1、络，不断扩大在我国的市场份额。由于水环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产水环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。.滑阀泵滑阀泵是油封式真空泵的种。由于滑阀泵比较耐用可靠，国内外各种真空炉镀膜机以及干燥浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。.直联旋片泵随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问。

2、应达到图规定的极限压力。本标准不考核抽气速率。如需测量抽速，型泵必须配置相应的前级泵，并注明前级泵的型号和规格。型泵的其他性能应符合图的规定型泵的其他性能应符合图的规定。泵工作的环境温度为。泵应运转平稳，转子不得有撞击声，不应有杂音。泵的动密封不允许有漏油现象。泵的外表面应油漆光洁，紧固件及其他外露加工表面应做防锈处理。泵应无故障运行时间。泵出厂必须带有必要的备件和专用工具。在用户遵守泵的运输保管安装使用维护的条件下，从制造厂发货日期起年内，泵因制造质量不良发生损坏而不能正常工作时，制造厂应为用户免费修理或更换。第三章罗茨真空泵的总体设计罗茨真空泵简称罗茨泵是种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵中真空罗茨泵又称机械增压泵和高真空多级罗茨泵。般来说，罗茨泵具有以下特点在较宽的压强范围内有较大的抽速起动快，能立即。

3、间非常长，所以要加以解决。真空装置和仪表要高级化，提高设备的寿命和精度。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。目前，全球真空泵市场的年销售额约亿美元，年增长率在左右。我国生产真空泵的厂家很多，全部真空泵的年销售额大约在.亿元左右，仅相当于美国公司家真空泵的年销售额。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证，有些泵还出口国外，得到国外用户的认可并受到好评，应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。.水环真空泵虽然水环真空泵属于粗真空泵，但在我国的石油化工电力轻纺造纸医药等领域仍然有着很大的市场。在国外，水环泵的销售额占全部真空泵市场的，仅次于干泵，所以和等公司都在我国投资建厂或建立销售网。

4、子的型线。本文先建立摆线的参数方程来确定转子的形状如图，图所示。并且通过对不同叶数下的容积利用系数的分析，来确定二者之间的关系。就圆弧摆线转子来说，叶数越多，值越大，容积利用系数越大，则理论抽速就越大，泵的效率也就越高三种叶片的曲线见图。同时，叶数增加，封闭工作腔的容积会变小，进气及反流产生的噪声也就越小。其中,图为转子外圆半径图，为摆线形成的节圆半径图。图初始位置图旋转定角度后的位置图容积利用系数示意图三种转子型线曲线.罗茨真空泵的技术要求泵应符合标准要求，并按照经规定程序批准的图样及技术文件制造。型泵必须有前级泵为其预抽真空，它不能单独使用型泵可单独使用，直排大气。泵配用油封机械真空泵作前级泵时，则不适于抽除含氧气量过高有爆炸性的对黑色金属有腐蚀性的与真空泵油起化学反应和含有尘埃的气体。在带试验罩的条件下，型泵启动运转之后，应达到图规定的极限压力型泵在启动和运转平衡后般到，。

5、合理。多数企业期望只靠已有的老产品，不断增加产量而逐年增加利润，这种可能性在市场竞争日益激烈的今天会越来越小。在今天的国内外市场格局面前，尽快调整产品结构，使其适应市场需求才是最明智的选择。产品结构的调整是要不断推出市场需要的对路产品，对真空泵市场来说，就是要加快各种干式泵分子泵以及其他高端产品的研制生产，尽快形成批量。二是全行业要形成高中低端产品的合理布局，并随着市场的变化，不断调整，始终保持比较合理的产品结构状态。尽管年真空行业取得了令人瞩目的成绩，但目前的真空泵技术发展状况却并不乐观。全行业要认真分析形势，总结经验教训，团结致，为行业的发展和技术进步开出条道路，为我国的经济建设做出全行业应有的贡献。.对真空技术未来发展的期望对未来真空技术的期望，首先希望厂家能研制出方便耐用的设备，朝着用户与厂家相互满足的方向努力。操作要方便，要缩短运转时间或生产周期。因为花费在抽真空上的。

6、题，确保直联泵在高速高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。.分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射刻蚀和等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装个的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。.干式机械真空泵国外干式机械真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业化学工业薄膜产业的迅速发展。在日本，半。

7、工作对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感，泵腔内气体垂直流动，有利于被抽的灰尘或冷凝物的排除转子之间转子与泵腔之间有间造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚，刚起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场，国内产品除了价格低外，在加工制造技术水平质量状况等各方面不含有优势，国外各国的产品经过几年的较量，已经基本瓜分了国内市场，并且站稳了脚，国内的干式真空泵生产由于失去了市场的激励，没有了发展的动力，进步缓慢。业内专家致认为干式真空泵是真空获得设备发展的方向，也是真空获得手段的“尖端”技术，我国的真空泵产业必须在此领域有所作为，首先进入食品化工医药等行业。经过这些市场的培育和锻炼，进而打入半导体行业。才能使整个行业与时俱进的发展。目前国内分子泵应健全系列并开发多品种，如低温分子泵复合分子泵等，逐渐扩展市场。引进国外先进技术，提升我国产品的科技含量在其他行业有成功的经。

