为这小微型悬臂，他们在空气和液体里执行热运动(布朗运动)。因此，外部激励不技术被需要进行激动；在液体里被降低质量因素可以用一种反馈途径改进。不过，如同在蒸汽阶段，弯曲信号微型悬臂主要用于在液体里。尽管它高灵敏性，悬臂式平台并不像其他化学传感器那样提供任何固有化学选择性。硅微型悬臂表面可能功能化，当这暴露于蒸汽时，一个特定分子将优先被固定在那个表面上。因此，察觉敏感性通过在一个悬臂表面上涂一层合适薄层而被大大地提高。这样一层薄层能，原则上，也能提供选择性。一个传感器系统基本要求是敏感性，选择性和可逆性。虽然敏感性和选择性是关键，但是可逆性可能在一些条件下是不必要。缺乏选择性导致错误频繁局面（错误警报），这跟由于缺乏敏感性而导致错误底片一样有害。不过，选择性程度跟察觉可逆性有关。选择性和可逆性是化学传感器竞争特性。在分解分子与悬臂薄层之间相互作用类型决定了吸附和解吸特性。象物理吸附那样低能量，信微型悬臂传感器可以提供高灵敏度和在一阵列里用更多单个传感器能力，如此使在复杂混合物里踪迹蒸汽察觉成为可能。这种高灵敏性微型悬臂传感器起源于大量固有表面集成微观物体。因此，一台基于为信号传输而表面相互作用微型悬臂传感器预计能在敏感性方面提供巨大扩展。过去十年里集成电路技术迅速发展，已经在硅或者补充金属氧化物半导体上起动化学传感器制造。基本上二维集成电路和化学传感器结构以结合石印处理，薄膜，蚀刻，散播，并且氧化台阶被最近延长进第尺寸使用微型机制或者微型悬臂技术一结合特别特殊，蚀刻停止，以及牺牲层。因此，微型悬臂技术提供极好方法达到化学传感器其他关键标准，例如设备，低功耗并且还有低成本批捏造微型化。目前，两台基于CMOS技术微型悬臂传感器正被研究，弯曲盘子波(FPW)传感器和微悬臂传感器。FPW传感器对更多公用草地在很多方面相似看见和QCM传感器，并且它能监控在一层薄层上吸收群众在传感器上沉积。它已经在最高测量敏感级显示高每平方米(ppt)水平察觉敏感性。另一方面，微型悬臂传感器有另外察觉方式，包括这种非常敏感弯曲方式，利用这高表面把收集成卷比率这微型悬臂传感器元素和在在第III部分讨论时，经常展示附属察觉敏感性。III.微型悬臂传感器在年，研究人员观察用原子力量显微镜学(AFM)使用微型悬臂对外部物理和化学影响敏感，指出弯曲可能用途，频率为化学制品感觉等等用微型悬臂移动在热量热学方面指出应用。从那以后，全世界研究人员一直报告为检测使用微型悬臂各种各样物理，化学，生物学，和传播学影响。图.扫描一套电子显微镜图象不同大小和形状悬臂。为比较,人发被显示出来。微型悬臂是从硅或者其他材料微机械加工微型板。这种长度这些经常在范围内-米，而那些厚度分布在从.到米范围内。(在人嗅觉系统里注意到那是有趣，有香分子小屋相互作用场所在像头发一样长发生，到米长并且为气味提供增加表面面积感觉是.)高灵敏性关键那些微型悬臂在这巨大表面把收集成卷比率，导致放大表面重音，因为在下面讨论。图与为比较一根人头发一起显示一套微型悬臂。微型悬臂有两种主要显著转变方法，弯曲和装群众。总体上加载方式，微表现正如一样其他重量传感器(例如QCM，看见，以及FPW转换器)：他们共振频率由于被吸附群众减少。在这种"重量方式"里，微型悬臂察觉敏感性好像可与其它重量传感器相比较。其它显著转变方法，即，弯曲反应，对微型悬臂独特；例如，如果不同表面压力通过优先对它一个宽表面(通过在那个表面上使用一层化学薄层)吸附目标分子被达到，微型悬臂将弯曲。因为不同表面压力需要弯曲，只有一个宽表面应该被为弯曲方式操作涂上。因此，装群众信息被只用作一笔红利。在弯曲方式方面，微型悬臂察觉敏感性是至少比其他微型传感器，例如也正被作为化学传感器调查锯和高一项重要命令。即使准确地为不同传感器比较察觉敏感性很难，低或者在每平方米下面察觉敏感性通常与微型悬臂传感器一起取得没被被任何其他传感器匹配。近比较将使用(DNT)察觉看见和微型悬臂传感器，两台传感器使用相同聚合薄层。因为弯曲信号微型悬臂起源于表面压力，对一层浓薄层大量蒸汽扩散是不必要。因此，即使一单层厚薄层可能不适合于重型传感器，他们很适于微型悬臂传感器。因为对这层薄层大部分蒸汽扩散被避免，对被涂上微型悬臂反应和扩散可能是快。图显示反应在.平方米上集中涂上酸在可塑炸药S微型悬臂。