1、电偶参考函数。错误！未找到引用源。在我国，金铂热电偶已被列入热电偶的检定系统框图中，精度与级热电偶相当。薄膜制备工艺研究现状薄膜制备的主要方式是膜技术。厚膜技术和薄膜技术统称为膜技术，两者之间的差异对比，如表格所示。万方数据中国计量学院硕士学位论文表膜制备技术的对比对比内容薄膜技术厚膜技术膜厚工艺间接减法工艺蒸发光刻直接工艺丝网印刷烧结化学剂的使用危化品刻蚀剂显影剂镀液等无须使用化学刻蚀剂或镀液贵金属回收从刻蚀液中回收比较节省，回收方便制备层数般为单层低成本多层工艺电阻值对化学腐蚀敏感苛刻环境和高温电阻稳定工艺持续性高成本单批工艺低成本连续工艺初始投资高，大于万美元低，少于万美元清晰度线条更精细清晰线条清晰度不好引线封装引线键合性好均质材料镀液杂质影响引线键合键合及引线。

2、流计年，大连理工大学采用射频磁控溅射法制备了厚度为的薄膜温度传感器，年，大连理工大学研制了响应时间为的多层式复合薄膜温度传感器，并申请了发明专利项，万方数据中国计量学院硕士学位论文年，北京工业大学为满足燃料电池的微小空间内瞬变大热流的测量要求，制作了边长为厚度为的薄膜瞬态热流计测头，并申请万方数据目次摘要目次图清单附表清万方数据,万方数据万方数据目次摘要目次图清单附表清单绪论课题研究背景和意义国内外研究现状薄膜热电传感器研究现状传感器电极材料研究现状薄膜制备工艺研究现状课题主要研究内容课题研究技术指标课题主要研究内容课题论文组织及结构本章小结热电偶理论及薄膜传感器的设计热电偶工作原理及四大定律热电效应热电偶四个重要定律薄膜传感器方案设计薄膜热电偶结构设计薄膜传感器的版图。

3、产生岛状的不连续区域。所以，电极通常采用印刷法制备。近年来，随着测温需求的不断变化，热电极材料也在不断地更新和补充。，美国材料与试验协会将热电偶分为三类，即标准化热电偶列入标准的热电偶和非标体系热电偶。标准化热电偶包括推荐的及等，其温度热电势关系及允差都有相应的国家标准，并有统的分度表。列入标准的热电偶有热电偶等。非标准化热电偶主要用于特殊场合的测温，般也没有统的分度表，这类热电偶虽然还未正式审批，但通常反映了测温材料研究的国际领先水平，也反映出热电偶材料在应用过程中的更新补充和可持续发展。金铂热电偶属于典型的非标体系热电偶，它具有出色的稳定性和热电均匀性，具有较高的测温精度和较好的稳定性，早在年，就论证了在范围内，金铂热电偶不确定度小于，随后，等人又发表了温标下的金铂。

4、单绪论课题研究背景和意义国内外研究现状薄膜热电传感器研究现状传感器电极材料研究现状薄膜制备工艺研究现状课题主要研究内容课题研究技术指标课题主要研究内容课题论文组织及结构本章小结热电偶理论及薄膜传感器的设计热电偶工作原理及四大定律热电效应热电偶四个重要定律薄膜传感器方案设计薄膜热电偶结构设计薄膜传感器的版图及尺寸设计掩膜的设计材料的选取基板材料热电极材料绝缘保护层材料传感器补偿导线的选择万方数据本章小结制备及工艺研究薄膜制备工艺简介真空蒸镀溅射离子镀技术局限性制膜要求基于电子印刷工艺的薄膜制备方法薄膜热电偶的制备过程及工艺参数主要的印刷前处理工艺薄膜制备设备热电偶传感器的制备工序印后处理工艺及设备制备工艺参数电工业大学利用磁控溅射技术研制了种由对热电偶组成的微型瞬态薄膜热。

