1、中。束宽光从输入端口射入。经分离器后，将其分成两束沿两个不同分支方向发送，即分支和分支参照图。当他们到达，它们分别反射，然后再次分裂，并最终在出口干涉。在图中，粗红色箭头线表示在折叠迈克尔逊自准直干涉仪自准直光束传播路径。气柱在和分支部分，其在图中分别被示为反射传感区域和分支传感区域，被填充折射率从.提高到.纳米流体。光子晶体自准直传感器.仿真结果与分析图随反射传感区域由.变到.折叠迈克尔逊自准直干涉仪透射谱，插图显示第三透射峰随在.和.之间变化。在范围带隙。没有折叠迈克尔逊自准直干涉仪透射谱。和分别表示频率为.光随在.和.之间变化稳态磁场分布。传感器在反射传感区域运作。仿真面积为。完全匹配层吸收边界条件适用于周围计算领域。首先，只有反射传感区域被使用。由试用反射传感区域时，在.和.之间。
2、，中国国家自然科学基金批准号，和和中国福建省教育厅科学基金会批准号支持。束干涉相位变化，还能做采用反射传感区域以诱导各种干涉强度种类。因此，传感器结合谐振和衰减传感器功能。其性能是由有限差分时域方法研究。最后，我们将其应用到灵活传感器阵列。.仿真模型图该折叠迈克尔逊自准直干涉仪结构示意图。相同频率等值线.大方形和.小方形其中.为实线和.为虚线。能带结构分别为.，.。阴影区域是带隙为.，它涵盖了自准直频率范围。插图显示了蚀刻在硅正方形格子气柱形成无缺陷光子晶体。分离器透射率和反射率。如图所示，所提出折叠迈克尔逊自准直干涉仪是由个分离器和四个反射镜和组成。无缺陷二维光子晶体设计平台包括方形晶格气柱蚀刻折射率为.硅。气柱半径.，其中是晶格常数。在波矢量空间中第二频带平行于气柱轴线磁场频率等高。
3、应用到灵活传感器阵列。.仿真模型图该折叠迈克尔逊自准直干涉仪结构示意图。相同频率等值线.大方形和.小方形其中.为实线和.为虚线。能带结构分别为.，.。阴影区域是带隙为.，它涵盖了自准直频率范围。插图显示了蚀刻在硅正方形格子气柱形成无缺陷光子晶体。分离器透射率和反射率。如图所示，所提出折叠迈克尔逊自准直干涉仪是由个分离器和四个反射镜和组成。无缺陷二维光子晶体设计平台包括方形晶格气柱蚀刻折射率为.硅。气柱半径.，其中是晶格常数。在波矢量空间中第二频带平行于气柱轴线磁场频率等高线，表示光子晶体在频率范围.和.之间有方形频率等高线是光在自由空间中速度，它分别在图中被表示为大，小实线正方形。在这些频率并且在垂直于频率等高线四个平分散体表面方向，个窄光束可以在光子晶体内传播，而不衍射，这就是所谓自。
4、感器，常常不能满足些实际需求尺寸小，高灵敏度，价格便宜和低功耗。光子晶体传感器是目前种新型传感器,其大约小于商业集成光传感器三个数量级。它们有不同类型，比如说点缺陷型，线缺陷型，导谐振型和光子晶体激光型。为了实现多个感测位点，光子晶体传感器阵列已经开发出来。曼德尔等人展示了基于硅波导与相邻维光子晶体微腔纳米级光电子流体传感器阵列。杨等人理论上研究了基于格移谐振腔侧耦合到个单光子晶体波导传感器阵列性能。然而，前者是在许多单独硅带上实现传感器，而不是个单片硅板。而后者，每空腔感测信号可能由于在多空腔并行感测些耦合即串扰相互影响，并且如果由折射率改变引起个信号变化是如此之大，超出了本征频率峰相邻空腔，所述感测信号识别将变得困难。所以，它总是导致信号失真串扰限制了传感器单片平台上分布。自准直效应是。
