术可行性分析国内外发展现状纳米聚晶金刚石是人造。

8、高速精密和自动化加工，能以车铣代磨，目前已在汽车航天航空精密机械家电木材等行业得到广泛应用。此外纳米金刚石还在众多工业领域得到应用。投资必要性和预期经济效益投资必要性制约我国集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等产业发展最重要因素之就是超精细加工磨料纳米聚晶金刚石产业化生产。而这些行业都是我国乃至世界重要产业领域，伴随这些行业逐年发展，对纳米聚晶金刚石需求必将同步上升。但是国内目前工业化生产纳米聚晶金刚石还存在定问题，无论是国产金刚石还是其制品，质量均属中低档，与发达国家质量水平差别较大。国内高档金刚石只有中非人工晶体研究院保定八达稳德金刚石公司能生产，但产量很低，大量靠进口。可以说，高档金刚石市场基本被进口货所垄断。本项目生产纳米聚晶金刚石高于进口产品品质，完全替代进口和满足国内对高档金刚石需求并且在扩大规模以后可以实现出。

9、金刚石种，由大量纳米金刚石聚集而成，按照纳米聚晶金刚石结构特点，目前国内外有两种途径制备纳米聚晶金刚石。条是利用静压法或者爆轰法生产纳米金刚石，然后通过高压和粘合剂作用下聚合生成聚晶金刚石，这是目前国内常用生产方法另种是利用爆炸法激波法直接生成聚晶金刚石，这是目前国外采用生产方法，国内只有少部分企业掌握该技术。爆轰聚合法用爆轰法合成纳米金刚石微粉，年代始于前苏联科学院有关研究所。其原理是利用炸药爆炸时负氧反应，其中未氧化碳原子凝聚成碳液滴，在爆轰反应高温高压下转变成颗粒为纳米尺度金刚石微粉。该技术为俄罗斯专利。中国科学院兰州化目录第章项目概述项目名称项目背景项目内容项目产品特点及应用领域项目产品特点项目产品应用领域投资必要性和预期经济效益投资必要性预期经济效益本企业实施该项目优势第章技术可行性分析国内外发展现状本项目技术创新性项目承担单。

10、和抛光。在高新技术产业和传统支柱产业中均有重要应用。项目产品应用领域纳米聚晶金刚石广泛应用于集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等产业制品超精细加工中。在集成电路硅片领域，纳米聚晶金刚石微粉用作研磨材料可实现大尺寸集成电路硅圆片表面超精细加工。在太阳能光伏电池方面，降低损伤层厚度是提高太阳能光伏电池光电转化率最关键，也是最难解决问题。采用纳米聚晶金刚石加工硅片，可以降低其表面损伤层厚度，光电转化率则可跨上个台阶。在硬盘存储方面，随着存储密度提高，巨磁阻磁头平整度要求达到，甚至小于。这种由多层硬度迥异材料构成元件，要求达到如此高平整度，其超精细加工难度是当今最高。采用类球状纳米聚晶金刚石加工表面平整度基本达到了要求。在切削道具方面，金刚石以其高硬度高耐磨性高传热而成为理想切削刀具，具有高精高效长寿低耗等优点，适用于有色金属材料。

11、，带动我国芯片太阳能光伏机床刀具等产业发展。预期经济效益本项目技术采用中科院先进技术，具有产率高成本低产品质量好优势。目前国内纳米聚晶金刚石销售价格为元克拉，达产后每年预期产值可达万元。本企业实施该项目优势本企业与中科院相关单位建立了战略合作关系，中科院将派出在应用激波法制备纳米聚晶金刚石领域研究多年专家亲自承担项目规划及指导培训本企业员工。本企业技试生产万克拉。第二年度达到年产万克拉生产能力。投资到位万。第二步目标在到年内，靠自身良性滚动发展，走向壮大。实现年产量由万克拉发展至万克拉加强研究开发能力和技术储备，使公司在纳米超硬材料产业界成为具有国际知名度企业，跻身国际三强。产品规划本套设备主产品为纳米聚晶金刚石，同时还有同等产量高品质纳米单晶金刚石产品。此外本套设备除可生产金刚石产品外还可生产其他硬质耐磨材料，例如立方氮化硼产品等。在。

12、工期为个月，前期准备阶段为个月，主要工作有可行性研究报告编制及审批环境影响评价编制与审批初步设计编制及审批工程建设为个月，主要工作有施工图设计建筑施工设备定购设备工艺安装调试试生产阶段为个月。具体安排见下表。表工程进度计划表项目时间月可研报告及审批环境影响评价及审批初步设计及审批施工图设计建筑工程施工设备定购设备工艺安装生产调试公用工程每生产万克拉约用水约千吨，用电约万度。按个工作日计，平均每天用水约吨，用电约度化学处理按班小时计，输电功率约需千瓦。部分工序水可以重复利用。第章项目安全与环保项目生产安全生产安全标准本技术中涉及特殊安全生产标准是火工品使用安全。本技术涉及到爆炸生产，必须在密闭反应容器中进行。只要设备自动剥落，不断出现新锋利微观刃口，这种性质被称为自锐性。自锐性使得磨削效率高工件表面平整度高损伤层浅，最适合应用于高档硅片研。

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