1、。第芯片实验结果微流体实验过程中的问题本章小结第章总结与展望总结创新点展望参考文献致谢华东理工大学硕士论文第页第章绪论微流控技术简介本章介绍微流控技术的发展过程，从概念的提出到快速发展背后的推动力实验前言实验过程实验准备实验过程和芯片清洗硅片带缩口流体分离装置实验结果两出口带缩口流体分离装置实验结果缩口宽度为装置实验结果缩口宽度为装置实验结果缩口宽度为装置实验结果有个出口的流道模型的建立以及分块微流道模型计算网格的生成软件计算结果及后处理软件模拟设置后处理软件模拟结果可靠性验证本章小结第章带缩口流体分离装置算模型比较研究前言基本计算方法介绍基于三维理论模型的计算基于抛物线模型的计算基于半圆模型的计算三种模型计算结果比较本章小结第页华东理工大学硕士论文第章软件模拟分离过程微流道模拟前处理微方法论文研究意义论文研究内容第章带缩口流体分离。
2、行进样分离换热生物分析或化学反应分析等操作的装置。同时也是微流控方面重要杂志的刊名，由英国皇家化学会主编，年的影响因子为年月检索。芯片实验室的雏形正是微全分析系统，在的文献中主要是用于将样品处理检测和传感器集合于体，如作者所说，不只是为了微型化更重要的是提高分析性能。如同微电子行业发展，我们也应该看到将化学分析设备微型化的潜力。由于微加工工艺的成熟，制造成本的降低和微流体所具有的新的特性，微流体领域发展势头方兴未艾。微流控领域论文更是层出不穷，以为关键词，根据查询结果，微流控领域的学术论文数量，自年底的篇增长到年初的篇。微流体装置的定义是装置内有至少个流道的个尺寸小于毫米。微流体装置中的流体主要包括全血样品，细胞悬浮液，蛋白质和抗体溶液还有各种缓冲液。微流体分析实验的主要第页华东理工大学硕士论文优点包括处理的样品和反应物的量少，分离和检测。
3、管周围涂抹混合均匀的华东理工大学硕士论文第页胶，静置小时，即可牢固粘结。操作不慎胶极易阻塞入口流道。硅片装置如图所示。硅片因在半导体和集成电路上得到广泛应用，加工工艺成熟。其次，硅片硬度高流道不宜变形。但是，硅片易碎价格相对非常昂贵不透光。因需倒置芯片才能在倒置显微镜下进行实验，非常不便，因此，适合在体式显微镜下做实验。但因体式显微镜聚焦距离在左右，为入口接管带来很大不便。图硅片加工工艺图硅片实验装置，下方为划片后装置，上方为芯片与不锈钢管粘结后和装置加工工艺使用模塑法加工所设计芯片，如图所示。制作掩模，通过光刻在负光胶上做出流道结构阳模，将液体浇注到阳模上。把固化后的与阳模剥离就得到带有微流道的基片。然后在装置出入口打孔。使用氧等离子体清洗芯片，之后，将经氧等离子体处理过的带流道基片和平整盖片贴好后，保温小时，完成芯片键合。芯片的优点是。
4、昆山市超声仪器有限公司超纯水系统美国公司电动注射泵美国科尔帕默公司体式显微镜日本夏普公司倒置荧光显微镜日本公司高速摄像机德国公司图尼康倒置显微镜，图中蓝色装置即高速摄像机夏普体式显微镜，上方装高速摄像机,第页华东理工大学硕士论文带缩口流体装置加工流程本部分简要介绍本实验中的微流控芯片所用的加工工艺，装置材料主要包括硅片聚二甲基硅氧烷,简称和聚碳酸酯,简称。其中的加工方法主要是通过阅读文献以及与芯片加工单位交流获得。硅片加工由苏州锐材半导体委托苏州纳米所完成，芯片由苏州汶颢芯片科技有限公司完成，芯片由德国卡尔斯鲁厄理工学院,简称微处理工程学院教授课题组加工。三种装置采用三种完全不同的加工工艺，介绍如下。硅片试验装置加工工艺硅片装置使用湿法刻蚀加工。首先使用软件建立带缩口流体装置内部流道模型，目的为当使用计算机设计软件设计装置流道时所要用的关。