5、地，电极材料根据材质不同可以分为贵金属电极材料和廉金属电极材料两种。廉金属电极材料包括我们比较常见的镍铬镍硅铜铁及康铜等，这类电极材料资源充足，价钱低廉，所制备的传感器灵敏度高，但是使用温度和精度都比较低。贵金属电极材料主要指金银和部分铂族金属等，贵金属热电偶物理化学性质稳定使用温度高耐腐蚀，而且大部分的贵金属热电偶测温精度都比较高，但是贵金属材料资源稀缺而且价格不菲。尤其是铂族金属，具有良好的抗氧化和耐蚀性能以及高的熔点，是制作热电偶的良好材料。贵万方数据中国计量学院硕士学位论文金属材料具有优越的化学稳定性和低扩散速度，可用作功能陶瓷厚膜或薄膜的底电极材料，但是采用溅射法制备薄膜时，由于工艺的限制，薄膜厚度很难超过，烧结时能承受的温度也较低，般不高于，在热处理过程中易。

6、受油墨中杂质影响导体非均质膜制备技术中的厚薄膜的概念并不仅限于薄膜厚度的不同，主要是指制造工艺的差异。近年来，随着纳米技术和丝网的精细化技术的发展，两者在微纳米薄膜制备方面的差距正在逐渐的变小，膜制备技术的传统分类有望被打破。厚膜制备工艺般是先用不锈钢丝及尼龙丝等编织成网并绷紧在网框上，将刻有导体或电阻图形的金属箔或称掩膜贴到丝网上，再通过丝网印刷和烧结等工序完成薄膜制备工艺主要是通过真空蒸发溅射电镀等方法完成制备。常用的薄膜制备工艺有射频溅射法对向靶溅射法离子镀膜法以及直流脉冲磁控溅射法等，其中，采用磁控溅射方法制备薄膜热电传感器是近年来的研究热点，磁控溅射法具有沉积速率高薄膜的材料成分致性好，薄膜质量好，稳定性高等特点，其缺点是使用的溅射设备和材料不同，参数也不相同。

7、及尺寸设计掩膜的设计材料的选取基板材料热电极材料绝缘保护层材料传感器补偿导线的选择万方数据本章小结制备及工艺研究薄膜制备工艺简介真空蒸镀溅射离子镀技术局限性制膜要求基于电子印刷工艺的薄膜制备方法薄膜热电偶的制备过程及工艺参数主要的印刷前处理工艺薄膜制备设备热电偶传感器的制备工序印后处理工艺及设备制备工艺参数电工业大学利用磁控溅射技术研制了种由对热电偶组成的微型瞬态薄膜热流计年，大连理工大学采用射频磁控溅射法制备了厚度为的薄膜温度传感器，年，大连理工大学研制了响应时间为的多层式复合薄膜温度传感器，并申请了发明专利项，万方数据中国计量学院硕士学位论文年，北京工业大学为满足燃料电池的微小空间内瞬变大热流的测量要求，制作了边长为厚度为的薄膜瞬态热流计测头，并申请了三项专利年，中。

8、要指标为测温范围厚度精度误差重复性响应时间绝缘电阻Ω。课题主要研究内容热电偶工作机理及重要定律薄膜传感器的结构和材料万方数据中国计量学院硕士学位论文薄膜工艺及制备参数传感器的动静态特性评价。课题论文组织及结构根据研究内容，论文将分为六章进行阐述。第章绪论。主要介绍课题的研究背景和研究意义，通过分析薄膜热电偶传感器在材料和工艺等方面的国内外研究现状，阐述拟制备传感器的技术指标以及主要研究内容第二章传感器的设计方案。分析热电偶的工作原理，对传感器进行结构设计版图设计及掩膜设计，根据设计指标及制备工艺的要求，完成传感器的基片电极绝缘层及引线等材料的选取第三章薄膜制备工艺及制备参数。通过分析现有薄膜制备工艺的特点和弊端，提出将微米尺度电极材料与快速高效的电子印刷技术结合的新型电。

