1、的晶片切割损伤层及改善晶片的平坦度倒角将晶片边缘修整成圆弧状，改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成缺陷抛光改善晶片粗糙度，使其表面达到外延片磊晶级的精度清洗清除晶片表面的污染物如微尘颗粒，金属，有机玷污物等品检以高精密检测仪器检验晶片品质平坦度，粗糙度，半峰宽，表面微尘颗粒等，以合乎客户要求。蓝宝石的硬度非常高，在自然材料中其硬度莫氏硬度仅次于金刚石，但是在器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割从减到左右，因而对减薄和切割工艺的设备要求很高。主要工艺设备选择初步按照年产万片蓝宝石衬底片之规模设计，各工序产能计算产能计算原则以晶棒可生产片衬底片如下长晶。使用英寸设备，晶体生长周期为天辅助时间为天，理论上每月。
2、的相互干扰，但工序之间产品运输路径要最短，平面物流往返不交叉。厂房要向阳背风避烟气防灰尘。仓库区。本项目仓库区分生产用原辅料仓库和成品仓库，原料仓库布置在材料入口附近，成品仓库布置在产品出口处，成品仓库要求干净通风。生产区。本项目生产区分长晶区切割区研磨区抛光区清洗区品质检验区包装区。长晶区同排设备间隔设计为米可能有点窄，最多放宽至米，两排设备之间要留有米的物料运输及人行通道。长晶炉的基础必须做减震设计。切割区与长晶区相邻而建，中间设置有物流门的隔离墙。研磨抛光清洗品质检验区包装区设在二楼，以物料运输距离最小化原则研磨区在切割区上方，两区物料通过电梯运输抛光清洗品质检验区包装区均要设在洁净厂房内洁净度应为级。动。
3、污染源有长晶炉热源研磨抛光设备噪音源冷却液研磨膏清洗水产生废液源酸性污水源等污染物有蓝宝石固体粉末，硫酸液，氨水，双氧水等。主要污染源施工期间的污染源施工期的大气污染影响主要为地面扬尘污染，扬尘污染来源于建筑材料如水泥白灰砂子等在其装卸运输堆放等过程中，因风力作用而产生的扬尘污染开挖土石方产生的扬尘运输车辆往来造成地面扬尘施工垃圾在其堆放过程和清运过程中产生扬尘。施工期噪声主要来自于开挖土石方时产生的机械噪声。建设过程产生的固体废物。营运期的污染源本项目生产中产生的废水，噪声主要是机泵和各种鼓风机等设备运行时产生的噪声及固体废物蓝宝石粉末及碎渣。主要污染物生产期间，废水主要是去离子水制备系统产生的废水清洗废水生。
4、储按照每天个生产周期计算安全库存，主要原料按照投入生产批，库存批的原则采购和备料。原料名称仓储方式氧化铝防潮防水金刚石线桶装碳化硼磨料桶装，防潮金刚石磨料桶装，防潮抛光液桶装硫酸灌装，防泄漏双氧水灌装，防泄漏氨水灌装，防泄漏液体蜡桶装占地面积及分析初步计划占地平方米亩，其中厂房加办公室集中在个三层建筑内，建筑面积为平米。土建工程主要建筑构筑物的建筑特征与结构设计生产办公体建筑为三层钢筋混凝土结构，其中研磨抛光清洗车间需作洁净厂房。特殊基础工程设计台长晶炉底座线切割机研磨抛光设备基础需做减震设计。其他工程给排水工程给水系统自来水项目给水由市政自来水系统提供。纯水制备纯水系统设置在清洗车间附近，纯水系统需要请专业公。
5、长于般蓝宝石基板的相比，亮度增加了以上。目前台湾生产图案化蓝宝石的厂家有中美矽晶合晶兆晶，兆达。蓝宝石基板中和英寸是成熟产品，而大尺寸如和英寸的普通蓝宝石基板与英寸图案化蓝宝石基板还处于成长期，生产商主推大尺寸与图案化蓝宝石基板，同时也积极增加产能。目前中国大陆还没有厂家能生产出图案化蓝宝石基板。图表纳米图案化蓝宝石基板图蓝宝石基片的原材料是晶棒，晶棒由蓝宝石晶体加工而成。整个蓝宝石衬底的生产是采用机械加工，主要工艺如下详细工艺流程在下节中描述蓝宝石晶体晶棒衬底生产加工衬底时，由于蓝宝石具有很高的硬度，所以加工设备的选择将会对产品品质有直接影响，这些加工设备包括切割设备研磨设备抛光设备等等。技术参数和工艺流程蓝。
6、区。本项目的动力设施就是变电站，变电站要接近生产区，减少由于线路铺设距离长所带来的额外电力损耗。本项目对供电可靠性要求极高，设备运行期间绝对不可断电而且电压必须稳定，所以必须建设双路甚至三路电子供应系统，并配置稳压设备和设施。给水区。供水系统包括蓄水池水泵房去离子水处理设施循环水系统冷却塔沉淀池及必要的废水处理系统。水源比需保持清洁通风和具备防尘保护。辅助生产区。包括机修及五金件制作场，钳工电工工作室等，以就近生产车间为原则设置。厂内外运输方案原料运输采用电动叉车手动叉车手推平板运输车运输。车间之间半成品通过手推平板车运输人工装卸。和洁净车间之间的物品交换通过物流窗和物流通道进行，人工转运。仓储方案主要原辅料的。
