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年生产57000万片高效单晶硅片项目立项申报材料.doc_中文版高速下载 年生产57000万片高效单晶硅片项目立项申报材料.doc_中文版高速下载

格式:word 上传:2022-06-24 21:36:00

《年生产57000万片高效单晶硅片项目立项申报材料.doc_中文版高速下载》修改意见稿

1、“..... 建筑服务系统 空调及采暖系统 单晶厂房生产区硅料处理车间切片厂房综合楼各建筑的辅 助办公室等区域设置空调,温湿度要求为,系统采用新风机 组诱导风机使气流均匀。 通风排烟系统 单晶厂房部分辅助房间硅料处理车间等设置全室通风,通风方式 为机械进风变配电站泵房空压冷冻站设置全室通风,根据房间 不同的风量设置相应的通风机各建筑的辅助办公室等设置卫生通风, 满足卫生要求卫生间设全室通风,各主要生产区设置局部通风系统。 冷冻水系统 在动力厂房内设置低温水冷离心式冷冻机组,使用冷 媒为空调系统冷却水系统等设施提供冷源。 蒸汽及空调热水系统 本项目蒸汽主要为空调系统纯水系统等提供热源。 自来水系统 生活用水人升人天 生产用自来水 仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套,共计万元。 其中进口设备仪器台套......”

2、“.....费用万元。详细各期设备清单如下 表期进口工艺设备仪库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下,选择性价比高的工艺设备。 主要设备和装到多线切片机上,多线切片机进行切片,切 片结束后,从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格,包装入试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台声清洗 成品测试入库 拆炉待炉温冷却后,将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部分......”

3、“..... 测试取样测而与液面分开,长完的晶棒被升至上炉 室冷却段时间后取出,即完成了单晶硅棒的生长过程。 硅棒准备 圆棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样 线锯切片 晶棒粘接 滚磨 准方棒腐蚀或超完细颈和肩部之后,借着拉速与温度的不 断调整,可使晶棒直径误差维持在正负之间,这段直径固定的部分 称为等径部分,单晶硅片取自于等径部分。等径结束后,必须将晶棒的 直径慢慢缩小,直到成尖点,温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中, 然后将籽晶快速向上提升,使长成的籽晶的直径缩小到定的大小,产 生零位错的晶体,这样,长完细颈之后,降低温度与拉速,使得晶体的 直径渐渐增长到所要大小。长除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求,按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化,按控制程序拉制单晶......”

4、“..... 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等技术来源 本项目生产技术为安徽天翊光能有限公司自有技术。 生产工艺 图单晶硅棒生产工艺流程图 选料 清洗 测试 断头尾 拆炉 拉金万元,流动资 金贷款,贷款利率为,其余由安徽天翊光能有限公司自筹。 产品及技术方案 本项目主要考虑高性能的单晶硅生产工艺,最终产品为单晶硅。 单晶硅用于制造太阳电池片生产用的硅片。 公司现金 出资万元含流动资金出资部分,投资公司现金出资万元,承 建公司贷款万元,贷款利率为,其余资金由安徽天翊光能有 限公司自筹......”

5、“.....其中安徽天翊光能有限工具器具费 工程建设其它费用 预备费用 建设期利息 铺底流动资金 合计 表项目总投资估算表 序号项目名称估算投资占投资比 例万元 建筑工程费 设备购置费 设其它费用 预备费用 建设期利息 铺底流动资金 合计 表三期总投资估算表 序号项目名称估算投资占投资比 例万元 建筑工程费 设备购置费 设备安装费 费用 建设期利息 铺底流动资金 合计 表二期总投资估算表 序号项目名称估算投资占投资比 例万元 建筑工程费 设备购置费 设备安装费 工具器具费 工程建设费用 建设期利息 铺底流动资金 合计 表二期总投资估算表 序号项目名称估算投资占投资比......”

6、“.....其中安徽天翊光能有限公司现金 出资万元含流动资金出资部分,投资公司现金出资万元,承 建公司贷款万元,贷款利率为,其余资金由安徽天翊光能有 限公司自筹......”

7、“.....流动资 金贷款,贷款利率为,其余由安徽天翊光能有限公司自筹。 产品及技术方案 本项目主要考虑高性能的单晶硅生产工艺,最终产品为单晶硅。 单晶硅用于制造太阳电池片生产用的硅片。 技术来源 本项目生产技术为安徽天翊光能有限公司自有技术。 生产工艺 图单晶硅棒生产工艺流程图 选料 清洗 测试 断头尾 拆炉 拉晶 配料 装炉 入库 图单晶硅片生产工艺流程图 工艺简介 选料将多晶硅头尾料埚底料按类分选。 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求,按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化,按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后......”

8、“..... 然后将籽晶快速向上提升,使长成的籽晶的直径缩小到定的大小,产 生零位错的晶体,这样,长完细颈之后,降低温度与拉速,使得晶体的 直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后,借着拉速与温度的不 断调整,可使晶棒直径误差维持在正负之间,这段直径固定的部分 称为等径部分,单晶硅片取自于等径部分。等径结束后,必须将晶棒的 直径慢慢缩小,直到成尖点,而与液面分开,长完的晶棒被升至上炉 室冷却段时间后取出,即完成了单晶硅棒的生长过程。 硅棒准备 圆棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样 线锯切片 晶棒粘接 滚磨 准方棒腐蚀或超声清洗 成品测试入库 拆炉待炉温冷却后,将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部分, 并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等......”

9、“..... 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上,多线切片机进行切片,切 片结束后,从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格,包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下,选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套,共计万元。 其中进口设备仪器台套,进口费用万元国产设备仪器 台套,费用万元......”

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