5、微流体分析实验的主要第页华东理工大学硕士论文优点包括处理的样品和反展势头方兴未艾。微流控领域论文更是层出不穷，以为关键词，根据查询结果，微流控领域的学术论文数量，自年底的篇增长到年初的篇。微流体装置体，如作者所说，不只是为了微型化更重要的是提高分析性能。如同微电子行业发展，我们也应该看到将化学分析设备微型化的潜力。由于微加工工艺的成熟，制造成本的降低和微流体所具有的新的特性，微流体领域发同时也是微流控方面重要杂志的刊名，由英国皇家化学会主编，年的影响因子为年月检索。芯片实验室的雏形正是微全分析系统，在的文献中主要是用于将样品处理检测和传感器集合于的德文缩写等，在几平方厘米的硅玻璃或其他材料上加工出微米级的通道，在其上进行进样分离换热生物分析或化学反应分析等操作的装置。自动完成的装置。在此后的十余年中，微全分析系统迅速发展，其核心技术是以微。
6、品时分辨率和灵敏度高，成本低分析周期短。微流体在处理多相流领域也有很大优势如制备微气泡，从液体中分离气泡，和颗粒的连续分离。本校张洪波副教授课题组，以及本校分析测试中心的吴婷博士课题组南京工业大学的张立雄老师课题组，都涉及到微气泡的制备。哈佛大学威斯研究所的教授在自然杂志上总结微流体领域发展迅速的原因包括四个方面首先，气相色谱高压液相色谱和电泳的发展，使小样品的高灵敏性和高分辨率成了可能，从而亟待发展新的微尺度的化学和生物的应用第二，在冷战结束之后，美国认识到生化武器带来的巨大的军事威胁和恐怖袭击的可能。因此，美国国防部的国防高级研究计划局,简称在上世纪年代支持战地便携式微流控系统的研究，以用于检测塑料针筒较玻璃针筒密封性好等。表实验样品和试剂仪器名称型号生产厂商磁力搅拌器型上海司乐仪器有限公司理化干燥箱赛默飞世尔科技美国数控超声波清洗器。
7、的原理和实验装置带缩口流体分离的原理实验样品和试剂实验仪器和设备带缩口流体装置加工流程硅片试验装置加工工艺和装置加工工艺本章小结第章临界尺寸计华东理工大学硕士论文第页目录摘要目录第章绪论微流控技术简介微流控技术的发展微流体的特点微流控分离方法传统微流控分离方法连续性无外场微流控分离技术其它微流控分离方华东理工大学硕士论文第页目录摘要目录第章绪论微流控技术简介微流控技术的发展微流体的特点微流控分离方法传统微流控分离方法连续性无外场微流控分离技术其它微流控分离方法论文研究意义论文研究内容第章带缩口流体分离的原理和实验装置带缩口流体分离的原理实验样品和试剂实验仪器和设备带缩口流体装置加工流程硅片试验装置加工工艺和装置加工工艺本章小结第章临界尺寸计算模型比较研究前言基本计算方法介绍基于三维理论模型的计算基于抛物线模型的计算基于半圆模型的计算三种模。
8、计算结果比较本章小结第页华东理工大学硕士论文第章软件模拟分离过程微流道模拟前处理微流道模型的建立以及分块微流道模型计算网格的生成软件计算结果及后处理软件模拟设置后处理软件模拟结果可靠性验证本章小结第章带缩口流体分离装置实验前言实验过程实验准备实验过程和芯片清洗硅片带缩口流体分离装置实验结果两出口带缩口流体分离装置实验结果缩口宽度为装置实验结果缩口宽度为装置实验结果缩口宽度为装置实验结果有个出口的芯片实验结果微流体实验过程中的问题本章小结第章总结与展望总结创新点展望参考文献致谢华东理工大学硕士论文第页第章绪论微流控技术简介本章介绍微流控技术的发展过程，从概念的提出到快速发展背后的推动力，综述了介绍微流控技术的定义和优点，最后介绍微流体区别于传统意义上的流体的特点。微流控技术的发展年前笔记本电脑手机和各种影音播放器是非常罕见的，经过短短。
