（批复）电子新材料特种氟化物电子气体项目可研建议报告（发改委）

这状态既不经济，更容易导致部分品种稀缺或过剩。

本公司从年涉足电子气体行业以来，直也在按照这种模式运营。

但目前，本公司已经具备氟化系列产品深度提纯技术，产品纯度已经达到，而国内电解制氟技术已经非常成熟，只要将两者合二为，就可成为全球首个集原料气与高纯气生产体化氟化产业链最为完整电子气体制造商。

项目实施计划项目分两期，两年内分别实施。

同时本公司有多项新产品储备，在几年后也将陆续量产。

第期项目名称计划建设规模吨年电子级高纯四氟化碳电子级高纯六氟化钨电子级高纯六氟化硫电子级高纯八氟丙烷第二期项目名称计划建设规模吨年电子级高纯六氟乙烷电子级高纯五氟化磷电子级高纯三氟化氮公司新产品储备项目等，可在几年后条件成熟时逐步投产。

资源占用土地总占地亩，期用地亩，二期用地亩，发展备用地亩。

厂房含办公和辅助平方米。

用电量双回路供电，期年耗电万千瓦时，二期年总耗电量亿千瓦时。

水主要用于冷却和淋洗，循环使用，消耗量可忽略不计。

劳动力二期各人左右。

投资概算二期总投资亿元，其中土地及厂房基础设施投资万元，设备购置亿元，流动资金投入万元。

其中期投资亿元，土地及厂房基础设施投资万元，设备购置万，投入流动资金万元。

项目建设周期个月主要受取证进度影响。

效益分析详细分析略期项目达产可实现销售收入亿元年，利税万元年二期项目达产后可新增销售收入亿元年，新增利税万元年二期合计可实现销售收入亿元年，利税亿元年由于本项目附加值较高，投资回报率远高于普通工业气体，项目税负率可达左右。

出口创汇能力，每年创汇万元以上。

产品介绍四氟化碳微电子工业中用量最大等离子烛刻气体，广泛应用于硅二氧化硅氮化硅磷硅玻璃及钨薄膜材料烛刻。

在电子器件表面清洗太阳能电池生产激光技术气相绝缘低温制冷泄漏检验剂控制宇宙火箭姿态印刷电路生产中去污剂等方面也大量使用。

全球用量吨以上，国内用量超过吨，年均增长率以上。

目前国内只有少量粗气生产。

六氟化钨应用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺，大规模集成电路中配线材料。

市场需求快速增长，全球平均每年以速度递增。

预计到年，全球需求量达到吨以上。

目前国内无生产，本公司已完成中试，可迅速规模化生产。

电子级高纯六氟化硫产品规格大量用于在电子器件表面清洗，在行业中应用量增长最快。

目标市场，半导体芯片国内年需求吨左右，并有年增长率。

八氟丙烷主要用于半导体清洗工艺，效率高于传统清洗气，是目前英寸以上半导体芯片生产制程必须使用完全无臭氧层破坏和无温室效应刻蚀和清洗材料。

目前国内没有生产，本公物电子气体系列中发展最快用量最大品种之。

目前全球市场规模约为亿元，并保持每年速度增长。

预计年后国内三氟化氮需求将达到吨以上，亚太地区将超过吨。

目前国内只有少量粗气生产。

工艺路线本项目生产电子气体全部是氟化物，氟元素来源于电解制氟。

目前国内制氟技术已经非常成熟，本项目拟采用中温电解制氟技术，可以保证省电高效安全。

通过电解得到单质氟以后，加入其他元素通过与氟合成，可分别得到不同氟化气体，再经过本公司特有国内唯精馏吸附技术，使产品最终达到电子级。

反应式及简明制备工艺如下合成单质碳材与元素氟直接反应工艺合成单质硫与元素氟直接化合工艺合成元素氟直接氟化工合成元素氟直接氟化合成合成钨或钨化物与元素氟直接化合工艺合成两步法工艺合成单质磷与元素氟直接氟化工艺环境影响评价废气整个生产系统密闭，无烟无尘，负。