5、.之间变化稳态磁场分布。传感器在反射传感区域运作。仿真面积为。完全匹配层吸收边界条件适用于周围计算领域。首先，只有反射传感区域被使用。由束干涉相位变化，还能做采用反射传感区域以诱导各种干涉强度种类。因此，传感器结合谐振和衰减传感器功能。其性能是由有限差分时域方法研究。最后，我们将其应用到灵活传感器阵列。.仿真模型图该折叠迈克尔逊自准直干涉仪结构示意图。相同频率等值线.大方形和.小方形其中.为实线和.为虚线。能带结构分别为.，.。阴影区域是带隙为.，它涵盖了自准直频率范围。插图显示了蚀刻在硅正方形格子气柱形成无缺陷光子晶体。分离器透射率和反射率。如图所示，所提出折叠迈克尔逊自准直干涉仪是由个分离器和四个反射镜和组成。无缺陷二维光子晶体设计平台包括方形晶格气柱蚀刻折射率为.硅。气柱半径.。
6、线，表示光子晶体在频率范围.和.中文字出处,.光子晶体自准直传感器学部院电子信息与电气工程学部专业生物医学工程光子晶体自准直传感器光子晶体自准直传感器,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室中国清华大学物理系中国龙岩大学物理与机电工程学院摘要提出了基于二维光子晶体和采用自准直效应折叠迈克尔逊干涉仪新型折射率传感器，并理论研究了其性能。传感器中包含了两个感测区域。模拟结果表明，分支区域适用于各种范围小指标及精细检测，而反射区倾向于大变化范围指标和粗略检测。因为没有缺陷波导和无串扰信号，传感器有望进行单片集成，低成本，无标记实时并行感测。此外，展示了种灵活设计自准直传感器阵列。关键词纳米光子学光子晶体传感器瞄准光子集成电路.介绍基于全反射光学传感器，比如光纤型或者光波导型马赫泽德干涉。
7、频率为.范围光透射率缓慢下降，从.降至.见图。但是，如果我们使用是分支传感区域，透射率变化很大时，从.降至.，又升回.。在此范围内，基于反射传感区域传感器灵敏度比基于分支传感区域传感器要低得多。然而，如果范围扩大，即从.至.，基于分支传感区域传感器透射峰将红移超过峰间隔.因此感应范围峰值是有限。而对于基于反射传感区域传感器，透射率将随增加而单调减少。考虑到如果有什么不对强度读数，基于反射传感区域传感器将不容易识别，我们只把它应用在大指标变化范围检测。基于分支传感区域传感器倾向于小范围和精指标检测。据此，大和小指标范围检测纳米流体均可以以这样单折叠迈克尔逊自准直干涉仪传感器来实现。也许我们可以首先进行基于反射传感区域传感以获得近似指标范围，然后由基于分支传感区域传感器确认纳米流体精确指标。光。
8、子晶体自准直传感器.传感器阵列设计图单片集成并行自准直传感器阵列结构示意图。表示在自准直中心频率分离器能量反射透射比率为，而代表比率为。是反射镜。除集成分离器和反射镜，无缺陷光子晶体分布在芯片空白地方。在这里，我们设计单片集成并行自准直传感器阵列，它充分利用了在无缺陷光子晶体中无串扰自准直光束。如图所示，光是由外部光纤在输入口射入，然后分成三束光束，分别在三个独立折叠迈克尔逊自准直干涉仪传感器完成感测任务。些反射镜是被灵活安装传感器共用，以减少制造工艺。最后，分别从端口，和中，输出三个感测信号，并且被耦合到所述纤维且由外部功率计或光谱仪接收。虽然传感信号与光子晶体输入光交叉，但是没有串扰引起失真。更实用自准直传感器阵列将基于光子晶体板，或绝缘硅扳。仿真和实验结果将在我们今后工作中显示。对于。