8、，其原因可能由于蒸发热分解热膨胀造成的剥离和表面成份变化，紫外线照射引起的化学反应或机械损伤等因素造成的。太阳光利用技术，也就是利用太阳光来发电，它是通过太阳电池吸收阳光，先变为直流电再转换为交流电加以利用的。太阳电池就是将阳光直接转变为电能的元件。这种太阳光利用技术，过去仅被用在宇宙卫星台灯电源和边远地区的通讯电源。现在的价格仍较高真空蒸发电子管和加速器就是利用了真空的这特点。除大功率的电子管外，其他大部分做成固体元件，这样就不再需要真空了。暖水瓶是真空技术在人们日常生活中的重要应用，如果以后能生产出优良的绝热材料，且很便宜，那么真空在暖水瓶的生产过程中将会失去作用。从降低表面粒子入射频率的必要性看，超高真空技术定会得到发展，它可使表面长时间地维持其清洁。目前，真空技术的应用的特点是利用真空环境来研制些新材料和新工艺。使真空应用领域得到进步扩大，例如超微粉和纳米颗粒的制作以及。

9、。在发展真空获得设备的高端产品中引进国外技术，并很好的消化吸收，将宅誉速改变我国产品技术含量低质量和技术水平不能满足市场需求的现状。但苎引进国外技术，应特别注意两点是重在消化吸收，在此基础上培育企业的自主知识产权和创新能力。二是不要重复盲目引进，要瞄准国际上当代最新技术，避免引进代，落后代。引进国外技术不是目的，而是手段，通过引进技术最终打造国产自主品牌。传统的真空设备我们生产了几十年，在全国范围内形成了产品分布的稳定格局。但是随着经济的高速发展，信息技术航空航天纳米科学等高科技弓导了当今科学技术发展的潮流。而这些高新技术的发展离不开真空获得设备这个基础装备。目前国内的状况是真空泵生产企业仍然以生产传统产品为主在传统应用领域占领以上的市场份额。在高科技领域，国内产品在技术水平和质量上不能满足要求，以上市场份额由国外产品占领。国内真空获得产品与高新技术的发展严重脱节，产品结构不尽。

10、上，涂上层吸收波长为的半导体膜，就制成了选择吸收面。用等材料作为半导体膜。这种结构的膜，它可吸收阳光转变为热能对红外线则呈透明体。由于金属表面的作用使得辐射率变小，可以更有效地利用太阳能。由于对太阳光的折射率高，涂上等材料的减反射膜，对太阳光的吸收率变好。利用薄模干涉形成减反射效应。在基板上制成具有高反射率的金属膜，在膜上叠加干涉滤光镜。干涉滤光镜由电介质膜半透明金属膜电介质膜所组成。像这样结构的膜，可见光在电介质膜中被吸收，而红外线透过干涉滤光镜被金属膜面反射而使辐射率变小。采用这种方式的选择吸收面的例子如基板，及利用光干涉效应的单层膜耐温性极好的金属碳化物，金属氮化物，如等。做成槽型抛物面镜收集器带有选择吸收面。利用表面和膜结构形成的反射特性与波长的相互关系。在加工成深沟和棱角的表面上，垂直入射的太阳光，在沟与棱角的间隙中，经多次反射而被吸收。这种面会因高温加热而引起性能劣。

11、固体元件的工艺开发。另个应用领域是为了减少化学反应过程和核聚变反应中的不纯物，有时也要利用真空。真空室的器壁本身与反应过程有着极其密切地关系。人们对真空的需求将会扩大。如日本三井物产公司把铅掺入铝中，然后用高温使铝蒸发，利用这种方法炼铝就会扩大对真空泵的需求。因此，对于真空设备厂来说将会有个很大的真空泵的销售市场。过去炼铝采用电解法，现正在研究熔炉还原法。在熔炉内还原时，由于耐火材料与铝的混合，使分离非常困难。如果把熔炉中出现的含有铝的不纯物溶解于铅溶液中就可以对含铝的铅和不纯物进行分离。利用真空可以分离由此形成的铝铅混合物。由此可见，新工艺的出现，就会直接影响到真空行业，对真空的需求也会随之急剧增加。前几年我国真空炼镁工艺的出现，曾度使真空设备厂产的滑阀泵和罗茨泵供不应求。造成畸形发展。但这也说明个问题，即新工艺新材料等出现，势必要带动真空产业等发展。在世纪，表面处理在内的表。

12、体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多要想获得以上的热能，就必须有聚光装置。聚光的方式有很多种，但多数都采用反射镜。镜面材料多使用银和铝等。表面镜由于膜面暴露在大气之中，受氧化和摩擦等因素的影响，会使反射率较低。黑面镜的缺陷是在于基板和膜面的界面上，发生污染。近来，由于高分子材料制作的软镜具有重复性好透过率高能大量生产成本低等特点，而倍受重视。选择吸收面对有效利用太阳能极为重要。在选择吸收面的制作上，采用了真空技术。高温聚热装置中采用了聚热管。为防止由聚热管造成的对流损失，用透明玻璃管覆盖在聚热管外面，玻璃管内保持真空状态。下面将按原理把选择吸收面的光吸收选择性，分类说明如下利用半导体膜的谱带之间的迁移而产生基础吸收。在红外线领域具有高反射率的金属表面。

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