与(频率)测量相比较弯曲信号以及弯曲信号优势迅速和敏感反应是清楚。图。一种酸反应-对这定期涂上硅悬臂进攻环境空气集中。固体曲线描绘弯曲反应，小圆点短划线连结描绘伸臂式共振频率。必须强调微型悬臂弯曲程度并不是由被放置材料重量决定。千克微型悬臂大约纳米是由于它本身所引起，在噪声级之上为一个悬臂式弯曲信号。因此，由水平放置材料重量引起弯曲是无意义。另一方面，对于微米大小物体，像微型悬臂一样，表面对容量比率很大，表面作用极大地被扩大化。因此，吸附引起表面力量可能极其大。吸附引起力量可能归因于在表面自由能方面变化。自由能密度与表面压力是相同(牛顿/米)。这表面压力在一种液体里与表面张力相似。偶然，表面压力有单位恒定单位伸臂式。如果这表面自由能密度变化可与这恒定系数相比较，因此单位伸臂式将弯曲。当探查分子对他们目标束缚时，位置妨碍和静电将引起复合体分开。因为他们被限制在一个末端，因为表面面积是有限，他们将力作用于表面上。微型悬臂传感器另一个优势是它能在空气里和在液体里工作。共振频率和弯曲方式可以被在液体里使用。因为这小微型悬臂，他们在空气和液体里执行热运动(布朗运动)。因此，外部激励不技术被需要进行激动；在液体里被降低质量因素可以用一种反馈途径改进。不过，如同在蒸汽阶段，弯曲信号微型悬臂主要用于在液体里。尽管它高灵敏性，悬臂式平台并不像其他化学传感器那样提供任何固有化学选择性。硅微型悬臂表面可能功能化，当这暴露于蒸汽时，一个特定分子将优先被固定在那个表面上。因此，察觉敏感性通过在一个悬臂表面上涂一层合适薄层而被大大地提高。这样一层薄层能，原则上，也能提供选择性。一个传感器系统基本要求是敏感性，选择性和可逆性。虽然敏感性和选择性是关键，但是可逆性可能在一些条件下是不必要。缺乏选择性导致错误频繁局面（错误警报），这跟由于缺乏敏感性而导致错误底片一样有害。不过，选择性程度跟察觉可逆性有关。选择性和可逆性是化学传感器竞争特性。在分解分子与悬臂薄层之间相互作用类型决定了吸附和解吸特性。象物理吸附那样低能量，,vol.,no.,pp.–,.[]M.K.Baller,H.P.Lang,J.Fritz,C.Gerber,J.K.Gimzewski,U.Drechsler,H.Rothuizen,M.Despont,P.Vettiger,F.M.Battiston,J.P.Ramseyer,P.Fornaro,E.Meyer,andH.J.Guntherodt,“Acantileverarray-basedartificialnose,”Ultramicroscopy,vol.,no.–,pp.–,.[]F.M.Battiston,J.P.Ramseyer,H.P.Lang,M.K.Baller,C.Gerber,J.K.Gimzewski,E.Meyer,andH.J.Guntherodt,“Achemicalsensorbasedonamicrofabricatedcantileverarraywithsimultaneousresonance-frequencyandbendingreadout,”Sens.ActuatorsB,vol.,no.–,pp.–,.[]C.L.Britton,R.L.Jones,P.I.Oden,Z.Hu,R.J.Warmack,S.F.Smith,W.L.Bryan,andJ.M.Rochelle,“Multiple-inputmicrocantileversensors,”Ultramicroscopy,vol.,pp.–,.[]H.P.Lang,M.K.Baller,R.Berger,C.Gerber,J.K.Gimzewski,F.M.Battiston,P.Fornaro,J.P.Ramseyer,E.Meyer,andH.J.Guntherodt,“Anartificialnosebasedonamicromechanicalcantileverarray,”Anal.Chim.Acta,vol.,no.–,pp.–,.[]S.V.Patel,T.E.Mlsna,B.Fruhberger,E.Klaassen,S.Cemalovic,andD.R.Baselt,“Chemicapacitivemicrosensorsforvolatileorganiccompounddetection,”Sens.ActuatorsB,vol.,no.,pp.