1、“.....将氯硅烷氢气和氯化氢分离。氯硅烷送去三氯氢硅提纯工序氢气返回四氯化硅汽化器，循环用于四氯化硅的氢化氯化氢送去三氯氢硅合成工序。向反应炉夹套通循环热水，移走辐射至炉壁的热量，以维持适宜的炉壁温度。进夹套的热水温度为。出夹套热水经冷却器用循环水冷却至，进入热水槽，然后用泵又循环至反应炉夹套。高纯多晶硅后处理工序高纯多晶硅后处理工序工艺说明在还原炉中的多晶硅棒由平衡吊取出，直接装入加热箱内，用车将加热箱运输到加热工序。同时在此过程中按照国际标准和用户要求对每炉产品进行取样，分析多晶硅的电阻率施主受主杂质含量碳含量寿命及体内金属含量等指标。用升降装置把装有三对多晶硅棒的安装好的容器置入电加热炉内加热，加热到设定温度后，从炉中取出加热的容器，将其放入冷却槽，以便于在硅棒中产生裂纹，然后将容器移至个洁净的空间取出硅棒......”。

2、“.....破碎了的硅块需要进行分选，将石墨头部分人工选出。石墨头进入头尾料处理程序，产品进行表面金属杂质含量分析，如达到国际标准，直接进入装袋称重封装工序如达不到要求，进入清洗工序。清洗分为混合酸腐蚀纯水冲洗浸泡超声清洗和烘干几个步骤。其中混合酸是硝酸和氢氟酸按定比例配制的。烘干后的多晶硅块采用人工装袋称重。包装袋采用双层塑料，内包装袋采用进口塑料袋，外包装袋采用国产塑料袋。产品包装好后，经热合机封口，并由手推车人工推至后处理工序内的产品仓库堆存。每袋公斤或公斤。然后按箱或箱规格，用电瓶叉车送入仓库堆放主要设备说明平衡吊移载系统该机包括气动平衡吊主机，其额定负载能力为供气压力下。形夹持式专用夹具，其可进行角度翻转，并可集成控制手柄。加热破碎装置加热破碎装置采用由俄罗斯设计的加热破碎装置......”。

3、“.....清洗设备清洗设备由四大部分组成清洗机系统，隧道式干燥装置，自动供液配液及自动补酸系统，电气控制系统。清洗机系统由本体上料装置工艺槽阶梯式溢流水洗槽传动系统排风系统机械手运动装置组成。隧道式干燥装置由干燥烘箱传送带及下料工位组成。自动供液配液及自动补酸系统该系统用于将原液按照工艺要求的比例配制好，提供给清洗机并能按照工艺要求进行自动补酸。电气控制系统由和模块控制设备对待处理工件按所设定工艺进行自动清洗，并通过控制传送带的速度以及干燥烘箱的温度，使工件烘干。由清洗机本体发出配液补液信号，通过控制实现自动配液和自动补酸。硅芯制备工序硅芯制备采用德国进口先进的硅芯炉拉制。拉制成的细圆条......”。

4、“.....经清洗处理后待用。本工序配备的主要设备为硅芯焊接的专用氢氧焰焊接机专切丫口的小型金刚石砂轮切磨机硅芯炉高频电源发生器高压变压器，高频振荡器专用塑料风橱配有”塑料排风机不锈钢专用真空干燥箱和不锈钢红外干燥箱。氢气制备及净化车间在电解槽内电解水，分别制得氢气和氧气。出电解槽的氢气和氧气分别用氢气碱液冷却器和氧气碱液冷却器冷却后，气体分别通入到各自的气体分离器，分离出夹带的电解液。用碱液泵从两种气体分离器抽出分离下来的液体，送回电解槽使用。出氢分离器的氢气，送入除氧器。在催化剂的作用下，杂质氧气与氢气反应生成水，从而被除去。氢气氧气分别输往氢冷却器和氧冷却器进步冷却，再经气水分离器分离水后，分别输往氢气氧气干燥单元，用吸附法进行干燥。燥后的氢气，进入氢气贮罐......”。

