（图纸+论文）罗茨真空泵的结构设计（全套完整）

格式：RAR 上传：2022-06-25 08:22:58

《（图纸+论文）罗茨真空泵的结构设计（全套完整）》修改意见稿

1、“.....又要把真空设备应用到这个项目的生产过程中去，就定会产生更好地超纯铝箔来。如果真空厂家能积极地参与到这应用领域中去，人们对真空的需求自然会大大加强。今后电子技术领域对真空的需求也会继续有所增长。由于真空是个很纯净的空间，而电子元件的生产工艺也需要纯净，因此真空是制作电子元件的理想环境。如分子束外延，半导体产品多是在真空状态中进行的。搞分子束外延似乎都在以超大规模集成电路为目标。造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚，刚起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场，国内产品除了价格低外，在加工制造技术水平质量状况等各方面不含有优势，国外各国的产品经过几年的较量，已经基本瓜分了国内市场，并且站稳了脚，国内的干式真空泵生产由于失去了市场的激励，没有了发展的动力，进步缓慢。业内专家致认为干式真空泵是真空获得设备发展的方向，也是真空获得手段的“尖端”技术，我国的真空泵产业必须在此领域有所作为，首先进入食品化工医药等行业。经过这些市场的培育和锻炼，进而打入半导体行业。才能使整个行业与时俱进的发展......”。

2、“.....如低温分子泵复合分子泵等，逐渐扩展市场。引进国外先进技术，提升我国产品的科技含量在其他行业有成功的经验。在发展真空获得设备的高端产品中引进国外技术，并很好的消化吸收，将宅誉速改变我国产品技术含量低质量和技术水平不能满足市场需求的现状。但苎引进国外技术，应特别注意两点是重在消化吸收，在此基础上培育企业的自主知识产权和创新能力。二是不要重复盲目引进，要瞄准国际上当代最新技术，避免引进代，落后代。引进国外技术不是目的，而是手段，通过引进技术最终打造国产自主品牌。传统的真空设备我们生产了几十年，在全国范围内形成了产品分布的稳定格局。但是随着经济的高速发展，信息技术航空航天纳米科学等高科技弓导了当今科学技术发展的潮流。而这些高新技术的发展离不开真空获得设备这个基础装备。目前国内的状况是真空泵生产企业仍然以生产传统产品为主在传统应用领域占领以上的市场份额。在高科技领域，国内产品在技术水平和质量上不能满足要求，以上市场份额由国外产品占领。国内真空获得产品与高新技术的发展严重脱节，产品结构不尽合理。多数企业期望只靠已有的老产品，不断增加产量而逐年增加利润......”。

3、“.....在今天的国内外市场格局面前，尽快调整产品结构，使其适应市场需求才是最明智的选择。产品结构的调整是要不断推出市场需要的对路产品，对真空泵市场来说，就是要加快各种干式泵分子泵以及其他高端产品的研制生产，尽快形成批量。二是全行业要形成高中低端产品的合理布局，并随着市场的变化，不断调整，始终保持比较合理的产品结构状态。尽管年真空行业取得了令人瞩目的成绩，但目前的真空泵技术发展状况却并不乐观。全行业要认真分析形势，总结经验教训，团结致，为行业的发展和技术进步开出条道路，为我国的经济建设做出全行业应有的贡献。.对真空技术未来发展的期望对未来真空技术的期望，首先希望厂家能研制出方便耐用的设备，朝着用户与厂家相互满足的方向努力。操作要方便，要缩短运转时间或生产周期。因为花费在抽真空上的时间非常长，所以要加以解决。真空装置和仪表要高级化，提高设备的寿命和精度。罗茨真空泵多级爪式真空泵螺杆式真空泵涡旋式真空泵往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从，抽速从。据统计，目前国产干泵的应用还不足......”。

4、“.....其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。.真空泵技术进展趋势技术发展的原动力在于市场的需求。由于真空技术领域的扩展和迅速成长的高新技术，国内真空泵市场对真空泵的技术水平提出了更高的要求。真空泵的生产企业必须通过技术创新和产品结构的调整两个途径来保住原有市场，进而继续扩大市场占有率。提高真空泵的可靠性，降低振动噪声，注重真空泵的综合水平。过去的若干年，生产厂注重真空泵的主要性能指标，比如，极限压力抽速等，而忽视真空泵的综合性能。而现在，产品的可靠性性能的稳定性以及对环境不造成污染逐渐成为用户购买产品时考虑的主要因素。对于旋片泵罗茨泵滑阀泵等而言要将成熟的可靠性设计理念运用到真空泵的设计中，在可靠性设计可靠性实验等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠性稳定性和寿命，保证真空泵能够在各种工况下长期可靠的运行。同时通过采用新技术新材料新工艺新结构来降低振动噪声，解决泵的喷油漏油问题，还用户个清洁环保的工作环境。企业面对的永远是变化的市场，而我们的真空泵产品却千篇律的雷同。产品和市场的不衔接......”。