–,.[]M.Yue,H.Lin,D.E.Dedrick,S.Satyanarayana,A.Majumdar,A.S.Bedekar,J.W.Jenkins,andS.Sundaram,“A-Dmicrocantileverarrayformultiplexedbiomolecularanalysis,”J.Microelectromech.Syst.,vol.,no.,pp.–,.[]D.Sarid,ScanningForceMicroscopyWithApplicationstoElectric,Magnetic,andAtomicForces.NewYork:OxfordUniv.Press,.[]M.Tortonese,R.C.Barrett,andC.F.Quate,“Atomicresolutionwithanatomicforcemicroscopeusingpiezoresistivedetection,”Appl.Phys.Lett.,vol.,no.,pp.–,.[]A.Boisen,J.Thaysen,H.Jensenius,andO.Hansen,“Environmentalsensorsbasedonmicromachinedcantileverswithintegratedread-out,”Ultramicroscopy,vol.,no.–,pp.–,.[]P.A.Rasmussen,J.Thaysen,O.Hansen,S.C.Eriksen,andA.Boisen,“Optimizedcantileverbiosensorwithpiezoresistivereadout,”Ultramicroscopy,vol.,pp.–,.[]T.L.Ferrell,C.L.Britton,W.L.Bryan,L.G.Clonts,M.S.Emery,N.Ericson,F.Merraudeau,W.Morrison,A.Passian,S.F.Smith,T.信微型悬臂传感器可以提供高灵敏度和一阵列里用更多单个传感器能力，如此使在复杂混合物里踪迹蒸汽察觉成为可能。这种高灵敏性微型悬臂传感器起源于大量固有表面集成微观物体。因此，一台基于为信号传输而表面相互作用微型悬臂传感器预计能在敏感性方面提供巨大扩展。过去十年里集成电路技术迅速发展，已经在硅或者补充金属氧化物半导体上起动化学传感器制造。基本上二维集成电路和化学传感器结构以结合石印处理，薄膜，蚀刻，散播，并且氧化台阶被最近延长进第尺寸使用微型机制或者微型悬臂技术一结合特别特殊，蚀刻停止，以及牺牲层。因此，微型悬臂技术提供极好方法达到化学传感器其他关键标准，例如设备，低功耗并且还有低成本批捏造微型化。目前，两台基于CMOS技术微型悬臂传感器正被研究，弯曲盘子波(FPW)传感器和微悬臂传感器。FPW传感器对更多公用草地在很多方面相似看见和QCM传感器，并且它能监控在一层薄层上吸收群众在传感器上沉积国防上穆尔法律：一个基于矽微型悬臂智能传感器平台摘要——急需为发展存在廉宜,高度地选择,和极端地敏感传感器帮助打击恐怖主义。如果这样传感器可以被制造成极其小规模，他们可能在实际上任何形势里被部署。恐怖分子有多种潜在代理和交付，这样意味着从中选择化学，生物学，传播学，或者爆炸攻击。检测恐怖分子武器已经成为一项复杂和昂贵努力，因为目前需要众多传感器平台去发现不同类型威胁。能集中生产和有效部署出一种能查出一系列威胁单一传感器是赢得这场反恐怖主义战争根本。基于硅微型电子悬臂传感器代表了一种能与恐怖主义作斗争理想传感器平台，因为这些微型传感器是廉价并且可以被部署在任何地方。最近，这种高灵敏性微型悬臂传感器已经被用在各种各样威胁侦查中。因此，这种要求为单一微型传感器平台需求已经被认识，并且实现这种综合、广泛、可部署微型传感器是几乎可能。关键词——化学，生物学，传播学，爆炸察觉，国防，微型悬臂，微型电子，悬臂传感器，恐怖主义。I介绍恐怖分子有超过法律巨大经济优势，正因为这样，很多次，发现恐怖分子威胁比部署恐怖分子威胁更昂贵。