1、“.....感器的国内外报道。以应变式传感器为例。应变片可分为体型应变片金属箔式应变片扩散型应变片和薄膜应变片，而薄膜应变片则是今后的发展趋势，这主要是由于近年来薄膜工艺发展迅速，除采用真空淀积高频溅射外，还发展了磁控溅射等离子体增强化学汽相淀积金属有机化合物化学汽相淀积分子束外延光技术，这些对传感器的发展起了很大推动作用。如目前常见的溅射型应变计，是采用溅射技术直接在应变体即产生应变的柱梁振动片等弹性体上形成的。响。各种外界因素要影响传感器的精度与各有关性能的。为了减小测量误差，保证其原有性能，就应设法削弱或消除外界因素对传感器的影响。其方法归纳起来有二是减小传感器对影响因素的灵敏度二是降低外界因素对传感器实际作用的烈度。对于电磁干扰，可以采用屏蔽隔离措施，也可用滤波等方法抑制。对于如温度湿度机械振动气压声压辐射甚至气流等，可采用相应的隔离措施......”。

2、“.....可采用相应的隔离措施，如隔热密封隔振等，或者在变换成为电量后对干扰信号进行分离或抑制，减小其影对于电磁干扰，可以采用其方法归纳起来有二是减小传感器对影响因素的灵敏度二是降低外界因素对传感器实际作用的烈度。部分内容简介屏蔽隔离与干扰抑制传感器大都要在现场工作的，现场的条件往往是难以充分预料的，有时是极其恶劣的。各种外界因素要影响传感器的精度与各有关性能的。为了减小测量误差，保证其原有性能，就应设法削弱或消除外界因素对传感器的影响。其方法归纳起来有二是减小传感器对影响因素的灵敏度二是降低外界因素对传感器实际作用的烈度。对于电磁干扰，可以采用屏蔽隔离措施，也可用滤波等方法抑制。对于如温度湿度机械振动气压声压辐射甚至气流等，可采用相应的隔离措施，如隔热密封隔振等，或者在变换成为电量后对干扰信号进行分离或抑制，减小其影响。稳定性处理传感器作为长期测量或反复使用的器件......”。

3、“.....其重要性甚至胜过精度指标，尤其是对那些很难或无法定期鉴定的场合。造成传感器性能不稳定的原因是随着时间的推移和环境条件的变化，构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。为了提高传感器性能的稳定性，应该对材料元器件或传感器整体进行必要的稳定性处理。如结构材料的时效处理冰冷处理永磁材料的时间老化温度老化机械老化及交流稳磁处理，电气元件的老化筛选等。在使用传感器时，若测量要求较高，必要时也应对附加的调整元件，后续电路的关键元器件进行老化处理。传感器的发展趋势传感器的发展就如同其他产品的发展样，不仅取决于专业的技术水平材料的使用，还取决于工艺等很多方面。对于新型工艺的使用在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广，这里主要指与发展新兴传感器联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械加工技术，是近年来随着集成电路工艺发展起来的......”。

4、“.....目前已越来越多地用于传感器领域，例如溅射蒸镀等离子体刻蚀化学气体淀积外延扩散腐蚀光刻等，迄今已有大量采用上述工艺制成的传感器的国内外报道。以应变式传感器为例。应变片可分为体型应变片金属箔式应变片扩散型应变片和薄膜应变片，而薄膜应变片则是今后的发展趋势，这主要是由于近年来薄膜工艺发展迅速，除采用真空淀积高频溅射外，还发展了磁控溅射等离子体增强化学汽相淀积金属有机化合物化学汽相淀积分子束外延光技术，这些对传感器的发展起了很大推动作用。如目前常见的溅射型应变计，是采用溅射技术直接在应变体即产生应变的柱梁振动片等弹性体上形成的。这种应变计厚度很薄，大约为传统的箔式应变计的十分之以下，故又称薄膜应变计。溅射型应变计的主要优点是可靠性好，精度高，容易做成高阻抗的小型应变计，无迟滞和蠕变现象，具有良好的耐热性和冲击性能等。用化学气相淀积法制备薄膜......”。

5、“.....在制备多晶硅微晶硅传感器方面有许多报道。硅杯是力敏元件中非常重要的结构。目前已极少采用机械方法加工硅杯，而改为可控的化学腐蚀方法，如各向异性腐蚀凸角补偿和法等，化学腐蚀方法，可做到工艺稳定，硅杯尺寸很小，膜片均匀度很高，结构从形形双岛发展到梁膜式，性能和生产率都有很大提高。传感器集成化包括两种定义，是同功能的多元件并列化，即将同类型的单个传感元件用集成工艺在同平面上排列起来，排成维的为线性传感器，图象传感器就属于这种情况。集成化的另个定义是多功能体化，即将传感器与放大运算以及温度补偿等环节体化，组装成个器件。目前，各类集成化传感器已有许多系列产品，有些已得到广泛应用。集成化已经成为传感器技术发展的个重要方向。随着集成化技术的发展，各类混合集成和单片集成式压力传感器相继出现，有的已经成为商品。集成化压力传感器有压阻式电容式等类型，其中压阻式集成化传感器发展快应用广......”。