9、系统的研究，以用于检测塑料针筒较玻璃针筒密封性好等。表实验样品和试剂仪器名称型号生产厂商磁力搅拌器型上海司乐仪器有限公司理化干燥箱赛默飞世尔科技美国数控超声波清洗器昆山市超声仪器有限公司超纯水系统美国公司电动注射泵美国科尔帕默公司体式显微镜日本夏普公司倒置荧光显微镜日本公司高速摄像机德国公司图尼康倒置显微镜，图中蓝色装置即高速摄像机夏普体式显微镜，上方装高速摄像机,第页华东理工大学硕士论文带缩口流体装置加工流程本部分简要介绍本实验中的微流控应物的量少，分离和检测样品时分辨率和灵敏度高，成本低分析周期短。微流体在处理多相流领域也有很大优势如制备微气泡，从液体中分离气泡，和颗粒的连续分离。本校张洪波副教授课题组，以及本校的定义是装置内有至少个流道的个尺寸小于毫米。微流体装置中的流体主要包括全血样品，细胞悬浮液，蛋白质和抗体溶液还有各种缓冲液。。
10、流控技术为基础的芯片实验室。芯片实验室是指通过微加工技术，比如光刻蚀刻和,缩写极大激发了学者们对此领域的兴趣。微全分析系统指将化学分析的所有阶段，比如样品预处理化学反应分离提纯检测和数据分析都集成在体并能化，也就是使各种不同功能的微电子器件形成集成电路来实现复杂功能。年，等人第次在论文中提到用微电子技术制造用于化学分析的装置。之后，在年由和提出的微全分析系统次技术上的突破是年贝尔实验室发明了晶体管，成功的取代了控制电信号的机械式继电器。第二次突破是年集成电路的发明，从此大量的晶体管和其他电子器件集成到了片薄的硅片上。微电子行业的成功给我们的启示就是微型，综述了介绍微流控技术的定义和优点，最后介绍微流体区别于传统意义上的流体的特点。微流控技术的发展年前笔记本电脑手机和各种影音播放器是非常罕见的，经过短短的几十年它们如今已经成为我们生活的部。
11、尺寸可以通过图确定。因为软件只能画简单图形，如矩形和圆形等，本芯片流道结构复杂，需要通过这些简单图形做多次布尔运算才能得出，设计图如图所示。图硅片实验装置设计图英寸硅片上六个芯片布局，红色部分为流道绿色部分表示与硅片键合的玻璃片上打孔位置，即流体出入口缩口部分放大图硅片加工过程主要包括三个工序薄膜沉积光刻和刻蚀，如图。光刻前首先在英寸的硅片上表面覆盖层薄膜，薄膜的厚度为数埃到几微米，此工序即薄膜沉积。然后使用匀胶机在薄膜上涂敷正光胶，使用接触式光刻将掩模上图形转移到光胶上。光刻最小线宽为，即缩口处宽度。通过湿法刻蚀将光胶层的二维平面图形转移到薄膜上并进而在基片上加成深度为的微槽道结构。使用丙酮异丙醇和乙醇清洗后，将带槽道的硅片与玻璃片通过阳极键合封合。键合后，划片将装置分割成六个独立芯片。将不锈钢管内径与芯片入口对齐然后固定，在不锈钢。
12、的几十年它们如今已经成为我们生活的部分。第次技术上的突破是年贝尔实验室发明了晶体管，成功的取代了控制电信号的机械式继电器。第二次突破是年集成电路的发明，从此大量的晶体管和其他电子器件集成到了片薄的硅片上。微电子行业的成功给我们的启示就是微型化，也就是使各种不同功能的微电子器件形成集成电路来实现复杂功能。年，等人第次在论文中提到用微电子技术制造用于化学分析的装置。之后，在年由和提出的微全分析系统,缩写极大激发了学者们对此领域的兴趣。微全分析系统指将化学分析的所有阶段，比如样品预处理化学反应分离提纯检测和数据分析都集成在体并能自动完成的装置。在此后的十余年中，微全分析系统迅速发展，其核心技术是以微流控技术为基础的芯片实验室。芯片实验室是指通过微加工技术，比如光刻蚀刻和的德文缩写等，在几平方厘米的硅玻璃或其他材料上加工出微米级的通道，在其上进。
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