例如，一个天然爆炸设备能在飞行过程中破坏一架飞机。换句话说，在飞机场部署当今爆炸察觉技术是昂贵并且需要操作者时刻注意。那些象征性价钱和努力也可能进行化学制品或生物攻击甚至可能未被留意直到伤害人们开始在医院出现。在核角度上，使用一枚涂有放射性物质常规炸弹，是其他可能威胁。即使个人对于威胁敏感察觉可能对于目前来说是可能，但是这样技术/传感器系统是庞大，昂贵，并且需要费时程序。此外，多次威胁察觉需要使用基于不同技术/传感器平台多种专业仪器。因此，在传感器技术方面一种范例变化需要与反对恐怖主义作斗争。最好，国防需要一个有下列特点传感器系统：)同时和迅速能发现多次威胁一个单个传感器平台；)一个廉价，微型和可以被部署在任何地方坚固传感器系统和数据传输；和()联网内置遥测术.但是没有可利用技术满足这些条件.不过，基于微型悬臂传感器新兴传感器技术能满足这些条件。这样微型传感器可能被有效地使用在任何地方例如飞机场，海港，公共大楼等等，为这些静态建筑提供战略性保护。在多种领域方面技术进步，包括计算，交互化学和遥测术，已经足够成熟被合成为微型悬臂传感器技术。因此，微型悬臂传感器平台为这种传感器技术方面革命得到平衡。例如，提出传感器技术可以与世纪年代内计算机地位相提并论，任何计算被限制在少数巨型计算机内。但是在穆尔里被简明表示硅革命已经能够广泛使用在计算机。目前，昂贵和庞大察觉系统已经很少被部署在战略性位置，例如飞机场。在传感器技术方面一次类似革命可能使数百万对智能化，微型传感器部署在一个基于微型悬臂传感器平台是可能。除反对恐怖主义战争外，这样一个传感器平台将被应用在医学诊断，法律实施，地雷察觉，环境监控和很多其他应用过程中。因此，主要问题可能是如下，说明：需要能使用微型，廉价传感器迅速对复杂混合大量多种威胁踪迹察觉技术。我们讨论对用传感器阵列达到这个目标研究和当今地位并且指出给微型悬臂传感器提供了一个合适平台。应当指出这篇文章没打算是一篇全面回顾文章。我们将短暂评论传感器阵列当今地位并且参考在微型悬臂和其他传感器技术上文件。我们意图是指出基于一个微型悬臂传感器平台用于国防可能性。II同步和迅速侦破在刚刚过去二十年里，我们一直在研究开发基于阵列传感器“电子鼻”。在年，皮特和多德首次发表了一份关于现代电子鼻，试图模仿嗅觉系统：他们指出哺乳动物嗅觉系统基于宽转动感受神经细胞，并且嗅觉系统特性区别是整体上系统特性。对于特定有气味物体，嗅觉受体是非高度选择性；每个感受器能响应多种有气味物体，并且很多感受器对任何规定物体都能作出反应。模式识别方法被认为是嗅觉信号处理主要方式。电子鼻技术基础上广泛使用同一概念调整多种传感器。这种做法优势是同时检测各种分析能力。到目前为止，几个可能传感器阵列平台已经在被研究，作为电子鼻子候选，包括那些基于金属氧化物，导电聚合物，光纤，电化学，和声音波传感器。加德纳和巴特利特详细描述这些传感器技术。多种统计和神经网络技术已经被应用处理源于传感器阵列数据。最早应用基于电子鼻传感器阵列是对气味评估和用于工业数据处理，这个并不奇怪。传感器阵列已被证明是成功,这其中最令人感兴趣应用是依靠变动传感器阵列响应模式来进行质量分析。基于传感器阵列商业证书适用于这些应用。在这些应用过程中通常使用传感器技术是金属氧化物，聚合物，和声音[表面声波]传感器。金属氧化物传感器是庞大，但是他们有每平方米水平敏感性；传感器与聚合物进行小型低功率消耗,但一般敏感程度比金属氧化物传感器低；传感器从涂层得到他们蒸汽检测功率并且能从有时候可以歪曲，涂料粘弹性特性变化来识别吸附蒸汽，。然而,发现微量烟雾混合物总量尚未成功地实现传感阵列。几乎所有传感器阵列研究到现在已经用传感器探测范围水平达到或接近百万分率,最高约在个传感器阵列。好察觉敏感性和高质量传感器每阵列可能需要在复杂混合物内取得踪迹察觉。最近一项研究得出结论是,增加了大量传感器性能没有大幅提高混合物分析；最多台传感器被在阵列里使用，并且为零部件蒸汽在阵列里使用锯传感器检测极限在低平方。而且，已经注意到在人类里有超过种嗅觉基因和在一个狗鼻子里超过亿个嗅觉细胞。相信微型悬臂传感器可以提供高灵敏度和在一阵列里用更多单个传感器能力，如此使在复杂混合物里踪迹蒸汽察觉成为可能。