9、院力学所采用真空蒸镀的方法，制备出了薄膜厚度为的夹板式热流薄膜传感器，并将其应用在激波风洞热流速率的测量中。年，成都电子科技大学制备了种用于测量发动机叶片温度的薄膜热电偶传感器中国材料研究学会也研制了厚度为的薄膜热电传感器，用于测量锻模的瞬态温度。国内外部分研究成果，如表格所示。表国内外研究部分成果研究机构厚度材质测温范围应用领域中国科学院发动机壁面瞬变温度大连理工大学内燃机燃烧室壁面瞬态温度的测量大连理工大学高速切削刀片温度沈阳航空发动机研究所航空发动机涡轮叶片中国材料研究学会锻模瞬态温度梅特勒传感器美国宇航局航空航天恶劣环境测温传感器电极材料研究现状根据热电效应原理，将组成热电偶的材料称为热电极，热电极材料的的物理化学性能和热电特性是影响传感器性能指标的关键因素。般。

10、特点。近年来，随着印刷电子研究领域的扩大，采用网版印刷的方法制备其他功能电子器件的报道也逐渐增加，新型网版印刷方法的印制速度已经可以到达，分辨率已经发展到了的水准，利用新型制版技术的网版印刷技术已经可以印刷宽的金属银线甚至完全可以利用新型的纳米浆料印刷纳米级膜厚的薄膜。可以说，无论是从油墨调配还是从印刷工艺来看，网版印刷都是目前印刷电子产业界使用最成熟的生产工艺。课题主要研究内容针对薄膜热电偶材料比较单，制备工艺复杂制备效率低工艺重复性差等问题，本课题提出了基于新的电极材料和新型薄膜制备工艺研制薄膜热电偶传感器的目标，通过对热电偶工作原理热电极材料传感器结构及微米尺度膜厚的薄膜制备工艺的研究，完成研制目标，评价所研制热电偶的性能指标。课题研究技术指标薄膜热电偶传感器的主。

11、子印刷方法，介绍了工艺原理传感器的制备过程及制备的参数第四章对薄膜传感器进行了静态标定，评估了薄膜热电偶传感器的静态特性指标，并且评估了制备工艺的致性第五章热电偶的动态标定方法研究及动态时间常数的测试第六章总结全文的主要内容，针对薄膜热电偶传感器未来的研究重点和研制中存在的问题进行展望。本章小结本章介绍了薄膜热电偶温度传感器对瞬态信号测温领域的重要意义，总结了薄膜热电偶的发展现状及传感器在制备材料和制备工艺等方面的国内外研究现状。在借鉴吸收的基础上，提出基于新型电子印刷工艺制备微米尺度膜厚的薄膜热电偶传感器的目标。万方数据硕士学位论文微米尺度膜厚薄膜热电偶传感器的研制作者邬云晨明校内导师叶树亮教授校外导师陈丹超高级工程师专业领域仪器仪表工程中国计量学院二〇四年三月万方数。

12、二氧化硅绝缘薄膜的溅射是溅射技术中的难点，给直接制作在金属被测物表面类型的薄膜热电偶制备造成很大的困难化合物或合金的溅射难度比较大，容易产生优先溅射现象金属或合金薄膜溅射到非金属薄膜上的难度非常大薄膜组分容易与靶材的组分有偏差万方数据中国计量学院硕士学位论文制作效率低，成本高，工艺重复性差。溅射时，靶材和被沉积物要按照工位精确安装，次只能针对个工位完成种材料的薄膜制备制作时需般要循环进行本底真空抽取及薄膜生长等工艺操作，薄膜制备周期长。厚膜制备工艺中的常用方法是网版印刷技术，该技术是最早用于印刷电子产品的方法，被广泛用于各种传统的电路板薄膜开关电子显示屏板等电子元件的制造中。网版印刷具有设备起点比较低，设备和制版都比较简单适用于多种油墨可适用于不同材质或不同表面的承印物。

参考资料：

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