6、“.....有人把个力敏电阻构成的全桥做在硅膜上，就成为个集成化压力传感器。国内在年代就研制出了把压敏电阻电桥电压放大器和温度补偿电路集成在起的单块压力传感器，其性能与国外同类产品相当。由于采用了集成工艺，将压敏部分和集成电路分为几个芯片，然后混合集成为体。提高了输出性能及可靠性，有较强的抗干扰能力，完全消除了二次仪表带来的误差。年代国外就出现了集成温度传感器，它基本上是利用晶体管作为温度敏感元件的集成电路。其性能稳定，使用方便，温度范围在。国内在这方面也有不少进展，例如近年来研制集成热电堆红外传感器等。集成化温度传感器具有远距离测量和抗干扰能力强等优点，具有很大的实用价值。传感器的多功能化也是其发展方向之。所谓多功能化的典型实例，美国大学传感器研究发展中心研制的单片硅多维力传感器可以同时测量个线速度个离心加速度角速度和个角加速度......”。

7、“.....个正确布置在各个悬臂梁上的压阻敏感元件。多功能化不仅可以降低生产成本，减小体积，而且可以有效的提高传感器的稳定性可靠性等性能指标。为同时测量几种不同被测参数，可将几种不同的传感器元件复合在起，作成集成块。例如种温气湿三功能陶瓷传感器已经研制成功。把多个功能不同的传感元件集成在起，除可同时进行多种参数的测量外，还可对这些参数的测量结果进行综合处理和评价，可反映出被测系统的整体状态。由上还可以看出，集成化对固态传感器带来了许多新的机会，同时它也是多功能化的基础。传感器与微处理机相结合，使之不仅具有检测偏转排在第位。霍尔效应的供应商不断改善与度和传感装置的磁结构的能力。的厅技术，例如，是敏感的磁通密度方向平行于的表面。在芯片上保存的是个集成磁选矿厂，产品的传感器部营销经理说，延伸的应用，是你可以想像的霍尔效应传感器，如线性和角度的交差加上操纵杆，甚至完整的三维传感器......”。

8、“.....节省能源是你最有可能想到的目标。无论是家电，电机，效率是非常重要的。公司战略营销总监迈克，该公司整合其霍尔效应电流传感器封装的电感，更换变压器和并联电阻运算放大器。我们感受到磁场的电流流过的电感，但在任何这些霍尔效应电流传感器应用的主要好处之他说。所以你会节省些电源使用霍尔效应电流传感器霍尔效应电流传感器延伸到绿色产业。人们可能不知道屋顶太阳能电池板它是否真的有效，说。电流传感器可用于做出实用的东西，他们实际上生产是有效的，他指出，以谷歌与通用电气相比，其目的是加快对客户和供应商之间的信息流。当然，你真正需要的是精确和快速电流传感器。霍尔效应速度传感器，顾名思义，测试措施对他们的目标转速。例子包括滚筒洗衣机和烘干机等白色家电。然而，他们大多数在汽车应用中，他们测量如车轮的旋转装置，齿轮，转子叶片，曲轴，防抱死制动系统和多种流行的传输速度......”。

9、“.....两个新的线性霍尔传感器，从高度精确的旋转和位置检测出发。和是适合油门和踏板定位，悬架控制，扭矩传感和排档杆位置检测。独特的有温度补偿的特点，而传感器是要补充独特的压力补偿。快板微系统增加了个可编程线性传感器的霍尔效应的演出阵容，目标绝对位置在汽车的各种应用。它提供了两种工作模式正常和低功耗。在的正常比例输出模式功能，而低功率模式，可以减少脱离其内部元件的功率消耗。虽然它作为个区域指标该设备可能会失去些在低功率精度。去年年底，公司宣布，它的可编程线性霍尔效应传感器，以替代其现有的产品。它采用数字技术，但也提供了与现有的线性模拟输出传感器的设计兼容性的条件，用户可以建立自定义校准传感器组件。该公司还解决了发送与的接口。此协议是为在高噪音环境中低成本汽车传感器。虽然类似的，该公司形容为在开始的信号，并在最后个校验的参考校准脉冲检测发送......”。