1、“.....开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究，是制造装备中的重要研究内容之，对促进制造技术的发展而加快我国产业化进程具有重要的意义。.本课题主要讨论问题本课题的主要内容是设计定位平台轴的传动装置和气浮导轨。定位平台计过程可分为总体方案设计，完成原理方案设计和结构方案设计，确定实施方案对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计对引线键合定位平台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计。其中对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计中关键是滚珠丝杠的设计选型校核，电机型号的选型。对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计中关键的是进行气浮垫片的设计。最后完成其他零件的设计，完成装配图及零件的的绘制，保证定位平台的精度和质量，调整方便简捷。......”。

2、“.....消除了导轨的摩擦和磨损，使工作台在方向能满足.的定位精度。缺点支承刚性低，故多用于载荷变化范围不大的设备上。如图.所示图.上导轨方案对比分析与确定综合毕业设计要求，定位平台上需要定位的芯片质量很小，故方案三可满足要求。同时由于导轨形式的确定，可以确定气垫为矩形垫片节流器为环面节流器。如图.所示图.具有亚园形气腔的矩形气垫第三章定位平台气浮导轨的设计空气静压导轨是将具有定压力的空气经过节流器送入导轨的间隙。借助其静压使运动导轨悬浮起来，使两导轨面之间形成层极薄的气膜，且气膜厚度基本保持恒定不变的种纯空气摩擦的滑动导轨。.轴气浮导轨的设计空气静压导轨的工作原理及特点如图.所示，空气静压导轨副是由气垫和承导面组成的。这样的气垫在每个承导面上不少于两个。从气源送来的清洁干燥恒压的空气流经节流器进入气腔并沿封气面向外流出......”。

3、“.....气腔与封气面处气膜的承载能力之和将气垫及与之相连的工作台浮起。工作中承载能力与载荷处于平衡状态，气膜厚度保持不变，从而实现气体摩擦。当载荷变化时，气膜的厚度随载荷增大而减小，气膜方面起承载作用，另方面也起着润滑作用。图.气垫工作原理气垫节流器承导面气腔封气面空气静压导轨气垫的设计计算现已图.所示的长方形静压气垫为例，说明气垫的性能计算的过程。气垫各部分的尺寸，供气孔的位置和数目，以及计算时坐标的设定如图所示。供气孔的节流形式为环面节流，供气孔直径为。图.间隙定的长方形静压气垫确定雷诺方程的具体形式，假设导轨的间隙定，相对运动速度，间隙内的气体是等温流，定长状态，则可采用最简单的雷诺方程式缺点齿轮齿条无自锁，需要外加自锁机构。噪音大，磨损较快。方案对比分析与确定综合课程设计要求，精度为.，最大载荷是，相比同步带和齿轮齿条传动，滚珠丝杠传动更符合精度要求......”。

4、“.....，而同步带传动时会产生弹性变形，具有定的蠕变性。齿轮齿条传动精度和滚轴丝杠精度相当，但是安装较麻烦，安装精度要求高。步进电动机和直流无刷电机相比，步进电动机控制简单，启动稳定，而直流无刷电机控制要求高，成本高，毕业设计要求精度未达到微米级别，空载转速要求为,因此采用低档的步进电动机就能满足要求。综合以上分析，决定选择第种方案。步进电动机提供动力，滚轴丝杠传递动力。图.定位平台结构此数控工作台主要由步进电机丝杠螺母副滚动导轨副工作台轴承座端盖轴承联轴套键垫圈等组成。具体见装配图.空气静压导轨的方案设计确定方案思想空气静压导轨，根据工作台的移动量，载荷量和精度要求的不同，般采用下图所示的结构形式图.闭式平面导轨图.闭式圆柱导轨图......”。

5、“.....适合于超精加工设备和测量起的长导轨。方案二闭式圆导轨优点这种形式导轨的导向零件少，结构简单。缺点零件的精度完全取决于加工设备，运动精度有限。导杆采用两端支撑，随这工作台的移动导杆容易产生挠度。方案三重力封闭式导轨优点这种形式的导轨用工作台的质量和空气静压保持平衡，以维护导轨的固定间隙。其结构较简单，零件的高精度也容易实现。和研究了小孔节流式旋转轴承的气锤现象。研究了静压空气轴承的入口处的低压特性，对经验公式提出了修正方法。和研究了空气轴承表面和节流孔的制造公差分布对承载能力和刚度的影响，确定出使承载能力和刚度变化在以内的制造公差。为克服空气轴承刚度低承载能力差等弱点，等人制造了多节流孔空气轴承。等人设计了微槽轴承，即平面轴承具有浅圆形槽。和应用神经网络的发展成果设计了矩形静压空气轴承，轴承上具有形勾槽......”。