5、“.....真空泵的下步发展应该面向个性化和多样化。所谓个性化和多样化就是针对不同用户的不同需求，设计针对用户的特定场合的产品，使产品在这场合应用，其特性的发挥恰倒好处。尽快形成分子泵和干泵的规模生产。根据预测，到年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场，总需求量约亿块，达到亿美元以上的总金额，需要建多条大生产线才能满足需求。条生产线所需干式真空泵大约台，是目前我国真空泵年产量的左右。国内目前真空获得设备仍然以传统的真空泵为主，主要为旋片真空泵滑阀真空泵罗茨真空泵蒸汽流泵水环真空泵等，且全部用于传统产业，我国生产的真空泵用于电子信息产业不足，与日本欧美等国相比差距巨大。我国干式真空泵的生产处于刚刚起步阶段，在全国多家生产真空泵的企业中，能够生产干式真空泵的企业不足家，年产量不足台。没有形成批量生产。目前国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学医药等领域，用于半导体行业的很少。国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展，而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。目前国内建成的半导体集成电路生产线......”。

6、“.....主要来自英国日本德国美国等。国内生产的干式真空泵进入该领域十分艰难，使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。日本资料报道于年时其价格为日元瓦，所以应用范围有限。如能在太阳能电池的主体材料上加以研究和改进，降低太阳能电池的成本，改进制作太阳电池生产的工艺，这种技术是会得到进步发展的。如日本曾在对的个人住宅，集体住宅，学校用装置，工厂用装置以及集中的大容量装置等进行了研究。这些装置的大部分电力，最终将联接到电力系统上去，同现有发电厂组合运行，向形成综合电力调配系统方向发展。非晶硅太阳电池的制造，如辉光放电分解法，反应溅射法，真空蒸发法等，多采用真空技术。辉光放电分解法将被稀释的氢和氩等加入到硅烷等低压气体中引起辉光放电，在等离子区分解硅烷，可使非晶硅堆积在低温基板上。另种是反应溅射法把结晶硅作为阴极，在托非活性气体中，加上高压使其放电。因放电产生正离子轰击阴极，阴极材料就被溅射出来。如果在阴极附近安置块低温基板，基板上将堆积起非晶硅膜。太阳电池不仅要求高效廉价和大面积等特点......”。

7、“.....非晶硅的优点很多，能在玻璃不锈钢塑料等基板上作成大面积廉价的薄膜比结晶硅光吸收系数大，能带宽度比结晶硅宽。核聚变是人类未来的可靠能源，它的实现是全世界人们的愿望。目前，世界上最先进的磁场封闭式托卡马克型核聚变装置，很多国家都在开发研制。美国正在研制型，欧洲共同体制作型，俄罗斯研制型，日本研制型的托卡马克型核聚变装置。大型聚变装置的建造和运行，大大推动了高新技术的开发，特别是真空技术低温技术磁体技术大功率脉冲电源技术和射频加热技术以及遥控处理技术等。核聚变装置的真空室用来长时间包容高温等离子体。例如欧洲联合环真空室是个全焊接的双层壁结构的环型容器。总容积为，焊缝总长达。这种真空室漏气率很低，在室温和时要满足余年渗入真空室升气体的极微小的漏率。可控聚变装置用的高真空泵采用涡轮分子泵和低温泵，前者用于检漏，后者则用于抽排聚变反应废气的主泵。工作于.的具有活性炭吸附剂的低温泵，所吸留的废气中，除了氘氚核反应产物氦灰外，还有大量未能参与核反应的氘和氚。把回收后的氘和氚再注入到大环真空室中，把除氚外的杂质气体按环保要求排放出去。这种装置的研究......”。

8、“.....人类有望在世纪中期建成氘氚核聚变示范电站，最终目标是提供市场销售用电的核聚变发电站，为世纪的新能源和经济发展做出应有的贡献。等离子体科学技术和真空科学技术将会得到协同发展，并将为探索宇宙结构和物质起源等重大基础科学研究中起着重要的作用。.真空泵市场各类泵设备发展现状真空泵是个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。绪论真空泵的分类真空泵利用机械物理化学物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备如真空容器真空阀真空测量仪表连接管路等组成真空系统，广泛应用于电子冶金化工食品机械医药航天等部门。按真空泵工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括液环真空泵往复真空泵旋片真空泵定片真空泵滑阀真空泵余摆线真空泵干式真空泵罗茨真空泵分子真空泵牵引真空泵复合式真空泵水喷射真空泵气体喷射泵蒸汽喷射泵扩散泵等气体捕集泵包括吸附泵和低温泵等......”。

9、“.....广泛用于食品纺织医药化工的行业的真空蒸发浓缩浸渍干燥的工艺过程中。该泵具有真空度高结构简单使用方便工作可靠维护方便的特点。型旋片式真空泵具有结构紧凑体积小重量轻噪音低振动小等优点。它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如质谱仪器冰箱流水线真空冷冻干燥机等。型旋片式真空泵可以在任意入口压强下工作，已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送真空夹具以及真空吸引等。系列水环式真空泵主要用于粗真空抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其他无无腐蚀不溶于水含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体允许混有少量液体。它广泛应用于机械医药食品石油化工等行业中。罗茨真空泵是种旋转式变容真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸气不敏感广泛用于冶金化工食品电子镀膜等行业。本次设计的罗茨真空泵是根据我国的实际生产情况以及现有的技术水平，综合国内外同类产品的优点，本着高效率，低成本的原则，自行设计的......”。