9、中文字出处,.光子晶体自准直传感器学部院电子信息与电气工程学部专业生物医学工程光子晶体自准直传感器光子晶体自准直传感器,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室中国清华大学物理系中国龙岩大学分离器后，将其分成两束沿两个不同分支方向发送，即分支和分支参照图。当他们到达，它们分别反射，然后再次分裂，并最终在出口干涉。在图中，粗红色箭头线表示在折叠迈克尔逊自准直干涉仪自准直光束传播路径。气柱在和分支部分，其在图中分别被示为反射传感区域和分支传感区域，被填充折射率从.提高到.纳米流体。光子晶体自准直传感器.仿真结果与分析图随反射传感区域由.变到.折叠迈克尔逊自准直干涉仪透射谱，插图显示第三透射峰随在.和.之间变化。在范围带隙。没有折叠迈克尔逊自准直干涉仪透射谱。和分别表示频率为.光随在.和。
10、，其中是晶格常数。在波矢量空间中第二频带平行于气柱轴线磁场频率等高线，表示光子晶体在频率范围.和.之间有方形频率等高线是光在自由空间中速度，它分别在图中被表示为大，小实线正方形。在这些频率并且在垂直于频率等高线四个平分散体表面方向，个窄光束可以在光子晶体内传播，而不衍射，这就是所谓自准直效应。有趣是，如果空气柱中注射.些纳米流体，这两个轮廓将缩回而不破坏正方形形状，其被表示为图中大，小虚线正方形。这是因为随着增加，有效折射率增加，整个带结构向下移动。但是，光仍然和以前样保持自准直透射特性。所述反射镜是由另种类型半径为.光子晶体构成，这导致带隙在.和.之间参照图，因此，折射率被用于自准直光束。通过将光子晶体气柱在方向半径扩大到.，所述分离器具有在.和.之间透射率，以及.和.反射率，这显示在。
11、由株式会社小坂研究所等人发现，由普拉瑟等人改进，它是光子晶体领域中研究热点。它是著名允许非衍射光在个无缺陷光子晶体没有“物理”指导边界例如线缺陷波导传播，也使光束无串扰交叉。所述无串扰特性赋予单个装置分布相对大自由。如何利用该效应和保持其优先在快速发展微纳米传感器正如我们所知，关于微型光学传感器有两种解决方案。种是基于光谐振传播当探测光穿过被测物体多次时。另种是基于散射和辐射损耗引起光强衰减非共振。在本文中，我们首先提出了种基于折叠迈克尔逊自准直干涉仪配有两个感测区新型二光子晶体自准直传感器维光子晶体传感器。该传感器不仅采用了分支传感区域，以使光束干涉相位变化，还能做采用反射传感区域以诱导各种干涉强度种类。因此，传感器结合谐振和衰减传感器功能。其性能是由有限差分时域方法研究。最后，我们将其。
12、近工作波长，单个传感器尺寸是约。虽然这里仅个传感器集成在单片电路板上，但根据透射光束距离达厘米尺寸自准直光束，在并行感测中理想总数可达，不考虑单个元件插入损耗。.总结我们提出了基于二维光子晶体折叠迈克尔逊自准直干涉仪种新型折射率传感器并通过仿真研究了其性能。两个感应区域，即反射传感区域和分支传感区域，为传感器扮演不同角色。它不仅可以实现在大指标变化范围和粗略检测，也使用于小指标范围及精细检测。充分利用无串扰优点，我们将传感器应用到并行传感器阵列。尽管些参数没有被充分利用，它不会影响我们设备传感特性分析。因为没有缺陷波导，无串扰和小尺寸，传感器和传感器阵列有望进行单片集成，低成本，无标记实时感测。鸣谢作者感谢陈喜耀教授和羌泽轩教授有价值讨论。这项工作是由中国国家重点基础研究专项基金批准号和。
参考资料：
（外文翻译）光子晶体自准直传感器（外文+译文）