这种高灵敏性微型悬臂传感器起源于大量固有表面集成微观物体。因此，一台基于为信号传输而表面相互作用微型悬臂传感器预计能在敏感性方面提供巨大扩展。过去十年里集成电路技术迅速发展，已经在硅或者补充金属氧化物半导体上起动化学传感器制造。基本上二维集成电路和化学传感器结构以结合石印处理，薄膜，蚀刻，散播，并且氧化台阶被最近延长进第尺寸使用微型机制或者微型悬臂技术一结合特别特殊，蚀刻停止，以及牺牲层。因此，微型悬臂技术提供极好方法达到化学传感器其他关键标准，例如设备，低功耗并且还有低成本批捏造微型化。目前，两台基于CMOS技术微型悬臂传感器正被研究，弯曲盘子波(FPW)传感器和微悬臂传感器。FPW传感器对更多公用草地在很多方面相似看见和QCM传感器，并且它能监控在一层薄层上吸收群众在传感器上沉积。它已经在最高测量敏感级显示高每平方米(ppt)水平察觉敏感性。另一方面，微型悬臂传感器有另外察觉方式，包括这种非常敏感弯曲方式，利用这高表面把收集成卷比率这微型悬臂传感器元素和在在第III部分讨论时，经常展示附属察觉敏感性。III.微型悬臂传感器在年，研究人员观察用原子力量显微镜学(AFM)使用微型悬臂对外部物理和化学影响敏感，指出弯曲可能用途，频率为化学制品感觉等等用微型悬臂移动在热量热学方面指出应用。从那以后，全世界研究人员一直报告为检测使用微型悬臂各种各样物理，化学，生物学，和传播学影响。图.扫描一套电子显微镜图象不同大小和形状悬臂。为比较,人发被显示出来。微型悬臂是从硅或者其他材料微机械加工微型板。这种长度这些经常在范围内-米，而那些厚度分布在从.到米范围内。(在人嗅觉系统里注意到那是有趣，有香分子小屋相互作用场所在像头发一样长发生，到米长并且为气味提供增加表面面积感觉是.)高灵敏性关键那些微型悬臂在这巨大表面把收集成卷比率，导致放大表面重音，因为在下面讨论。图与为比较一根人头发一起显示一套微型悬臂。微型悬臂有两种主要显著转变方法，弯曲和装群众。总体上加载方式，微表现正如一样其他重量传感器(例如QCM，看见，以及FPW转换器)：他们共振频率由于被吸附群众减少。在这种"重量方式"里，微型悬臂察觉敏感性好像可与其它重量传感器相比较。其它显著转变方法，即，弯曲反应，对微型悬臂独特；例如，如果不同表面压力通过优先对它一个宽表面(通过在那个表面上使用一层化学薄层)吸附目标分子被达到，微型悬臂将弯曲。因为不同表面压力需要弯曲，只有一个宽表面应该被为弯曲方式操作涂上。因此，装群众信息被只用作一笔红利。在弯曲方式方面，微型悬臂察觉敏感性是至少比其他微型传感器，例如也正被作为化学传感器调查锯和高一项重要命令。即使准确地为不同传感器比较察觉敏感性很难，低或者在每平方米下面察觉敏感性通常与微型悬臂传感器一起取得没被被任何其他传感器匹配。近比较将使用(DNT)察觉看见和微型悬臂传感器，两台传感器使用相同聚合薄层。因为弯曲信号微型悬臂起源于表面压力，对一层浓薄层大量蒸汽扩散是不必要。因此，即使一单层厚薄层可能不适合于重型传感器，他们很适于微型悬臂传感器。因为对这层薄层大部分蒸汽扩散被避免，对被涂上微型悬臂反应和扩散可能是快。图显示反应在.平方米上集中涂上酸在可塑炸药S微型悬臂。与(频率)测量相比较弯曲信号以及弯曲信号优势迅速和敏感反应是清楚。图。一种酸反应-对这定期涂上硅悬臂进攻环境空气集中。固体曲线描绘弯曲反应，小圆点短划线连结描绘伸臂式共振频率。必须强调微型悬臂弯曲程度并不是由被放置材料重量决定。千克微型悬臂大约纳米是由于它本身所引起，在噪声级之上为一个悬臂式弯曲信号。因此，由水平放置材料重量引起弯曲是无意义。另一方面，对        国防上的穆尔法律：一个基于矽微型悬臂的智能传感器平台摘要——急需为发展存在廉宜的,高度地选择的,和极端地敏感的传感器帮助打击恐怖主义。
        如果这样的传感器可以被制造成极其小的规模，他们可能在实际上任何形势里被部署。
        恐怖分子有多种潜在代理和交付，这样意味着从中选择化学，生物学，传播学，或者爆炸攻击。
        检测恐怖分子武器已经成为一项复杂和昂贵的努力，因为目前需要众多传感器平台去发现不同类型

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