6、“.....和阐述了具有纳米级定位精度的静压空气轴承的设计，讨论了影响静压空气轴承性能的主要参数和制造公差。设计了种新型静压空气轴承，气膜间隙小于，刚度可达到，是般静压空气轴承的倍。和指出混合节流式矩形空气静压止推轴承容易获得较高的刚度，从理论和实验两方面研究了具有混合节流器的静压矩形双面止推轴承的刚度特性。近年来，以石墨等多孔材料为节流器的静压空气轴承被成功应用。实际轴承设计中，需要减小多孔材料的厚度来缩小轴承的体积，但会导致强度降低，特别是当多孔材料的半径较大时，由于材料的变形，空气很难完全通过多孔材料介质。为此，和在多孔材料空气轴承中采用两种供气方法圆环勾槽和小孔供气，以免轴承表面发生变形，通过理论和实验方法得到了这种轴承的静态和动态性能。和利用多孔材料作为节流器制成了几何形状复杂的静压空气轴承，例如球轴承或空气静压丝杠。基于,支承,引线......”。

7、“.....平台,设计,毕业设计,全套,图纸第章绪论.选题背景.选题的目的与意义.本课题主要讨论问题.相关研究情况机械部分相关研究情况气浮部分相关研究情况第二章定位平台总体方案设计.定位平台机械部分方案确定确定方案思想方案对比分析与确定.空气静压导轨的方案设计确定方案思想方案对比分析与确定第三章定位平台气浮导轨的设计.轴气浮导轨的设计空气静压导轨的工作原理及特点空气静压导轨气垫的设计计算.轴气浮轴承的设计第四章定位平台传动部分的设计.定位平台拟采用的研究方案研究方法或措施.定位平台结构设计定位平台轴滚珠丝杠型号的确定定位平台轴滚珠丝杠校核定位平台轴电机的确定定位平台轴滚珠丝杠型号的确定第五章其他辅助零件的选择设计.定位平台轴承的选择.定位平台联轴器的选择第六章检测元件的选择第七章结论参考文献致谢附录第章绪论.选题背景世界近几年高新科学技术迅速发展......”。

8、“.....也是我国国民经济中最具活力的行业。目前，随着我国“中国芯”产业化进程的加快，我国产业正面临着难得的发展机遇和挑战。芯片封装业作为芯片产业的重要环节，直追随者的发展而发展。在封装中引线键合是芯片焊接的最主要形式。引线键合是种利用热压力超生波能量将半导体芯片引脚与电子封装外壳引线或基板上技术布线引脚用金属细丝连接起来的工艺技术。随着技术的进步和相关行业的发展，高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件，决定键合的速度和质量，进而影响芯片的成本与可靠性。随着芯片集成度的不断增大，管教数量迅速增多，引线间距日益减小，定位平台的性能已经成为引线键合工艺的发展瓶颈。由于空气的粘性低，不易发生爬行，振动也好，热稳定性好使用寿命是半永久性的，与液体静压导轨相比，它不污染环境。由于具有这些特点，载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承......”。

9、“.....又有广阔的市场前景。.选题的目的与意义近年来，随着微电子技术计算机技术和通信技术的迅速发展电子产品正迅速朝着便携式小型化发向发展，芯片的集成度不断提高，对封装技术也提出更高的要求，特别是引线键合技术提出了特别高的要求单位体积信息的提高高密度化单位时间处理速度的提高高速化。因此引线键合技术也朝着高度集成化高性能化多引线和细间距化方向发展，高速高精度的需求日益紧迫。为进步提高质量和生产效率，对该类装备的运动精度和运动速度加速度等性能提出了更高的要求，也体现了该类装备向高速高精度发展的趋势。这就要求集成电路的引线键合技术不但发展和改良，需要发展新的引线键合定位平台来促进封装业的发展。因此，发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术，开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究......”。