1、原理图工具工件磨料悬浮液，变幅杆换能器超声波发生器与此同时，工作液受工具端面超声振动作用而产生的高频交变的液压正负冲击波和“空化”作用，迫使工作液进入被加工材料的微细缝隙处，从而更加剧了机械破坏作用。所谓“空化”作用，是指当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成较大的负压和局部真空，使得工作液内瞬间形成很多微空腔，当工具端面以很大的加速度接近工件表面时，空泡又重新闭合，又引起较强的液压冲击。

2、节点位移节点为从宽端算起的距离，此点变幅杆振幅为零。对于指数形变幅杆轴向直径变化查表可得变幅杆长.轴向的直径变化按计算，。根据上面所求出的参量，计算出变幅杆外形的加工尺寸，确定指数型变幅杆轴向直径的变化情况，如图.所示。.表.变幅杆直径变化图.指数型变幅杆横截面直径尺寸变化示意图图.锥形变幅杆图.指数型变幅杆.本章小结本章介绍了微凹坑加工工具微凸起电极的设计制作，包括各种微凸起工具电极形状尺寸的设计，工。

3、种类很多，课题试验选用硬质合金和硬质合金作为本文微细超声复合加工的主要试验对象。属于类硬质合金，具有硬韧的特性属于类硬质合金，具有较高硬度，同时脆性也较大。不锈钢不锈钢具微凹坑超声加工设计及试验设计摘要和加速度不断地撞击抛磨被加工工件表面，把被加工工件表面的材料粉碎成很细的微小颗粒，从工件上被打击下来。虽然每次打击下来的材料很少，但每秒打击的次数高达次与超声频率有关以上，所以仍有定的加工速度。图.超声加。

4、微凹坑超声加工设计及试验设计摘要，或者将超声能量集中到叫嚣的面积上，即聚能作用。变幅杆可制成锥形的指数形的阶梯形的。本试验系统采用的是阶梯形的变幅杆。本试验采用指数型变幅杆。设计频率为，变幅杆所用材料为调质号钢，纵波在杆中的传播速度，宽端直径，窄端直径为阴极设计的工作长度，大端直径小端直径。计算指数型变幅杆的主要参数面积系数，.半波谐振长度.检查是否满足限制条件。，因此，可知工作频率满足限制条件质点位移。

5、至拓宽微细加工技术应用都具有重要意义。以下介绍试验中的几种主要材料。硬质合金硬质合金是由硬度很高的难熔金属碳化物和等和金属粘结剂用粉末冶金方法制成的。硬质合金中的碳化物具有硬度高熔点高化学稳定性和热稳定性好等特点。硬质合金的强度与粘结剂的含量有关，粘结剂含量越高，合金强度就越高。硬质合金的硬度可达，耐热温度达，是用以切削硬质材料的首选刀具材料，具有很高的硬度和韧性，很难利用普通机械切削方式加工。硬质合金。

6、，上述作用迅速反复地施加在工具与工件之间微小间隙内的工作液里，可以大大强化加工过程。此外，正负交变的液压冲击也使悬浮工作液在加工间隙中强迫循环，带动磨料运动，使部分变钝了的磨粒及时得到更新。磨料悬浮液通过不断更新，带走被粉碎下来的材料微粒。随着加工工具逐渐伸入到被加工材料中，加工工具的形状便复现在工件上了。由此可见，超声加工是磨粒在超声振动作用下的机械撞击和抛磨作用以及超声空化作用的综合结果，其中，磨粒。

7、电极材料的选择。试验制作的工具电极在精度与表面质量方面均满足要求。进步优化尺寸设计，改善加工制作工艺，优化电加工参数，可以加工出形状更多，尺寸更小，精度要求更高的微凸起工具电极。讨论了变幅杆的设计方法及制作要求。第四章微凹坑超声复合加工试验微凸起工具电极制作完成后，利用设计构造的微细超声复合加工试验系统，优化试验参数，在多种材料表面进行微凹坑结构超声复合加工对比试验，对加工所得的具有微凹坑结构表面进行初。

8、孔包括圆孔异形孔和弯曲孔等切割开槽套料雕刻成批小型零件去毛刺模具表面抛光和砂轮修整等方面。所谓“金无足赤”，超声加工也有着他难以克服的局限性超声加工面积较大时，超声加工效率有明显的降低其次超声加工很难加工韧性较大金属材料工具钢硬质合金等超声加工圆柱形孔深度般以工具直径的倍为限，对于深径比较大的深小孔加工很困难超声加工工具在磨料的抛磨下有损耗，同时，磨粒使工具与工件之间存在间隙，因此，精加工时要考虑工具损。

9、试验，为后续研究建立基础条件。.试验参数选择影响微细超声复合加工速度和加工质量的主要因素有试验件材料超声磨料的种类和粒度悬浮液的浓度工作液供给及循环方式工具电极超声振动幅值超声共振点的保持情况工具和工件之间的静压力等。试验件材料本文试验材料有硬质合金，不锈钢单晶硅片压电陶瓷玻璃钢等，均是近年来在微机械领域常使用的材料，在微机械关键部件中起着非常重要的作用。在多种材料表面进行微凹坑试验，对加工这种特殊结构。

10、工的主要特点有不受材料是否导电的限制工具对工件的宏观作用力小热影响小，因而可加工薄壁窄缝和薄片工件被加工材料的脆性越大越容易加工，材料越硬或强度韧性越大则越难加工由于工件材料的碎除主要靠磨料的作用，磨料的硬度应比被加工材料的硬度高，而工具的硬度可以低于工件材料可以与其他多种加工方法结合应用，如超声振动切削超声电火花加工和超声电解加工等。超声加工主要用于各种硬脆材料，如玻璃石英陶瓷硅锗铁氧体宝石和玉器等的。

11、及磨粒直径大小对加工精度的影响，工具设计中应给予合理补偿。.微细电解加工电解加工，是基于电解过程中的阳极溶解原理，并借助于阴极将工件按定形状和尺寸加工成形的工艺方法。目前在国内外已成功的应用于航空发动机汽车等机械制造业中，已成为种不可缺少的工艺方法。微细电解加工是指在微细加工范围内，应用电解加工以得到高精度微小尺寸零件的加工方法。要实现微细加工，首先要解决其加工单位的微细化问题，即单位加工量尽可能地小。。

12、机械撞击作用是占主导地位的。由于超声加工基于局部撞击作用，所以当受到撞击作用时，越是硬脆的材料，其受破坏的程度越大，越容易进行超声加工。相反，脆性和硬度不大的韧性材料，由于它对撞击能量的吸收缓冲作用而难以实施超声加工，或者说加工效果很不理想。所以，这性质常利用在工具材料选择上，要求它既能撞击磨粒，又不至于使自身受到很大的破坏，般选择塑性较好的材料，通常采用钢或弹簧钢等材料作为工具材料较合适。加工特点超声。

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