项目计划项目背景目前国内除只有低纯气或原料气生产以外，其余氟化产品几乎是空白，电分析略期项目达产可实现销售收入亿元年，利税万元年二期项目达产后可新增销售收入亿元年，新增利税万元年二期合计可实现销售收入亿元年，利税亿元年由于本项目附加值较高，投资回报率远高于普通工业气体，项目税负率可达左右。

出口创汇能力，每年创汇万元以上。

产品介绍四氟化碳项目名称电子新材料特种氟化物电子气体项目项目地址满足省级以上开发区，享受优惠电价，物流便捷成本低等选址要求。

具体地址待定投资方宝钢气体有限公司电子材料有限公司共同投资宝钢气体有限公司是宝钢集团有限公司全资子公司。

宝钢集团有限公司总资产多亿元，已连续十年进入美国财富杂志评选世界强榜单，年位列第位。

标普穆迪惠誉三大评级机构给予宝钢全球钢铁企业和中国制造业中最高信用评级。

现有员工万多人，遍布世界各地。

宝钢气体公司是目前全国最大专业气体公司，以空分产品稀有气体和电子气体为主业，年销售额近亿元人名币。

电子材料有限公司是由香港投资全资子公司，注册资金万美元。

公司主要业务为研发生产经营含进出口贸易微电子芯片液晶显示器太阳能电池新能源汽车电池等电子高科技制程所需相关特种电子气体材料。

产品出口美日韩欧洲东南亚国家及我国台湾等电子信息产业发达地区，年销售收入约亿元人民币。

主要合作伙伴有美国德国法国日本等，是国际五大气体公司在华唯供应商。

主要客户有美国韩国三星欧洲半导体公司台积电海力士东芝夏普华虹中芯国际深超半导体等。

电子特气概述电子气体包括载气，电子特气，其中约占电子气体市场，电子级氟化物是电子气体重要分支，约占总额。

年市场需求量为亿元，预计到年达到亿元以上。

是半导体芯片太阳能电池产业重要原材料之，在半导体芯片太阳能电池行业中占有产值比例。

电子气体进入行业技术壁垒很高，在原材料制备提纯包装检验等方面都有极高技术标准。

购买或使用方对质量稳定可追溯性行业标准使用效果等方面要求极为苛刻。

电子气体在国家年产业结构调整指导目录，被列为鼓励类项目第十类石化化工中第项。

项目计划项目背景目前国内除只有低纯气或原料气生产以外，其余氟化产品几乎是空白，电子气体生产更是少之又少。

国内使用电子气体以上依赖进口。

从全球市场看，目前电子气体尤其是氟化电子气体产业技术和产业链处于断裂状态，电子气体前端生产和后端生产是分离。

几乎所有氟化高纯电子气体都是从低纯气厂家购买原料气后再进行净化提纯得来，前端生产与最终市场完全脱节。

这状态既不经济，更容易导致部分品种稀缺或过剩。

本公司从年涉足电子气体行业以来，直也在按照这种模式运营。

但目前，本公司已经具备氟化系列产品深度提纯技术，产品纯度已经达到，而国内电解制氟技术已经非常成熟，只要将两者合二为，就可成为全球首个集原料气与高纯气生产体化氟化产业链最为完整电子气体制造商。

项目实施计划项目分两期，两年内分别实施。

同时本公司有多项新产品储备，在几年后也将陆续量产。

第期项目名称计划建设规模吨年电子级高纯四氟化碳电子级高纯六氟化钨电子级高纯六氟化硫电子级高纯八氟丙烷第二期项目名称计划建设规模吨年电子级高纯六氟乙烷电子级高纯五氟化磷万元年二期项目达产后可新增销售收入亿元年，新增利税万元年二期合计可实现销售收入亿元年，利税亿元年由于本项目附加值较高，投资回报率远高于普通工业气体，项目税负率可达左右。

