会产生很多的废水和其他的排放物，处理排出废物的投资也很昂贵。干泵的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵爪型泵祸旋泵往复活塞泵螺旋泵等表是几种典型的干泵性能的比较毕业设计论文表几种典型的干泵性能的比较泵型般级数单级压缩比极限压力备注大气端真空端罗茨泵易发热，需冷却爪形加工装配有难度活塞型怕抽带颗粒的气体涡旋型间隙小难装调螺旋型间隙小转速高旋片型怕抽带颗粒的气体螺杆型加工比较困难涡轮型多级串联转速高螺杆式干式真空泵特点如下可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。操作维护方便。动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。尽管螺杆型干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内些公司正在使用的螺杆型干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。螺杆干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回毕业设计论文收气已申请学位或其他用途使用过的成果。与我同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了致谢。毕业设计论文与资料若有不实之处，本人承担切相关责任。毕业设计论文作者签名指导教师签名日期本科毕业设计论文题目单头螺杆型干式真空泵的建模与仿真系别机电信息系专业机械设计制造及其自动化班级姓名学号导师年月日单头螺杆干式真空泵的建模与仿真摘要本文的研究对象，螺杆型干式真空泵，吸入腔没有任何工作液，保证了空间用泵无污染没有油蒸汽排放，保证清洁的外部环境。由于转子齿面之间有间隙，因而可以抽除含有灰尘或腐蚀性的有毒气体。本课题主要集中在以下几个方面基本原理的干式螺杆真空泵，阴阳转子螺杆型线的研究，螺旋型面线是单边等螺距型线，演绎数学的计算，建立几何模型面型线方程推导，然后螺旋齿面方程推导。几何特征研究等。设计完成后应用软件做运动仿真对真空泵转子做三维建模，并且模拟转子运动展示其工作过程关键词干式螺杆真空泵转子型线三维建模运动仿真可避免的随同排出的气体起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子化学冶金医疗核聚变领域以及宇航新材料的开发等技术领域都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类湿式泵，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有干式要求的，又不得不采用繁琐的物理化学吸附，冷凝低温手段，从而使成本变得极其昂贵。如膜式泵，真空度不高，抽速小吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排入大气和高真空机绍相连接的泵类各有其缺憾，因此导致了干式泵不适宜大工业的应用。螺杆型干式真空泵的概述螺杆型干式真空泵的概述课题背景及研究意义干式螺杆真空泵是干式泵家族中的员。所谓干式真空泵，般认为是能在大气压到的压力范围内工作在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵，也称无油真空泵。干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。总的来说是两种不同的需求推动开发出两种类型的干泵。类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统的要求大体分为三个等级。清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物有毒甚至致癌及固体颗粒物。另类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体目录绪论螺杆型干式真空泵的概述课题背景及研究意义螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向论文包括的主要内容论文的组织结构螺杆干式真空泵转子型线的研究常见转子型线比较单头等螺距矩形螺纹转子型线转子型线要素转子型线设计原则转子螺旋齿面方程螺杆干式真空泵工作原理吸气过程压缩过程排气过程螺杆干式真空泵设计计算螺杆基本尺寸排气量理论排气量实际排气量进排气孔口轴向进气口轴向排气口极限真空度功率及冷却水量轴的强度计算同步齿轮的设计计算齿轮尺寸计算齿轮强度校核单头螺杆干式真空泵的应用应用范围抽气原理与结构三维建模与运动仿真介绍转子三维建模转子运动仿真结论参考文献致谢绪论绪论年德国人沃尔夫岗盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液润滑剂密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说世纪是有油真空泵的世纪，那么世纪将是干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不泵罗茨泵分子泵等的前级泵，供电子仪器医疗仪器等配套和实验研究应用。由于直联泵没有皮带摩擦的粉尘的污染，体积小重量轻材料节约功能日趋完善，更被广泛推广应用。抽气原理与结构旋片泵，它有偏心地装在定子腔内的转子及转子槽内的两个或数个旋片，转子与泵壳内表面或相切或相交，转子带动旋片旋转时，旋片借离心力有的还有弹簧力紧贴缸壁，把进排气口分割开来，并使进气腔容器周期性扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体，借气体和油的压力推开排气阀排气，从而获得真空。见图。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，般大中型泵，二级可同时排气，进气压力低时，气体由高级排人低级，然后再排出泵外。由于泵是利用吸气容积的变化来抽吸气体的，其名义抽速可按吸气的几何容积来设计计算。三维建模与运动仿真三维建模与运动仿真介绍软件是世界上第个基于开发的三维系统，由于技术创新符合技术的发展潮流和趋势，公司于两年间成为产业中获利最高的公司。良好的财务状况和用户支持使得每年都有数十乃至数百项的技术创新，公司也获得了很多荣誉。该系统在年获得全球微机平台系统评比第名从年至今，已经累计获得十七项国际大奖，其中仅从年起，美国权威的专业杂志连续年授予最佳编辑奖，以表彰的创新活力和简明。至此，所遵循的易用稳定和创新三大原则得到了全面的落实和证明，使用它，设计师大大的缩短了设计时间，产品快速高效地投向了市场。软件功能强大，组件繁多。功能强大易学易用和技术创新是的三大特点，使得成为领先的主流的三维解决方案。能够提供不同的设计方案减少设计过程中的以及提高产品质量。不仅提供如此强大的功能，同时对每个工程师和设计者来说，操作简单方便易学易用。对于熟悉微软的系统的用户，基周宝洪干式螺杆真空泵的螺杆设计与计算，真空，年月第期，刘春姐等干式螺杆真空泵接触线长度的计算刘春姐等干式螺杆真空泵转子温度场的有限元分析徐成海等活塞式和螺杆式无油真空泵刘春姐等几种干式螺杆真空泵转子型线特性的研究，真空与低温张世伟等螺杆真空泵单头变螺距螺杆转子型线的研究，真空，刘春姐等种新型干式螺杆真空泵转子端面型线的研究张世伟等种新型无油螺杆真空泵单头变螺距转子型线的研究高振榕译螺杆压缩机手册，机械工业出版社，吴保志螺杆式制冷压缩机，机械工业出版社，机械工程手册机械工业出版社，机械设计基础合肥工业大学出版社，机械设计课程设计合肥工业大学出版社，谌乾坤干式真空泵的优化选择集成电路应用致谢致谢在本次毕业设计过程中，导师彭润师给予我大量的关心和帮助，在他的身上我学会了很多东西，彭老师认真负责的工作态度，每周都会按时检查我们的毕业设计，耐心给我们解决疑难和，同时又严格要求我们独立完成毕业设计。彭老师认真负责的工作态度，严谨的治学精神和深厚的理论水平都使我收益匪浅，这对于我以后学习工作会有很大的影响。感谢彭老师对我的帮助和指导。同时还要感谢同班同学对我的无私帮助，在这四年里他们在学习和生活中给了我无尽的关怀和支持，是我生中最重要的朋友。向参与本论文评审和答辩的各位专家和老师表示深深的谢意，同时也希望您们多提宝贵意见，不吝赐教。毕业设计论文独创性声明毕业设计论文独创性声明秉承学校严谨的学风与优良的科学道德，本人声明所呈交的毕业设计论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，毕业设计论文中不包含其他人已经发表或撰写过的成果，不包含他人上就可以用来搞设计了。独有的拖拽功能使用户在比较短的时间内完成大型装配设计。资源管理器是同资源管理器样的文件管理器，用它可以方便地管理文件。使，用户能在比较短的时间内完成更多的工作，能够更快地将高质量的产品投放市场。毕业设计论文转子三