5、“.....干燥后的氧气，进入氧气贮罐，然后送去装瓶外售。在碱液配制槽内，用蒸汽冷凝水和高浓度的或配制电解液，然后用泵送入电解槽。电解槽中的废电解液每两年抽出来中和次。工艺废料处理车间废料来源本车间主要处理从多晶硅制取车间三氯氢硅合成车间三氯氢硅提纯车间以及质量控制化验室出来的污水和固体废硅渣。本车间有三个工序Ⅰ类废水处理工序Ⅱ类废水处理工序废硅渣处理工序污水和晶硅废物量及成分污水根据其化学成分可分为两类类污水有两种类型的类工艺废水将进行净化三氯氢硅提纯车间尾气净化过程中产生的酸性废水，及三氯氢硅合成车间废气净化过程中产生的碱性废水三氯氢硅提纯车间冲洗精馏塔及晶硅固体废渣处理过程中产生的酸性废水。Ⅱ类污水主要是来自多晶硅制取车间和质量控制化验室的含氟污水，其组分中有氢氟酸硝酸硫酸苛性钾等......”。

6、“.....露点氮气电主要原辅料消耗详见附图四“多晶硅装置总物料平衡图”。自控技术方案简述本项目主要工艺装置由氯氢化合成三氯氢硅精馏多晶硅还原等装置组成。各个工艺装置的主要的工艺参数均送到中央控制室进行集中显示监控操作。对于重要的工艺参数设置声光报警信号......”。

7、“.....由于工艺介质具有易燃易爆腐蚀及毒性等特点，所以还设置了可燃气体和有毒气体监测器，以保证工厂及人身的安全。另外，在中央控制室还安装了工业电视，以便对现场进行实时监控。控制水平该装置的控制拟采用先进的集散控制系统。是以微电子技术为基础开发的控制系统，把显示和操作进行高度集中，不仅节省了控制室的仪表，而且减轻了操作工的劳动强度和以后的维修工作，大大提高了自动化控制水平。根据装置的具体情况，装置工艺操作要求自动化水平很高，大部分生产过程控制操作参数显示均要求集中在控制室进行。针对以上工艺特点及操作要求，本项目对工艺生产装置采用集中控制，对生产装置进行监控，操作，高度集中，强化管理。在车间综合楼设置中央控制室，中央控制室设置带显示器的操作站进行显示和操作。中央控制室的显示器互为备用，旦台操作站出现故障，则可通过其它操作站进行操作和控制......”。

8、“.....分别用来打印报表和报警信息。为保证生产的安全运行，中央控制室为冗余型。空压站制氮站冷冻站循环水系统设置就地控制室，选用常规仪表对工艺参数进行监控。仪表选型现场仪表主要为电动Ⅲ型仪表。变送器以国产仪表为主，对于有特殊材质要求的变送器可选用国外引进的仪表其它类型仪表将根据工艺要求进行选用，如电磁流量计金属管转子流量计和涡街流量计等仪表。液位仪表除了差压变送器以外，浮筒液位计射线液位计也将使用。调节阀拟采用国内生产厂引进国外技术生产的调节阀。该类的调节阀品种和规格比较齐全，具有带波纹管密封和防腐性能特殊的调节阀和用于粉料系统的气动球阀，也可从国外引进。仪表电源及仪表空气仪表用电由各变电所送至各控制室，电压为，。设置不间断电源。持续时间为分钟。仪表用压缩空气气源要求为无尘无油，露点温度应低于，气源压力为......”。

9、“.....各工艺装置针对工艺特点和物料特性选择工艺设备。主要设备选型关键生产设备选型的主要原则是，引进国际先进可靠的设备，确保生产的安全稳定，并降低能耗。如还原炉氢化炉双相可控硅调功器干法回收系统的关键设备等考虑引进国外产品。对于国内从设计制造已完全掌握的其他主要设备，则立足国产以尽可能降低造价......”。