出口创汇能力，每年创汇万元以上。

产品介绍四氟化碳微电子工业中用量最大等离子烛刻气体，广泛应用于硅二氧化硅氮化硅磷硅玻璃及钨薄膜材料烛刻。

在电子器件表面清洗太阳能电池生产激光技术气相绝缘低温制冷泄漏检验剂控制宇宙火箭姿态印刷电路生产中去污剂等方面也大量使用。

全球用量吨以上，国内用量超过吨，年均增长率以上。

目前国内只有少量粗气生产。

六氟化钨应用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺，大规模集成电路中配线材料。

市场需求快速增长，全球平均每年以速度递增。

预计到年，全球需求量达到吨以上。

目前国内无生产，本公司已完成中试，可迅速规模化生产。

电子级高纯六氟化硫产品规格大量用于在电子器件表面清洗，在行业中应用量增长最快。

目标市场，半导体芯片国内年需求吨左右，并有年增长率。

八氟丙烷主要用于半导体清洗工艺，效率高于传统清洗气，是目前英寸以上半导体芯片生产制程必须使用完全无臭氧层破坏和无温室效应刻蚀和清洗材料。

目前国内没有生产，本公司已完成中试。

六氟乙烷产品规格目标市场目前国内需求吨年左右，全部依赖进口，本公司已完成中试。

五氟化磷太阳能发电及电动汽车所需大功率锂离子电池，系以六氟磷酸锂为电解质主要成分，而是生产六氟磷酸锂主要原料。

目前全球需求量吨左右，每年增长。

三氟化氮是半导体及太阳能电池制造行业大量使用关键刻蚀和清洗材料，是氟化物电子气体系列中发展最快用量资产多亿元，已连续十年进入美国财富杂志评选的世界强榜单，年位列第位后条件成熟时逐步投产。

资源占用土地总占地亩，期用地亩，二期用地亩，发展备用地亩。

厂房含办公和辅助平方米。

用电量双回路供电，期年耗电万千瓦时，二期年总耗电量亿千瓦时。

水主要用于冷却和淋洗，循环使用，消耗量可忽略不计。

劳动力二期各人左右。

主要用于半导体清洗工艺，效率高于传统清洗气，是目前英寸以上半导体芯片生产制程必须使用完全无臭氧层破坏和无温室效应刻蚀和清洗材料。

目前国内没有生产，本公司已完成中试。

六氟乙烷产品规格目标市场目前国内需求吨年左右，全部依赖进口，本公司已完成中试。

五氟化磷太阳能发电及电动汽车所需大功率锂离子电池，系以六氟磷酸锂为电解质主要成分，而是生产六氟磷酸锂主要原料。

目前全球需求量吨左右，每年增长。

三氟化氮是半导体及太阳能电池制造行业大量使用关键刻蚀和清洗材料，是氟化物电子气体系列中发展最快用量最大品种之。

目前全球市场规模约为亿元，并保持每年速度增长。

预计年后国内三氟化氮需求将达到吨以上，亚太地区将超过吨。

目前国内只有少量粗气生产。

工艺路线本项目生产电子气体全部是氟化物，氟元素来源于电解制氟。

目前国内制氟技术已经非常成熟，本项目拟采用中温电解制氟技术，可以保证省电高效安全。

通过电解得到单质氟以后，加入其他元素通过与氟合成，可分别得到不同氟化气体，再经过本公司特有国内唯精馏吸附技术，使产品最终达到电子级。

反应式及简明制备工艺如下合成单质碳材与元素氟直接反应工艺合成单质硫与元素氟直接化合工艺合成元素氟直接氟化工合成元素氟直接氟化合成合成钨或钨化物与元素氟直接化合工艺合成两步法工艺合成单质磷与元素氟直接氟化工艺环境影响评价废气整个生产系统密闭，无烟无尘，负。

项目计划项目背景目前国内除只有低纯气或原料气生产以外，其余氟化产品几乎是空白，电电子级高纯三氟化氮公司新产品储备项目等，可在几年后条件成熟时逐步投产。

资源占用土地总占地亩，期用地亩，