7、生产个晶锭，每个晶锭重，考虑到生产准备时间，对理论产量乘上折算系数，每年单炉可产，台长晶炉每年产量为。根据俄罗斯设备供应商提供的数据，晶锭到晶棒的工艺出品率为，对应英寸晶棒长，回用材料，耗损，按英寸直径计算，单位重量的晶锭所能产出的晶棒出棒率为由此推算，台长晶炉每年可生产英寸晶棒万毫米切割。切割按产生片衬底计算，即可生产万片切割片。需配置单机月产能为万片的切割机台。研磨到抛光成品率为，考虑到实际情况可能会有破片现象发生，处于谨慎原则，按照的成品率计算，年产成品万片。满足上述工艺要求的主要设备配置如下图表主要设备配置表序号设备名称参考型号数量币种不含税单价元总价元含税总价元氧化铝烧结炉长晶炉单晶定向仪钻床外圆磨床。
8、控立式铣床切片机退火炉双面研磨机装夹机单面研磨机抛光机软抛倒角机酸清洗机全自动碱清洗机单槽清洗机双槽清洗机三槽清洗机纯水设备表面扫描仪晶相检测仪平坦度检测仪设备合计注以上设备中的检测设备是估算的价格，具体价格还有待以后向厂家详细询价汇率美元元人民币，日元元人民币另外，引进俄罗斯的长晶炉需要支付工艺技术和技术支持个月费用，总计约万美元。设备引进或购买可分三批进行第批，购置长晶炉及定向设备，经个月的安装和调试具备可生产合格的晶体后，开始第二批设备引进工作第二批，引入切割设备，利用前期调试长晶炉的晶棒调试切割设备至可生产出合格的蓝宝石毛坯片后再开始第三批设备引进工作第三批，引入研磨抛光设备，形成可出售给外延片厂家直接。
9、半导体均成长在蓝宝石基板上，若把这类化合物成长于或上，可使产生的内建电场平行于磊晶层，以增加电子电洞对复合的机率。因此，以氮化物磊晶薄膜为主的结构成长在或蓝宝石基板上，相对于传统的面蓝宝石磊晶，将可有效解决内部量子效率低下之问题，并增加元件的发光强度。由于无极性具有比传统轴更具有潜力来制作高效率元件。图案化蓝宝石基板简称以成长或蚀刻的方式，在蓝宝石基板上设计制作出纳米级特定规则的微结构图案藉以控制之输出光形式蓝宝石基板上的凹凸图案会产生光散射或折射的效果增加光的取出率，同时薄膜成长于图案化蓝宝石基板上会产生横向磊晶的效果，减少生长在蓝宝石基板上之间的差排缺陷，改善磊晶质量，并提升内部量子效率增加光萃取效率。与成。
10、石衬底基片生产工艺如果要提供图形基片，则还需在清洗工序之后再加上等离子刻蚀或化学刻蚀工艺。蓝宝石晶棒制造工艺流程烧结氧化铝原料长晶定向掏棒滚圆切定位面定向多线切割双面研磨倒角单面研磨粗抛精抛晶棒晶棒清洗检测包装入库长晶利用长晶炉生长尺寸大且高品质的单晶蓝宝石晶体定向确保蓝宝石晶体在掏棒机台上的正确位置，便于掏棒加工掏棒以特定方式从蓝宝石晶体中掏取出蓝宝石晶棒滚磨用外圆磨床进行晶棒的外圆磨削，得到精确的外圆尺寸精度品检确保晶棒品质以及掏取后的晶棒尺寸与晶向符合客户要求蓝宝石基片制造工艺流程机械加工机械加工晶棒基板定向在切片机上准确定位蓝宝石晶棒的位置，以便精准切片加工切片将蓝宝石晶棒切成薄薄的晶片研磨去除切片时造。
11、根据项目要求设计。排水系统项目生活污水经化粪池处理后排入市政污水管网后进入污水处理厂。生产过程中产生的工业废水经废水处理达标后排入市政排水管道。本项目几乎不产能有害废水。动力及公用工程供电项目供电由市政提供，需配置至少两路供电系统。通风晶体生长生产采用机械通风方式。晶片加工生产线在二楼，单独建设个排气和空气净化系统。第六章环境保护与职业安全本章相关内容将由建设工程设计单位在设计方案中提供环境影响报告职业健康报告等资料，并将委托具有资质单位编制建设项目环境影响评价报告职业危害及劳动卫生评价报告。下面对污染物和污染处理措施做简单描述。项目主要污染源和污染物本项目对环境可能造成的影响主要分为施工期影响与营运期影响。主。
12、用的衬底片，接着再行建设图形刻蚀片产能。主要生产车间布置方案初步考虑将生产车间和办公楼整合成为个体三层建筑，楼为长晶和切割车间，二楼为研磨抛光清洗包装车间从抛光工段开始需要建设级洁净车间，原料仓及成品库分设在楼的两侧，三楼为办公楼。另外可将质量检验及生产管理办公室设置在楼。如果抛光工序对基础减震要求高，必须将设备安装在楼的话，上述方案将相应调整为生产全工序均放置在楼，二楼用于办公，三楼就可不建。总平面布置和运输总平面布置原则本项目生产生活设施的布置按照有利生产方便生活保护环境安全可靠交通干扰少管理方便节约用地的原则进行布置。总平面布置按照工艺流程，根据防火防爆卫生与工艺性质的不同，按性质分区布置，避免不同功能车。
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